Πολλαπλάσιο Ε&Α - ψεκάζοντας κάθοδοι MF/συνεχούς ρεύματος εξοπλισμού κενού επιστρώματος λειτουργιών, με τη γραμμική ιονική συσκευή πηγής

Πολλαπλάσιο Ε&Α - ψεκάζοντας κάθοδοι MF/συνεχούς ρεύματος εξοπλισμού κενού επιστρώματος λειτουργιών

Εξοπλισμός κενού επιστρώματος πολλαπλάσιος-λειτουργιών Ε&Α

Λέξεις κλειδιά: Σκληρά επιστρώματα PVD, διαδικασία PECVD, ταινία DLC, διαμάντι όπως την ταινία άνθρακα, ψεκάζοντας οπτική ταινία, Magnetron Gencoa ψεκάζοντας κάθοδος, ιονική πηγή, PA PVD

Rtac950-SP χαρακτηριστικά σχεδιασμού:

• Ευελιξία: σχηματίστε τόξο και ψεκάστε τις πηγές, οι γραμμικές ιονικές συσκευές πηγής που τοποθετούν τις φλάντζες είναι τυποποιημένες για την ευέλικτη ανταλλαγή
• Μεταβλητότητα: διαθέσιμος για την ποικιλία κατάθεσης των βασικών μετάλλων και των κραμάτων, τα οπτικά επιστρώματα και τα σκληρά επιστρώματα, μαλακά επιστρώματα. Σύνθετες ταινίες και στερεές λαδώνοντας ταινίες στα μεταλλικά και μη μεταλλικά υποστρώματα υλικών
• Απλό σχέδιο: δομή, μέτωπο και πλάτη 2 πορτών που ανοίγουν για την εύκολη συντήρηση.

Τεχνικές προδιαγραφές

• Απόδοση

1. Τελευταία κενή πίεση: καλύτερα από 8.0*10-4 PA

• Κενή πίεση βάσεων: 3.0*10-2 PA

3. Να αντλήσει κάτω - χρόνος: από το ATM σε 1.0×10-3 πρακτικά Pa≤15 (ξηράς, καθαρής και κενής αίθουσα θερμοκρασίας δωματίου,)

4. Πηγή απόθεσης: Magnetron Gencoa οι ψεκάζοντας κάθοδοι, οδήγησαν τις καθόδους τόξων, ιονική πηγή

5. Λειτουργούν πρότυπο: Το πλήρες αυτόματα /Semi-Auto/ με το χέρι

6. Θέρμανση: από τη θερμοκρασία δωματίου μέχρι μέγιστο 500℃,

9. Ιονική πηγή για τη διαδικασία PECVD και PA PVD.

• Δομή

Η μηχανή κενού επιστρώματος περιέχει το βασικό ολοκληρωμένος σύστημα που απαριθμείται κατωτέρω:

1. Κενή αίθουσα
1.1 μέγεθος: Εσωτερικό βάθος 950mm

Εσωτερικό ύψος: 1350mm

1.2 υλικό: Κενή αίθουσα SUS304

Πόρτα και φλάντζες SUS304

Η αίθουσα ενισχύει τη δομή: SS41 ήπιος χάλυβας, με τη χρωματισμένη επεξεργασία επιφάνειας λήξης.

Ήπιος χάλυβας πλαισίων SS41 αιθουσών με τη χρωματισμένη επεξεργασία επιφάνειας λήξης.

1.3 ασπίδα αιθουσών: SUS304

1.4 παράθυρο άποψης: στις πόρτες -2 αιθουσών

1.5 κενή βαλβίδα εξαερισμού αιθουσών (συμπεριλαμβανομένου του ησυχαστήρα)

1.6 πόρτα: 2 σύνολα, μέτωπο και πλάτη, υλικό SUS304

2. Κενό αντλώντας σύστημα χοντροδουλέματος:
Περιστροφική vane πετρελαίου κενή αντλία + αντλία εκμετάλλευσης

3. Υψηλό κενό αντλώντας σύστημα:

Στροβιλο μοριακή αντλία - 2 σύνολα

4. Ηλεκτρικό σύστημα ScreenOperation αφής συστημάτων PLC+ ελέγχου και λειτουργίας:

Προμηθευτές:

PLC: Mitsubishi, πρότυπο: FX-IN60MR-001 ΣΕΙΡΑ

Ηλεκτρονικά συστατικά: ΣΝΑΙΝΤΕΡ, OMRON.

