Το AlN πελεκά το χαλκό που ψεκάζει το σύστημα Depostion, άμεση μηχανή επένδυσης χαλκού νιτριδίων αργιλίου

Συστήματα αποθέσεως ψεκασμού χαλκού AlN Chips, Μηχανή ψεκασμού χαλκού PVD με νιτρικό αλουμίνιο

Απόδοση

1Τελική πίεση κενού: καλύτερη από 5,0 × 10^-6Τορ.

2Δυνάμωση κενού λειτουργίας: 1,0 × 10^-4Τορ.

3Χρόνος άντλησης: από 1 ατμόσφαιρο έως 1,0 × 10^-4Torr≤ 3 λεπτά (περιοχή θερμοκρασίας δωματίου, στεγνή, καθαρή και άδειη αίθουσα)

4Υλικό μεταλλικής επεξεργασίας (νέες σποτ + εξάτμιση τόξου): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr κλπ.

5- Λειτουργικό μοντέλο: πλήρως αυτόματο / ημι- αυτόματο / χειροκίνητο

Δομή

Το μηχάνημα επικαλύψεως υπό κενό περιέχει το κλειδί του ολοκληρωμένου συστήματος που παρατίθεται κατωτέρω:

1Δωμάτιο κενού.

2Σύστημα αντλίας κενού χονδρής (πακέτο αντλίας υποστήριξης)

3Σύστημα αντλίας υψηλού κενού (μαγνητική αντλία μοριακής αναστολής)

4Ηλεκτρικό σύστημα ελέγχου και λειτουργίας

5Σύστημα βοηθητικών εγκαταστάσεων (υποσύστημα)

6Σύστημα αποθέσεων

Βασικά χαρακτηριστικά της μηχανής επίστρωσης με ψεκασμό χαλκού

1Εξοπλισμένο με 8 κάθοδος τόξου και κάθοδο DC, MF, μονάδα πηγής ιόντων.

2- Διαθέσιμα πολυστρώματα και επιφάνειες συγκατάθεσης

3Πηγή ιόντων για προεπεξεργασία καθαρισμού πλάσματος και αποθέματα με υποβοήθηση ακτίνας ιόντων για την ενίσχυση της προσκόλλησης του φιλμ.

4Η μονάδα θέρμανσης κεραμικών/ Al2O3/AlN υποστρώσεων

5- Σύστημα περιστροφής και επανάστασης υποστρώματος, για επικάλυψη με μία και δύο πλευρές.

Συστήματα επικάλυψης με ψεκασμό μαγνητόρων Cooper σε κεραμικό ακτινοβολούμενο υπόστρωμα

Η διαδικασία DPC- Direct Plating Copper είναι μια προηγμένη τεχνολογία επικάλυψης που εφαρμόζεται στις βιομηχανίες LED / ημιαγωγών / ηλεκτρονικών.

Αποθέτηση διερχόμενης ταινίας σε υποστρώματα Al2O3, AlN με τεχνολογία ψεκασμού PVD, σε σύγκριση με παραδοσιακές μεθόδους παραγωγής: DBC LTCC HTCC,πολύ χαμηλότερο κόστος παραγωγής είναι το υψηλό χαρακτηριστικό του.

Η ομάδα τεχνολογίας της Royal βοήθησε τον πελάτη μας να αναπτύξει την διαδικασία DPC με επιτυχία με την τεχνολογία ψεκασμού PVD.

Το μηχάνημα RTAC1215-SP έχει σχεδιαστεί αποκλειστικά για την επικάλυψη με διερχόμενη ταινία χαλκού σε κεραμικά τσιπ, κεραμικά κυκλώματα.

Παρακαλούμε επικοινωνήστε μαζί μας για περισσότερες προδιαγραφές, η Royal Technology είναι περήφανη που σας παρέχει ολοκληρωμένες λύσεις επίχρισής.