Μηχανή εναπόθεσης καθαρού μετάλλου μαγνητρόν DC, μηχανή εναπόθεσης εξαιρετικά λεπτού φιλμ από χαλκό/ασήμι/χρυσό/γραφίτη
Εκτέλεση
1. Τελική πίεση κενού: καλύτερη από 5,0×10-6Torr.
2. Πίεση κενού λειτουργίας: 1,0×10-4Torr.
3. Pumpingdown Time: από 1 atm έως 1,0×10-4Torr≤ 3 λεπτά (θερμοκρασία δωματίου, στεγνός, καθαρός και άδειος θάλαμος)
4. Υλικό επιμετάλλωσης (διασκορπισμός + εξάτμιση τόξου): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr κ.λπ.
5. Μοντέλο λειτουργίας: Πλήρης Αυτόματα /Ημιαυτόματο/ Χειροκίνητα
Δομή
Το μηχάνημα επίστρωσης κενού περιέχει το βασικό ολοκληρωμένο σύστημα που παρατίθεται παρακάτω:
1. Θάλαμος κενού
2. Σύστημα άντλησης κενού Rouhging (Πακέτο αντλίας υποστήριξης)
3. Σύστημα άντλησης υψηλού κενού (Μοριακή αντλία μαγνητικής ανάρτησης)
4. Σύστημα Ηλεκτρικού Ελέγχου και Λειτουργίας
5. Σύστημα Βοηθητικής Εγκατάστασης (Υποσύστημα)
6. Σύστημα εναπόθεσης
Βασικά χαρακτηριστικά της μηχανής επίστρωσης χαλκού
1. Εξοπλισμένο με 8 καθόδους τόξου διεύθυνσης και καθόδους διασκορπισμού DC, καθόδους διασκορπισμού MF, μονάδα πηγής ιόντων.
2. Διατίθεται επίστρωση πολλαπλών στρωμάτων και συν-απόθεσης
3. Πηγή ιόντων για προεπεξεργασία καθαρισμού πλάσματος και εναπόθεση υποβοηθούμενη από δέσμη ιόντων για ενίσχυση της πρόσφυσης του φιλμ.
4. Μονάδα θέρμανσης υποστρωμάτων κεραμικών/ Al2O3/AlN.
5. Σύστημα περιστροφής και περιστροφής υποστρώματος, για επίστρωση 1 πλευρών και επίστρωση 2 πλευρών.
Εργοστάσιο επίστρωσης Cooper Magnetron Sputtering σε κεραμικό υπόστρωμα ακτινοβολίας
Η διαδικασία DPC- Direct Plating Copper είναι μια προηγμένη τεχνολογία επίστρωσης που εφαρμόζεται σε βιομηχανίες LED / ημιαγωγών / ηλεκτρονικών.Μια τυπική εφαρμογή είναι το Ceramic Radiating Substrate.
Εναπόθεση αγώγιμου φιλμ χαλκού σε υποστρώματα Al2O3, AlN με τεχνολογία PVD κενού sputtering, σε σύγκριση με τις παραδοσιακές μεθόδους κατασκευής: DBC LTCC HTCC, το πολύ χαμηλότερο κόστος παραγωγής είναι το υψηλό χαρακτηριστικό του.
Η Royal τεχνολογική ομάδα βοήθησε τον πελάτη μας για την ανάπτυξη της διαδικασίας DPC με επιτυχία με την τεχνολογία PVD sputtering.
Το μηχάνημα RTAC1215-SP έχει σχεδιαστεί αποκλειστικά για επίστρωση αγώγιμου φιλμ χαλκού σε κεραμικά τσιπ, κεραμική πλακέτα κυκλώματος.
Επικοινωνήστε μαζί μας για περισσότερες προδιαγραφές, η Royal Technology έχει την τιμή να σας παρέχει ολοκληρωμένες λύσεις επίστρωσης.
