Επαγωγική μηχανή επιστρώματος εξάτμισης
Περίληψη:
Η θέρμανση επαγωγής χρησιμοποιείται ευρέως στους διαφορετικούς τομείς λόγω της υψηλής παραγωγικότητας και της καθολικότητας διαδικασίας, της καθαριότητας και της δυνατότητας της πλήρους αυτοματοποίησης. Σαν μια μέθοδο θερμικής τεχνολογίας εξάτμισης PVD, η διαδικασία είναι φιλική για το περιβάλλον. Δεδομένου ότι η επαγωγή επιτρέπει στη θερμοκρασία 2000℃ και περισσότεροι, αυτή η μέθοδος είναι πολύ κατάλληλη για τη βιομηχανική παραγωγή και τις επιστημονικές έρευνες.
Η μηχανή επιστρώματος εξάτμισης επαγωγής RTEP0404 σχεδιάζεται γιατί η απόθεση εξάτμισης C60 ποικίλλει επάνω των υλικών. C60 οι κατασκευές παρέχουν την Ε&Α και τα εξεταστικά αποτελέσματα για ενδεχόμενο. Ένα ισχυρό εργαλείο που βοηθά τους για να επεκτείνει τις νέες εφαρμοσμένες βιομηχανίες.
Το πρώτο σύνολο παράγεται για το πανεπιστήμιο της Σαγκάη. Το πρότυπο βιομηχανικής παραγωγής είναι κάτω από την επεξεργασία.
Κύριες εφαρμογές:
Για να καταθέσει τα στρώματα και τα επιστρώματα λεπτών ταινιών επάνω
Τύπος:
Κάθετος προσανατολισμός, πρότυπο, τοπ άνοιγμα βάζων κουδουνιών
Χαρακτηριστικά σχεδιασμού:
Τεχνικές προδιαγραφές:
1. Τελευταία κενή πίεση: καλύτερα από 9.0*10-5 PA
Κενή πίεση βάσεων: 3.0*10-4 PA
3. Να αντλήσει κάτω - χρόνος: από 1 ATM σε 2.0×10-3 πρακτικά Pa≤25 (ξηράς, καθαρής και κενής αίθουσα θερμοκρασίας δωματίου,)
4. Πηγή απόθεσης: εξατμιστήρας επαγωγής, χοάνη
5. Λειτουργούν πρότυπο: Με το χέρι
6. Θέρμανση: από τη θερμοκρασία δωματίου μέχρι μέγιστο 1000℃,
7. Δύναμη εξάτμισης: Ραδιοσυχνότητα RF και παροχή ηλεκτρικού ρεύματος
8. Λειτουργώντας αέριο: AR
Η μηχανή κενού επιστρώματος περιέχει το βασικό ολοκληρωμένος σύστημα που απαριθμείται κατωτέρω:
1. Κενή αίθουσα
1.1 μέγεθος: Εσωτερική διάμετρος 400mm
Εσωτερικό ύψος: 400mm
1.2 υλικό: Κενή αίθουσα SUS304
Η αίθουσα ενισχύει τη δομή: SS41 ήπιος χάλυβας, με τη χρωματισμένη επεξεργασία επιφάνειας λήξης.
Ήπιος χάλυβας πλαισίων SS41 αιθουσών με τη χρωματισμένη επεξεργασία επιφάνειας λήξης.
1.3 ασπίδα εξάτμισης: SUS304
1.4 παράθυρο άποψης: στην πόρτα αιθουσών
1.5 κενή βαλβίδα εξαερισμού αιθουσών (συμπεριλαμβανομένου του ησυχαστήρα)
2. Κενό αντλώντας σύστημα χοντροδουλέματος:
Δύο σταδίων περιστροφική Vane πετρελαίου αντλία
3. Υψηλό κενό αντλώντας σύστημα: Στροβιλο μοριακή αντλία
4. Ηλεκτρική μονάδα λειτουργίας συστημάτων HMI ελέγχου και λειτουργίας
4.1 κύριο κύκλωμα: Ο διακόπτης διακοπτών κανένας-θρυαλλίδων, ηλεκτρομαγνητικός διακόπτης, C/T δακτυλογραφεί σωρηδόν
4.2 δύναμη εξάτμισης
4.3 σύστημα ελέγχου εξάτμισης
4.4 σύστημα λειτουργίας: PLC
4.5 μέτρηση του συστήματος
Κενή πίεση: Κενός μετρητής: Pirani + περιφράζοντας το μετρητή
4.6 σύστημα συναγερμών: Πίεση συμπιεσμένου αέρα, ροή του νερού ψύξης, ΠΣΔ-λειτουργία
4.7 δείκτης φορτίων δύναμης: Δείκτης τάσης και τρέχων δείκτης φορτίων
5. Σύστημααπόθεσης
5.1 πηγή απόθεσης: θερμικός εξατμιστήρας επαγωγής
5.2 υλικό απόθεσης: C60
6. Υποσύστημα
6.1 συμπιεσμένο αέρας σύστημα ελέγχου βαλβίδων
6.2 δροσίζοντας υδάτινο σύστημα: Σωλήνας ροής του νερού και σύστημα βαλβίδων διακοπτών
6.3 λειτουργώντας αέριο: AR (>99.99%)
7. Εργασιακό περιβάλλον
Συμπιεσμένος αέρας: 5~8kg/cm2
Δροσίζοντας νερό: Νερό-στη θερμοκρασία: 20~25℃, 200 λίτρο/λ.,
Νερό-στην πίεση: 2~3 kg/cm2,
Δύναμη: 3 φάση 380V 50Hz (60Hz), 8kVA, μέση κατανάλωση ισχύος: 3kVA
Περιοχή εγκατάστασης: (L*W*H) 2000*200*2000mm
Εξάτμιση: Διέξοδος για τις μηχανικές αντλίες
Αυτόματα τραβώντας επάνω-κάτω από τη μονάδα που ανοίγει/στενή η αίθουσα
Ηλεκτρικό σύστημα περιφράξεων:
Άκρες ασφάλειας:
Προστασία Shileding από την ακτινοβολία RF
Μας έχουν προσπαθήσει για να σχεδιάσουμε και να αναπτύξουμε το καταλληλότερο σύστημα επιστρώματος που ικανοποιούν τα υψηλά αιτήματά μας αποτελεσματικότητας παραγωγής πελατών και ποιότητας επιστρώματος.
Εάν προσαρμοσμένη η επένδυση του συστήματος απαιτείται από την επιχείρησή σας, παρακαλώ μοιραστείτε τις σκέψεις σας, ιδέες με την ομάδα μας και υποβάλτε τις προδιαγραφές προϊόντων σας, θα εργαστούμε μαζί για να ταξινομήσουμε τις καλύτερες λύσεις.
