|
| Ονομασία μάρκας: | ROYAL |
| Αριθμός μοντέλου: | RT11001 - Επικοινωνία |
| MOQ: | 1 σύνολο |
| τιμή: | διαπραγματεύσιμα |
| Όροι πληρωμής: | Λ/Κ,Τ/Τ |
| Ικανότητα εφοδιασμού: | 5 σύνολα το μήνα |
Το Magnetron Sputtering χρησιμοποιείται ευρέως για την κατάθεση πυρόσβεστων μετάλλων όπως το ταντάλιο, το τιτάνιο, το βολφρένιο,νιόβιο, το οποίο θα απαιτούσε πολύ υψηλές θερμοκρασίες αποθέματος, και πολύτιμα μέταλλα: χρυσό και ασήμι και που χρησιμοποιείται επίσης για την εναπόθεση χαμηλότερων σημείων τήξης μετάλλων όπως χαλκός, αλουμίνιο, νικέλιο, χρώμιο κλπ.
Το ταντάλιο χρησιμοποιείται περισσότερο στα ηλεκτρονικάΒιομηχανίαως προστατευτική επικάλυψη λόγω της καλής αντοχής της στην διάβρωση.
Χρησιμοποιήσεις λεπτής ταινίας του Τανταλίου με ψεκασμό:
1- βιομηχανία μικροηλεκτρονικών προϊόντων, καθώς οι ταινίες μπορούν να ψεκαστούν αντιδραστικά και έτσι να ελέγχεται η αντίσταση και ο συντελεστής θερμοκρασίας της αντίστασης·
Τεχνικά πλεονεκτήματα
Το τυποποιημένο σύστημα αποθέματος του Ταντάλου της Royal Technology:
| Βασικές διαμορφώσεις | |
| Μοντέλο | RT11001 |
| ΤΕΧΝΟΓΙΑ |
Πύκνωση μαγνητρονίου συνεχούς ρεύματος Καθοδική επικάλυψη με τόξο (επιλογή, καθορίζεται με διαδικασία επικάλυψης) |
| Υλικό για το θάλαμο | Ατσάλι ατσάλι (S304) |
| Μέγεθος του δωματίου | Φ1000*1000mm (H) |
| Τύπος αίθουσας | Σχήμα D, κυλινδρικό θάλαμο |
| Συστήματα περιστροφής και JIG | Δορυφορική διεύθυνση ή κεντρικό σύστημα διεύθυνσης |
| ΕΠΙΤΡΟΠΟΙΕΣ |
Συνεχή τροφοδοσία ηλεκτρικής ενέργειας: 2~4 σετ Πηγή ιόντων: 1 σύνολο |
| Υλικό κατάθεσης | Ta, Ti/Cr/TiAl, Au, Ag, Cu κλπ. |
| Πηγή καταθέσεων | Καθοδικοί πλέκτες οριζόντιας ψεκασμού + καθοδικοί κυκλικοί τόξοι |
| Ελέγχος | ΠΛΚ ((Προγραμματιζόμενος Λογικός Ελεγκτής) + IPC (μοντέλα χειροκίνητης + αυτόματης + ημιαυτόματης λειτουργίας) |
| Σύστημα αντλίας | Ροταριακή αντλία κυλινδρικής αντλίας: SV300B 1 σύνολο (Leybold) |
| Αντλία ριζών: WAU1001 1 σύνολο (Leybold) | |
| Αντλία συγκράτησης: D60C 1 σύνολο (Leybold) | |
| Μαγνητική μοριακή αντλία αναστολής: MAG2200 2 σέστ (Leybold) |
|
| Ελεγκτής ροής μάζας αερίου | 2 κανάλια: Ar και N2 |
| ΚΑΤΑΡΑΣΙΑ ΑΥΤΟΠΟΥ | Inficon ή Leybold |
| Σύστημα Ασφάλειας | Αρκετά κλειδαριά ασφαλείας για την προστασία των χειριστών και των χειριστών |
| Θέρμανση | Θέρμανση: 20 kW. Μέγιστη θερμοκρασία: 450°C |
| Ψύξη | Βιομηχανικός ψυκτικός μηχανισμός (ψυχρό νερό) |
| ΠΟΥΡΕΡ ΜΑΧΣ. | 100KW (περίπου.) |
| Μέση κατανάλωση ηλεκτρικής ενέργειας | 45 KW (περίπου) |
| Ακαθάριστο βάρος | T (περίπου) |
| ΑΡΧΗ | (L*W*H) 4000*4000*3600 MM |
| Ηλεκτρική ενέργεια |
Διάταξη AC 380V/3 φάσεις/50HZ / 5 γραμμή |
Εσωτερική θέση:
Χρόνος κατασκευής: 2018
Τοποθεσία: Κίνα
Επικοινωνήστε μαζί μας για περισσότερες εφαρμογές και προδιαγραφές.
