Ζωηρόχρωμο Magnetron ταινιών επιφάνειας που ψεκάζει τη μηχανή κενού επιστρώματος Pvd για το μωσαϊκό
Εφαρμογές:
Η μηχανή RTSP1213 είναι ένα πρότυπο ψεκάζοντας σύστημα batch, μπορεί διάφορα σκληρά επιστρώματα καταθέσεων, μαλακά επιστρώματα, σύνθετες ταινίες και στερεές λαδώνοντας ταινίες στα μεταλλικά και μη μεταλλικά υποστρώματα υλικών. Εφαρμοσμένος στο μωσαϊκό, τις βιομηχανίες των οχημάτων κυττάρων καυσίμου υδρογόνου, τα προϊόντα photonics, το αεροδιάστημα και άλλες νέες ενεργειακές βιομηχανίες.
Ιδιότητες:
Για να βελτιώσει την αγωγιμότητα της επιφάνειας
Υψηλή αντίσταση διάβρωσης
Υψηλή αντοχή
Υψηλή σκληρότητα
Υδροφοβική ταινία σύνθεσης και άλλες λειτουργικές ταινίες
Διαθέσιμος για τα σύνθετα επιστρώματα: μεταλλικές και μη μεταλλικές ταινίες.
Σειρά πάχους ταινιών από 100nm σε 12μm, ανοχή ±5% πάχους
Ισχυρή προσκόλληση.
Χαμηλή μετριάζοντας σκληραίνοντας επεξεργασία επιφάνειας μερών.
Τύπος:
Κάθετος προσανατολισμός, polyhedron δομή, 2 πόρτες (μέτωπο και πλάτη)
Χαρακτηριστικά γνωρίσματα:
Τεχνικές προδιαγραφές
1. Τελευταία κενή πίεση: καλύτερα από 8.0*10-5 PA
3. Να αντλήσει κάτω - χρόνος: από το ATM σε 1.0×10-3 πρακτικά Pa≤15 (ξηράς, καθαρής και κενής αίθουσα θερμοκρασίας δωματίου,)
4. Πηγή απόθεσης: ισορροπημένες/θιγμένες ψεκάζοντας κάθοδοι
5. Λειτουργούν πρότυπο: Το πλήρες αυτόματα /Semi-Auto/ με το χέρι
6. Θέρμανση: από τη θερμοκρασία δωματίου μέχρι μέγιστο 450℃,
7. Ο καθαρισμός πλάσματος και το πλάσμα βοηθούν την απόθεση: Γραμμική ιονική πηγή ανόδων
8. Κλειστός βρόγχος που αρχειοθετείται μαγνητικός. (Κάθοδοι ανισορροπίας/ισορροπίας)
9. Προκατειλημμένη παροχή ηλεκτρικού ρεύματος για την απαλλαγή πυράκτωσης.
Η μηχανή κενού επιστρώματος περιέχει το βασικό ολοκληρωμένος σύστημα που απαριθμείται κατωτέρω:
1. Κενή αίθουσα
1.1 μέγεθος: Εσωτερική διάμετρος 1200mm
Εσωτερικό ύψος: 1300mm
1.2 υλικό: Κενή αίθουσα SUS304
Πόρτα και φλάντζες SUS304
Η αίθουσα ενισχύει τη δομή: SS41 ήπιος χάλυβας, με τη χρωματισμένη επεξεργασία επιφάνειας λήξης.
Ήπιος χάλυβας πλαισίων SS41 αιθουσών με τη χρωματισμένη επεξεργασία επιφάνειας λήξης.
1.3 ψεκάζοντας ασπίδα: SUS304
1.4 παράθυρο άποψης: στην πόρτα αιθουσών - 4 σύνολα (2 σε κάθε πόρτα)
1.5 κενή βαλβίδα εξαερισμού αιθουσών (συμπεριλαμβανομένου του ησυχαστήρα)
1.6 πόρτα: SUS304 υλικό
2. Κενό αντλώντας σύστημα χοντροδουλέματος:
Περιστροφική vane πετρελαίου αντλία κενών αντλιών +Roots + αντλία εκμετάλλευσης (Leybold)
3. Υψηλό κενό αντλώντας σύστημα:
Μαγνητική μοριακή αντλία αναστολής (Leybold)
4. Ηλεκτρική οθόνη αφής συστημάτων PLC+ ελέγχου και λειτουργίας
4.1 κύριο κύκλωμα: Ο διακόπτης διακοπτών κανένας-θρυαλλίδων, ηλεκτρομαγνητικός διακόπτης, C/T δακτυλογραφεί σωρηδόν
4.2 ψεκάζοντας παροχή ηλεκτρικού ρεύματος + ιονική παροχή ηλεκτρικού ρεύματος πηγής + προκατειλημμένη παροχή ηλεκτρικού ρεύματος (προηγμένη ενέργεια)
4.3 ψεκάζοντας σύστημα ελέγχου απόθεσης
4.4 σύστημα λειτουργίας: Οθόνη αφής + PLC, έλεγχος συνταγής και αναγραφή στοιχείων, αυτόματο κλείσιμο, αυτόματη εκκένωση, αυτόματο επίστρωμα
4.5 μέτρηση του συστήματος
Κενή πίεση: Κενός μετρητής: Pirani + περιφράζοντας το μετρητή + τον κενό μετρητή μεγάλης έκτασης -- Εμπορικό σήμα της Ευρώπης
Μετρώντας συσκευή θερμοκρασίας: Θερμοηλεκτρικό ζεύγος
MFC: Ελεγκτής μαζικής ροής (4 τρόποι), τρόπος ψηφιακής επίδειξης-- Εμπορικό σήμα της Ευρώπης
4.6 σύστημα συναγερμών: Πίεση συμπιεσμένου αέρα, ροή του νερού ψύξης, ΠΣΔ-λειτουργία
4.7 δείκτης φορτίων δύναμης: Δείκτης τάσης και τρέχων δείκτης φορτίων
5. Σύστημααπόθεσης
5.1 πηγή απόθεσης: Ψεκάζοντας κάθοδοι, ιονική πηγή -- Εμπορικό σήμα της Ευρώπης
5.2 υλικό απόθεσης: Στόχος άνθρακα
6. Υποσύστημα
6.1 συμπιεσμένο αέρας σύστημα ελέγχου βαλβίδων
6.2 δροσίζοντας υδάτινο σύστημα: Σωλήνας ροής του νερού και σύστημα βαλβίδων διακοπτών
7.Working περιβάλλον
Συμπιεσμένος αέρας: 5~8kg/cm2
Δροσίζοντας νερό: Νερό-στη θερμοκρασία: 20~25℃, 200 λίτρο/λ.,
Νερό-στην πίεση: 2~3 kg/cm2,
Δύναμη: 3 φάση 380V 50Hz (60Hz), 75kVA, μέση κατανάλωση ισχύος: 40KW
Περιοχή εγκατάστασης: (L*W*H) 3000*4000*3200mm
Εξάτμιση: Διέξοδος για τις μηχανικές αντλίες
Παρακαλώ μας ελάτε σε επαφή με για περισσότερες προδιαγραφές, η βασιλική τεχνολογία είναι τιμημένη για να σας παρέχει συνολικές λύσεις επιστρώματος.