Η μηχανή επένδυσης λεπτών ταινιών συνδέσμων και συναρμολογήσεων PVD/η νανο διακόσμηση λεπτών ταινιών PVD τελειώνει
Πώς το επίστρωμα PVD λειτουργεί;
Το στερεό μέταλλο ατμοποιείται ή ιονίζεται σε ένα υψηλό κενό περιβάλλον και εναποτίθεται στα ηλεκτρικά αγώγιμα υλικά ως ταινίες καθαρών μετάλλων ή κραμάτων μετάλλων. Όταν ένα αντιδραστικό αέριο, όπως το άζωτο, το οξυγόνο ή ένα υδρογονάνθρακας-βασισμένο στον αέριο εισάγεται στο μεταλλικό ατμό, δημιουργεί το νιτρίδιο, το οξείδιο, ή τα επιστρώματα καρβιδίου όπως το μεταλλικό ρεύμα ατμού, αντιδρά χημικά με τα αέρια. Το επίστρωμα PVD πρέπει να γίνει σε μια εξειδικευμένη αίθουσα αντίδρασης έτσι ώστε το ατμοποιημένο υλικό δεν αντιδρά με οποιουσδήποτε μολυσματικούς παράγοντες που ειδάλλως θα ήταν παρόντες στο δωμάτιο.
Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας του επιστρώματος PVD, οι παράμετροι διαδικασίας επιτηρούνται πολύ και ελέγχονται έτσι ώστε η προκύπτουσα σκληρότητα ταινιών, η προσκόλληση, η χημική αντίσταση, η δομή ταινιών, και άλλες ιδιότητες είναι επαναλαμβανόμενες για κάθε μια που οργανώνεται. Το διάφορο επίστρωμα PVD χρησιμοποιείται για να αυξήσει την αντοχή, να μειώσει την τριβή, να βελτιώσει την εμφάνιση, και να επιτύχει άλλες αυξήσεις απόδοσης.
Προκειμένου να κατατεθεί τα υλικά υψηλής αγνότητας όπως το τιτάνιο, το χρώμιο, ή το ζιρκόνιο, ασήμι, χρυσός, αργίλιο, χαλκός, ανοξείδωτο, η φυσική διαδικασία του επιστρώματος PVD χρησιμοποιεί μια από διάφορες διαφορετικές μεθόδους επιστρώματος PVD, που περιλαμβάνουν:
Εξάτμιση τόξων
Θερμική εξάτμιση
DC/MF επιμετάλλωση (ο βομβαρδισμός των ιόντων)
Απόθεση ιονικών ακτίνων
Ιονική επένδυση
Ενισχυμένη επιμετάλλωση
Κάθε μια από αυτές τις μεθόδους ανήκει στη overarching κατηγορία «φυσικής απόθεσης ατμού».
Ιδιότητες λεπτών ταινιών PVD
Η μηχανή επένδυσης λεπτών ταινιών συνδέσμων PVD ακρίβειας εφαρμόζεται με τους συνδέσμους και οι συναρμολογήσεις όπως τις βίδες, μπουλόνια, συντριβές, συναρμολογήσεις, καλύμματα που χρησιμοποιούνται στα καλλυντικά, ηλεκτρονικά προϊόντα, μηχανικές μηχανές, αυτοκινητοβιομηχανίες χρησιμοποιούν ευρέως την τεχνολογία PVD για να πάρουν την ποικιλία των χρωμάτων Panton, τη σειρά του χρυσού, το Μαύρο, το μπλε, το γκρι, το ασήμι, το ουράνιο τόξο, το χαλκό, το champage κ.λπ.
Πηγές απόθεσης μηχανών επένδυσης λεπτών ταινιών συνδέσμων PVD ακρίβειας
Οδηγημένες κυκλικές πηγές τόξων για την εξάτμιση του στερεού στόχου μετάλλων
2 ζευγάρια του MF οι ψεκάζοντας κάθοδοι για την από γραφίτη απόθεση στρώματος λεπτών ταινιών
Προκατειλημμένη παροχή ηλεκτρικού ρεύματος για το ιονικό bomboardment για να διαμορφώσει την περιοχή πλάσματος για την προγενέστερη επεξεργασία
Γραμμική ιονική μονάδα πηγής ανόδων (για προαιρετικό) επεξεργασία PACVD και PECVD
Cryopump (Polycold) για τη μοριακή συμπύκνωση νερού (για προαιρετικό)
Δομές μηχανών επένδυσης λεπτών ταινιών συνδέσμων PVD ακρίβειας
1. Κενή αίθουσα
2. Κενό αντλώντας σύστημα Rouhging (υποστηρίζοντας συσκευασία αντλιών)
3. Υψηλό κενό αντλώντας σύστημα (μαγνητικά μοριακή αντλία αναστολής)
4. Ηλεκτρικό σύστημα ελέγχου και λειτουργίας
5. Σύστημα δυνατότητας Auxiliarry (υποσύστημα)
6. Σύστημα απόθεσης: Ψεκάζοντας κάθοδος MF, παροχή ηλεκτρικού ρεύματος MF, προκατειλημμένη ιονική πηγή παροχής ηλεκτρικού ρεύματος για προαιρετικό
Απόδοση Machin επένδυσης λεπτών ταινιών συνδέσμων PVD ακρίβειας
1. Τελευταία κενή πίεση: καλύτερα από 5.0×10-6 Torr.