Ασφάλεια που προστατεύει το σύστημα: Πολυάριθμες συναρμολογήσεις ασφάλειας για να προστατεύσει τους χειριστές και τον εξοπλισμό (νερό, τρέχον αέριο, θερμοκρασία κ.λπ.)

Το επίστρωμα επεξεργάζεται το σύστημα: Αυτοματοποίηση & έλεγχος διαδικασίας. Αυτόματα σωζόμενος στη μνήμη για 3 μήνες. Χαρακτηρισμένος ντύνοντας τα στοιχεία συνταγών: το ρεύμα λειτουργίας στόχων/η τάση, μαζική ροή, κενή πίεση, θερμοκρασία, που ντύνει τους χρόνους σώζεται για μια ανάλυση για να βελτιώσει την ποιότητα επιστρωμάτων.

4.1 κύριο κύκλωμα: Ο διακόπτης διακοπτών κανένας-θρυαλλίδων, ηλεκτρομαγνητικός διακόπτης, C/T δακτυλογραφεί σωρηδόν

4.2 παροχή ηλεκτρικού ρεύματος: Δύναμη επιμετάλλωσης MF + δύναμη ΣΥΝΕΧΏΝ τόξων + προκατειλημμένη παροχή ηλεκτρικού ρεύματος

4.3 σύστημα ελέγχου απόθεσης

4.4 σύστημα λειτουργίας: Οθόνη αφής + PLC, έλεγχος συνταγής και αναγραφή στοιχείων, αυτόματο κλείσιμο, αυτόματη εκκένωση, αυτόματο επίστρωμα

4.5 μέτρηση του συστήματος

Κενή πίεση: Κενός μετρητής: Pirani + περιφράζοντας το μετρητή + τον κενό μετρητή μεγάλης έκτασης -- Εμπορικό σήμα της Ευρώπης

Μετρώντας συσκευή θερμοκρασίας: Θερμοηλεκτρικό ζεύγος
MFC: Ελεγκτής μαζικής ροής (4 τρόποι),

4.6 σύστημα συναγερμών: Πίεση συμπιεσμένου αέρα, ροή του νερού ψύξης, ΠΣΔ-λειτουργία

4.7 δείκτης φορτίων δύναμης: Δείκτης τάσης και τρέχων δείκτης φορτίων

5. Σύστημααπόθεσης

5.1 πηγή απόθεσης: Πηγές τόξων επιμετάλλωσης cathodes+ + ιονική πηγή

5.2 υλικό απόθεσης: ITO, τιτάνιο, χρώμιο, αργίλιο, ανοξείδωτο, TiAl κ.λπ.

6. Υποσύστημα

6.1 συμπιεσμένο αέρας σύστημα ελέγχου βαλβίδων

6.2 δροσίζοντας υδάτινο σύστημα: Σωλήνας ροής του νερού και σύστημα βαλβίδων διακοπτών

7. Εργασιακό περιβάλλον

Συμπιεσμένος αέρας: 5~8kg/cm2

Δροσίζοντας νερό: Νερό-στη θερμοκρασία: 20~25℃, 200 λίτρο/λ.,
Νερό-στην πίεση: 2~3 kg/cm2,

Δύναμη: 3 φάση 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, μέση κατανάλωση ισχύος: 60KW

Περιοχή εγκατάστασης: (L*W*H) 4400*3200*2950mm

Εξάτμιση: Διέξοδος για τις μηχανικές αντλίες

Εφαρμογές

Παρακαλώ μας ελάτε σε επαφή με για περισσότερες προδιαγραφές, η βασιλική τεχνολογία είναι τιμημένη για να σας παρέχει συνολικές λύσεις επιστρώματος.