Τσιπ των κεραμικών οδηγήσεων που ψεκάζουν τις εγκαταστάσεις επιστρώματος/τον άργυρο, απόθεση $cu Al2O3, πίνακες κυκλωμάτων AlN
Απόδοση
1. Τελευταία κενή πίεση: καλύτερα από 5.0×10-6 Torr.
2. Λειτουργούσα κενή πίεση: 1.0×10-4 Torr.
3. Χρόνος Pumpingdown: από 1 ATM σε 1.0×10-4 Torr≤ 3 λεπτά (ξηράς, καθαρής και κενής αίθουσα θερμοκρασίας δωματίου,)
4. Υλικό Metalizing (που ψεκάζει + εξάτμιση τόξων): Νι, $cu, άργυρος, Au, Tj, Zr, χρώμιο κ.λπ.
5. Λειτουργούν πρότυπο: Το πλήρες αυτόματα /Semi-Auto/ με το χέρι
Δομή
Η μηχανή κενού επιστρώματος περιέχει το βασικό ολοκληρωμένος σύστημα που απαριθμείται κατωτέρω:
1. Κενή αίθουσα
2. Κενό αντλώντας σύστημα Rouhging (υποστηρίζοντας συσκευασία αντλιών)
3. Υψηλό κενό αντλώντας σύστημα (μαγνητικά μοριακή αντλία αναστολής)
4. Ηλεκτρικό σύστημα ελέγχου και λειτουργίας
5. Σύστημα δυνατότητας Auxiliarry (υποσύστημα)
6. Σύστημα απόθεσης
Κύρια χαρακτηριστικά μηχανών επιστρώματος χαλκού ψεκάζοντας
1. Εξοπλισμένος με 8 καθόδους τόξων ταύρων και τις ΣΥΝΕΧΕΙΣ ψεκάζοντας καθόδους, ψεκάζοντας κάθοδοι MF, ιονική μονάδα πηγής.
2. Πολυστρωματικό και επίστρωμα ομο-απόθεσης διαθέσιμο
3. Ιονική πηγή για την προγενέστερη επεξεργασία καθαρισμού πλάσματος και βοηθημένη τη δέσμη ιόντων απόθεση για να ενισχύσουν την προσκόλληση ταινιών.
4. Κεραμικά Al2O3/AlN υποστρώματα που θερμαίνουν επάνω τη μονάδα
5. Σύστημα περιστροφής και επαναστάσεων υποστρωμάτων, για 1 δευτερεύον επίστρωμα και την επένδυση 2 πλευρών.
Magnetron του Cooper ψεκάζοντας εγκαταστάσεις επιστρώματος στο κεραμικό ακτινοβολώντας υπόστρωμα
Ο DPC άμεσος χαλκός επένδυσης διαδικασίας είναι μια προηγμένη τεχνολογία επένδυσης που εφαρμόζεται με των οδηγήσεων/τον ημιαγωγό/τις ηλεκτρονικές βιομηχανίες. Μια χαρακτηριστική εφαρμογή είναι κεραμική ακτινοβολώντας το υπόστρωμα.
Αγώγιμη απόθεση ταινιών του Cooper Al2O3, υποστρώματα AlN από PVD την κενή τεχνολογία επιμετάλλωσης, έναντι των παραδοσιακών μεθόδων κατασκευής: DBC LTCC HTCC, πολύ χαμηλότερο κόστος παραγωγής είναι το υψηλό χαρακτηριστικό γνώρισμά του.
Η βασιλική ομάδα τεχνολογίας ο πελάτης μας ανέπτυξε τη DPC διαδικασία επιτυχώς με την τεχνολογία επιμετάλλωσης PVD.
Η μηχανή rtac1215-SP που σχεδιάζεται αποκλειστικά για το αγώγιμο επίστρωμα ταινιών χαλκού στα κεραμικά τσιπ, κεραμικός πίνακας κυκλωμάτων.
Παρακαλώ μας ελάτε σε επαφή με για περισσότερες προδιαγραφές, η βασιλική τεχνολογία είναι τιμημένη για να σας παρέχει συνολικές λύσεις επιστρώματος.