2. Λειτουργούσα κενή πίεση: 1.0×10-4 Torr.
3. Χρόνος Pumpingdown: από 1 ATM σε 1.0×10-4 Torr≤ 3 λεπτά (ξηράς, καθαρής και κενής αίθουσα θερμοκρασίας δωματίου,)
4. Υλικό Metalizing (που ψεκάζει + εξάτμιση τόξων): Νι, $cu, άργυρος, Au, Tj, Zr, χρώμιο, κασσίτερος, σπασμός, TiAlN, CrN, κέντρο ανίχνευσης και ελέγχου, κ.λπ.
5. Λειτουργούν πρότυπο: Το πλήρες αυτόματα /Semi-Auto/ με το χέρι
Προδιαγραφές Machin επένδυσης λεπτών ταινιών συνδέσμων PVD ακρίβειας
ΠΡΟΤΥΠΟ | Rtac1250-SPMF | ||||||
ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΑ | Magnetron MF που ψεκάζει + ιονική επένδυση | ||||||
ΥΛΙΚΟ | Ανοξείδωτο (S304) | ||||||
ΜΕΓΕΘΟΣ ΑΙΘΟΥΣΩΝ | Φ1250 * H1250mm | ||||||
ΤΥΠΟΣ ΑΙΘΟΥΣΩΝ | Κύλινδρος, κατακόρυφος, 1 πόρτα | ||||||
ΨΕΚΑΖΟΝΤΑΣ ΣΥΣΤΗΜΑ | Αποκλειστικά σχέδιο για τη λεπτή μαύρη απόθεση ταινιών | ||||||
ΥΛΙΚΟ ΑΠΟΘΕΣΗΣ | Αργίλιο, ασήμι, χαλκός, χρώμιο, ανοξείδωτο, Νικέλιο |
||||||
ΠΗΓΗ ΑΠΟΘΕΣΗΣ | 2 κυλινδρικής σύνολα επιμετάλλωσης MF στοχεύουν σε + 8 οδηγημένες καθοδικές πηγές τόξων + ιονική πηγή για προαιρετικό | ||||||
ΑΈΡΙΟ | MFC- 4 τρόποι, AR, Ν2, Ο2, C2H2 | ||||||
ΕΛΕΓΧΟΣ | PLC (προγραμματίσημος ελεγκτής λογικής) + | ||||||
ΣΥΣΤΗΜΑ ΑΝΤΛΙΩΝ | SV300B - 1 σύνολο (Leybold) | ||||||
WAU1001 - 1 σύνολα (Leybold) | |||||||
D60T- 1 σύνολο (Leybold) | |||||||
Στροβιλο μοριακές αντλίες: 2* φ-400/3500 | |||||||
ΠΡΟΓΕΝΕΣΤΕΡΗ ΕΠΕΞΕΡΓΑΣΊΑ | Προκατειλημμένη παροχή ηλεκτρικού ρεύματος: 1*36 KW | ||||||
ΣΥΣΤΗΜΑ ΑΣΦΑΛΕΙΑΣ | Πολυάριθμες συναρμολογήσεις ασφάλειας για να προστατεύσει τους χειριστές | ||||||
ΨΥΞΗ | Κρύο νερό | ||||||
ΔΥΝΑΜΗ ΗΛΕΚΤΡΙΚΗ | 480V/3 phases/60HZ (ΗΠΑ υποχωρητικές) | ||||||
460V/3 phases/50HZ (Ασία υποχωρητική) | |||||||
380V/3 phases/50HZ (ΕΕ-CE υποχωρητικό) | |||||||
ΙΧΝΟΣ | L3000*W3000*H2000mm | ||||||
ΣΥΝΟΛΙΚΟ ΒΑΡΟΣ | 7.0 Τ | ||||||
ΙΧΝΟΣ | (L*W*H) ΚΚ 5000*4000 *4000 | ||||||
ΤΟ ΚΥΚΛΟΣ ΖΩΩΝ | 30~40 λεπτά (ανάλογα με το υλικό υποστρωμάτων, γεωμετρία υποστρωμάτων και περιβαλλοντικές συνθήκες) |
||||||
ΜΕΓΙΣΤΟ ΔΥΝΑΜΗΣ. | 155 KW | ||||||
ΜΕΣΗ ΔΥΝΑΜΗ ΚΑΤΑΝΑΛΩΣΗ (ΠΕΡ.) |
75 KW |
Τα προσαρμοσμένα μεγέθη μηχανών είναι επίσης διαθέσιμα βασισμένα στα διευκρινισμένα απαιτημένα προϊόντα.
Παρακαλώ μας ελάτε σε επαφή με για περισσότερες προδιαγραφές, η βασιλική τεχνολογία είναι τιμημένη για να σας παρέχει συνολικές λύσεις επιστρώματος.