|
| Ονομασία μάρκας: | ROYAL |
| Αριθμός μοντέλου: | RTSP1200 |
| MOQ: | 1 σύνολο |
| τιμή: | διαπραγματεύσιμα |
| Όροι πληρωμής: | Λ/Κ, Τ/Τ |
| Ικανότητα εφοδιασμού: | 10 σετ ανά μήνα |
Το Magnetron Sputtering χρησιμοποιείται ευρέως για την κατάθεση πυρόσβεστων μετάλλων όπως το ταντάλιο, το τιτάνιο, το βολφρένιο,νιόβιο, το οποίο θα απαιτούσε πολύ υψηλές θερμοκρασίες αποθέματος, και πολύτιμα μέταλλα: χρυσό και ασήμι και που χρησιμοποιείται επίσης για την εναπόθεση χαμηλότερων σημείων τήξης μετάλλων όπως χαλκός, αλουμίνιο, νικέλιο, χρώμιο κλπ.
Το ταντάλιο χρησιμοποιείται περισσότερο στα ηλεκτρονικάΒιομηχανίαως προστατευτική επικάλυψη λόγω της καλής αντοχής της στην διάβρωση.
Χρησιμοποιήσεις λεπτής ταινίας του Τανταλίου με ψεκασμό:
1- βιομηχανία μικροηλεκτρονικών προϊόντων, καθώς οι ταινίες μπορούν να ψεκαστούν αντιδραστικά και να ελεγχθούν έτσι η αντίσταση και ο συντελεστής θερμοκρασίας της αντίστασης·
5Βιομηχανία ημιαγωγών, μικροηλεκτρονικά τσιπ
Τεχνικά πλεονεκτήματα
Το τυποποιημένο σύστημα αποθέματος Tantalum sputtering της Royal Technology: RTSP1000
| Βασικές διαμορφώσεις | |
| Μοντέλο | RTSP1200 |
| ΤΕΧΝΟΓΙΑ |
Πύκνωση μαγνητρονίου συνεχούς ρεύματος Καθοδική επικάλυψη με τόξο (επιλογή, καθορίζεται με διαδικασία επικάλυψης), πηγή ακτίνας ιόντων |
| Υλικό για το θάλαμο | Ατσάλι ατσάλι (S304) |
| Μέγεθος του δωματίου | Φ1200*1300mm (H) |
| Τύπος αίθουσας | Σχήμα D, κυλινδρικό θάλαμο |
| Συστήματα περιστροφής και JIG | Δορυφορική διεύθυνση ή κεντρικό σύστημα διεύθυνσης |
| ΕΠΙΤΡΟΠΟΙΕΣ |
Συνεχή τροφοδοσία ηλεκτρικής ενέργειας: 2~4 σετ Πηγή ιόντων: 1 σύνολο |
| Υλικό κατάθεσης | Ta, Ti/Cr/TiAl, Au, Ag, Cu κλπ. |
| Πηγή καταθέσεων | Καθοδικοί πλέκτες οριζόντιας ψεκασμού + κάθοδοι κυκλικού τόξου |
| Ελέγχος | ΠΛΚ ((Προγραμματιζόμενος Λογικός Ελεγκτής) + IPC (μοντέλα χειροκίνητης + αυτόματης + ημιαυτόματης λειτουργίας) |
| Σύστημα αντλίας | Ροταριακή αντλία κυλινδρικής αντλίας: SV300B 1 σύνολο (Leybold) |
| Αντλία ριζών: WAU1001 1 σύνολο (Leybold) | |
| Αντλία συγκράτησης: D60C 1 σύνολο (Leybold) | |
| Μαγνητική μοριακή αντλία αναστολής: MAG2200 2 σέστ (Leybold) |
|
| Ελεγκτής ροής μάζας αερίου | 2 κανάλια: Ar και N2 |
| ΚΑΤΑΡΑΣΙΑ ΑΥΤΟΠΟΥ | Inficon ή Leybold |
| Σύστημα Ασφάλειας | Αρκετά κλειδαριά ασφαλείας για την προστασία των χειριστών και των χειριστών |
| Θέρμανση | Θερμαντήρες: 20 kW. Μέγιστη θερμοκρασία: 450°C |
| Ψύξη | Βιομηχανικός ψυκτικός μηχανισμός (ψυχρό νερό) |
| ΠΟΥΡΕΡ ΜΑΧΣ. | 100KW (περίπου.) |
| Μέση κατανάλωση ηλεκτρικής ενέργειας | 45 KW (περίπου) |
| Ακαθάριστο βάρος | T (περίπου) |
| ΑΡΧΗ | (L*W*H) 4000*4000*3600 MM |
| Ηλεκτρική ενέργεια |
Διάταξη AC 380V/3 φάσεις/50HZ / 5 γραμμή |
Επικοινωνήστε μαζί μας για περισσότερες εφαρμογές και προδιαγραφές.
