Η σειρά RTAS είναι μια ενσωματωμένη πολλαπλάσια μηχανή πηγών απόθεσης στα γενικά από γραφίτη, αεριωθούμενα χρώματα των Μαύρων, μπλε, χαλκού και χαλκού στα μέρη μετάλλων, αντικείμενα ανοξείδωτου. Ιδιαίτερα χρησιμοποιημένος για τα μέρη πολυτέλειας κατηγορίας υψηλών σημείων.
Τυποποιημένη εφαρμογή
Κόσμημα, λουριά ρολογιών και οργανισμοί, αθλητισμός ανοξείδωτου, όργανα γραψίματος
Καταναλωτικά ηλεκτρονικά: Κινητό τηλέφωνο, lap-top, κάμερα, κηφήνες
Οι μηχανές RTAS που εξοπλίζονται με τις κυκλικές πηγές απόθεσης επιμετάλλωσης τόξων και κυλίνδρων. Πολλαπλάσιοι συνδυασμοί ΣΥΝΕΧΟΥΣ επιμετάλλωσης, επιμετάλλωσης MF, εξάτμισης τόξων και ιονικής πηγής κ.λπ. Όλοι είναι διαθέσιμοι σε μια ενιαία μηχανή, για μια υψηλή ευελιξία στις διαμορφώσεις να ικανοποιήσουν οι διάφορες εφαρμογές. Ειδικά για τα μικρά συστατικά αισθητικά επιστρώματα: αεριωθούμενα χρώματα των Μαύρων, χαλκού, ορείχαλκου και χρωμίου.
Τι το MF ψεκάζει;
Έναντι της επιμετάλλωσης συνεχούς ρεύματος και RF, η επιμετάλλωση μέσος-συχνότητας έχει γίνει μια κύρια τεχνική επιμετάλλωσης λεπτών ταινιών για τη μαζική παραγωγή του επιστρώματος, ιδιαίτερα για την απόθεση ταινιών των διηλεκτρικών και non-conductive επιστρωμάτων ταινιών στις επιφάνειες όπως τα οπτικά επιστρώματα, τα ηλιακά πλαίσια, τα πολλαπλάσια στρώματα, η ταινία κ.λπ. σύνθετου υλικού.
Αντικαθιστά την επιμετάλλωση RF λόγω του που χρησιμοποιείται με το kHz παρά το MHZ για ένα πολύ γρηγορότερο ποσοστό απόθεσης και μπορεί επίσης να αποφύγει τη δηλητηρίαση στόχων κατά τη διάρκεια της σύνθετης απόθεσης λεπτών ταινιών όπως το συνεχές ρεύμα.
Οι ψεκάζοντας στόχοι MF υπήρξαν πάντα με τα δύο-σύνολα. Δύο κάθοδοι χρησιμοποιούνται με ένα ρεύμα εναλλασσόμενου ρεύματος που μεταστρέφεται μπρος-πίσω μεταξύ τους όποιος καθαρίζει την επιφάνεια στόχων με κάθε αντιστροφή για να μειώσει τη συγκέντρωση δαπανών στα διηλεκτρικά που οδηγεί να σχηματίσει τόξο που μπορεί spew σταγονίδια στο πλάσμα και να αποτρέψει την ομοιόμορφη αύξηση λεπτών ταινιών που είναι αυτό που καλέσαμε δηλητηρίαση στόχων.
Τεχνικό Specificaitons
| Αριθ. | Όνομα |
| 1 | Κενό αντλώντας σύστημα: Στροβιλο μοριακή αντλία + μηχανική αντλία ριζών Pump+ + αντλία εκμετάλλευσης |
| 2 | Κενό μετρώντας σύστημα: Pirani + περιφράζοντας τους μετρητές |
| 3 | Σύστημα θέρμανσης: θερμάστρες για τα υποστρώματα που θερμαίνουν επάνω για να βελτιώσει την προσκόλληση |
| 4 | Σύστημα διανομής νερού/συμπιεσμένου αέρα: το μορφωματικό σχέδιο και |
| 5 | Ψεκάζοντας κάθοδοι κυλίνδρων: 2/4/6/8 ζευγάρια των στόχων διδύμων για την επιλογή |
| 6 | Κενή βαλβίδα πυλών (ως επιλογή) |
| 7 | Ηλεκτρική περίφραξη (πρότυπα CE) |
| 8 | Κενή αίθουσα (SS304/316L όπως ζητείται) |
| 9 | Καθοδική πηγή τόξων (συμβατικές κάθοδοι τόξων) |
| 10 | Λιμένας άποψης (2 που διανέμονται στην πόρτα για την επιθεώρηση μέσα της αίθουσας απόθεσης) |
| 11 | Επεξεργασία του συστήματος διανομής αερίου (ελεγκτής ροής μετρητών για 4 κανάλια) |
| 12 | Drive σύστημα ραφιών (πλανητικό οδηγώντας πρότυπο) |
| 13 | Ιπποδρόμιο |
| Περιγραφή | RTAS1250 | RTAS1612 |
| Αίθουσα απόθεσης (χιλ.) | φ1250 * H1250 | φ1600 * H1250 |
|
Πλανητικό Drive Αποτελεσματική περιοχή επιστρώματος (χιλ.) |
8: φ270*H850 10: φ230*H850 |
10: φ300*H850 16: φ200*H850 |
| Κυκλική κάθοδος τόξων (σύνολα) | 7 | 12 |
| Ψεκάζοντας κάθοδοι κυλίνδρων (ζευγάρια) | 3 /4 | 4 / 6 |
|
Παλόμενη προκατειλημμένη δύναμη (KW) |
36 | 48 |
| Δύναμη επιμετάλλωσης συνεχούς ρεύματος/MF (KW) | 36 | 4*36 |
| Δύναμη τόξων (KW) | 7*5 | 12*5 |
| Κενές αντλίες |
2* στροβιλο μοριακές αντλίες 1*SV300B 1*WAU1001 1*TRP60 |
3* στροβιλο μοριακές αντλίες 2*SV300B 1*WAU2001 1*TRP90 |
| Μέγιστη κατανάλωση ισχύος (KW) | 200 | 245 |
| Μέση κατανάλωση ισχύος (KW) | <75> | <100> |
| Λειτουργία διαστημικό χιλ. (L*W*H) | 4300*3700*2800 | 5000*4000*2800 |
Εύκαμπτες διαμορφώσεις: η μηχανή τίθεται σύμφωνα με τις διαδικασίες επιστρώματος και τις απαιτήσεις των πελατών
Insite
