Ονομασία μάρκας: | ROYAL |
Αριθμός μοντέλου: | RTSP |
MOQ: | 1 |
τιμή: | Negoitable |
Ψεκάζοντας εξοπλισμός χαλκού/αργιλίου/άνθρακα, υψηλό κενό Magnetron ψεκάζοντας σύστημα απόθεσης
Το ψεκάζοντας σύστημα απόθεσης UHV χρησιμοποιεί τις ψεκάζοντας καθόδους ως πηγές απόθεσης PVD. Πάντα το MF ψεκάζει και το συνεχές ρεύμα ψεκάζει για τις indstrial εφαρμογές επιστρώματος PVD. Με βάση τους διαφορετικούς στόχους και τα αιτήματα της ταχύτητας απόθεσης επιμετάλλωσης, η βασιλική τεχνολογία παρέχει ότι cylidrical ψεκάζει και επίπεδος ψεκάστε τις καθόδους, κυρίως για τα γρήγορα ποσοστά απόθεσης για να ικανοποιήσετε την απαίτηση επιστρώματος βιομηχανικής παραγωγής.
Το υψηλό κενό Magnetron μας ψεκάζοντας σύστημα απόθεσης σχεδιάζεται για το χαλκό, alumunium, πλαστικό, αγώγιμη επένδυση στρώματος ταινιών πινάκων κυκλωμάτων μετάλλων. Μπορεί να συμπυκνώσει τη νανο λεπτή ταινία στα υποστρώματα. Εκτός από την επιμετάλλωση άργυρου, μπορεί επίσης να καταθέσει το Νι, Au, άργυρος, Al, χρώμιο, στόχοι ανοξείδωτου.
Μπορεί deposite υψηλές ταινίες ομοιομορφίας στα διάφορα υποστρώματα: πλαστικό panle, PC panle, φύλλο αργιλίου, κεραμικά φύλλα, Al2O3 κεραμικά, AlN, φύλλα κ.λπ. πυριτίου.
RTSP1215 σχεδιάγραμμα εξοπλισμού επιστρώματος επιμετάλλωσης
Εφαρμογές εξοπλισμού επιστρώματος επιμετάλλωσης σειράς RTSP:
1. Διαθέσιμος στα υποστρώματα: Πλαστικό, πολυμερές σώμα, γυαλί και κεραμικά φύλλα, ανοξείδωτο, φύλλο χαλκού, πίνακας κ.λπ. αργιλίου.
2. Για να παραγάγει τη νανο ταινία όπως: Κασσίτερος, σπασμός, TiCN, χρώμιο, κέντρο ανίχνευσης και ελέγχου, CrN, $cu, άργυρος, Au, Νι, Al κ.λπ.
Rt-SP ψεκάζοντας χαρακτηριστικά σχεδιασμού εξοπλισμού επιστρώματος σειράς:
1. Γερό σχέδιο, καλό για το περιορισμένο διάστημα δωματίων
2. Εύκολη πρόσβαση για τη συντήρηση και την επισκευή
3. Γρήγορα αντλώντας σύστημα για την υψηλή παραγωγή
4. Η τυποποιημένη ηλεκτρική περίφραξη CE, πρότυπα UL είναι επίσης διαθέσιμη.
5. Ακριβής εργασία επεξεργασίας
6. Σταθερό τρέξιμο για να εγγυηθεί υψηλό - παραγωγή ποιοτικών ταινιών.
Η ιονική πηγή είναι αρχική από την επιχείρηση Gencoa, οι ιδιότητες:
1. Βελτιστοποιημένα μαγνητικά πεδία για να παραγάγει μια παράλληλη ακτίνα πλάσματος στις τυποποιημένες πιέσεις επιμετάλλωσης
2. Αυτοματοποιημένος κανονισμός για το αέριο να διατηρηθεί το σταθερές ρεύμα & η τάση – αυτόματος έλεγχος πολυ-αερίου
3. Από γραφίτη άνοδος και κάθοδος για να προστατεύσει το υπόστρωμα από τη μόλυνση και να παρέχει τα μακράς διαρκείας συστατικά
4. Τυποποιημένη ηλεκτρική μόνωση RF σε όλες τις ιονικές πηγές
5. Έμμεση ψύξη της ανόδου και της καθόδου – γρήγορη μετατροπή των μερών
6. Εύκολη μετατροπή των μερών καθόδων για να παρέχει τις πολλαπλάσιες μαγνητικές παγίδες για τη λειτουργία χαμηλότερης τάσης, ή μια ακτίνα
7. Ρυθμισμένη η τάση παροχή ηλεκτρικού ρεύματος με τη ρύθμιση αερίου ανατροφοδοτεί για να διατηρήσει το ίδιο ρεύμα ανά πάσα στιγμή
Υψηλές κενές Magnetron τεχνικές προδιαγραφές συστημάτων απόθεσης επιμετάλλωσης:
ΠΡΟΤΥΠΟ | Rt1215-SP |
ΥΛΙΚΟ | Ανοξείδωτο (S304) |
ΜΕΓΕΘΟΣ ΑΙΘΟΥΣΩΝ | Φ1200*1500mm (η) |
ΤΥΠΟΣ ΑΙΘΟΥΣΩΝ | 1-πόρτα δομή, κάθετη |
ΕΝΙΑΙΑ ΣΥΣΚΕΥΑΣΙΑ ΑΝΤΛΙΩΝ | Περιστροφική αντλία VaneVacuum |
Κενή αντλία ριζών | |
Μαγνητική μοριακή αντλία αναστολής | |
Δύο σταδίων περιστροφική vane κενή αντλία | |
ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΑ | Magnetron MF επιμετάλλωση, γραμμική ιονική πηγή |
ΠΑΡΟΧΗ ΗΛΕΚΤΡΙΚΟΥ ΡΕΎΜΑΤΟΣ | Ψεκάζοντας παροχή ηλεκτρικού ρεύματος + προκατειλημμένη παροχή ηλεκτρικού ρεύματος + ιονική πηγή |
ΠΗΓΗ ΑΠΟΘΕΣΗΣ | το MF 4 ζευγαριών που ψεκάζει τις καθόδους + ιονικά πηγή + συνεχές ρεύμα ψεκάζει |
ΕΛΕΓΧΟΣ | PLC+Touch οθόνη |
ΑΈΡΙΟ | Αργό μετρητών μαζικής ροής αερίου (AR, Ν2, C2H2, Ο2), άζωτο και Ethyne, οξυγόνο |
ΣΥΣΤΗΜΑ ΑΣΦΑΛΕΙΑΣ | Πολυάριθμες συναρμολογήσεις ασφάλειας για να προστατεύσει τους χειριστές και τον εξοπλισμό |
ΨΥΞΗ | Δροσίζοντας νερό |
ΚΑΘΑΡΙΣΜΟΣ | Απαλλαγή πυράκτωσης/ιονική πηγή |
ΔΥΝΑΜΗ MAX. | 120KW |
ΜΕΣΗ ΚΑΤΑΝΑΛΩΣΗ ΙΣΧΎΟΣ | 70KW |
Ψεκάζοντας συστατικά κλειδιά εξοπλισμού χαλκού/αργιλίου/άνθρακα:
1. Ισχυρό αντλώντας σύστημα: Υποστηρίζοντας αντλίες Leybold + μαγνητική μοριακή αντλία αναστολής της Οζάκα
2. Σύστημα διανομής γραφείου νερού/αερίου
3. Ψεκάζοντας σύστημα διανομής καθόδων
Παρακαλώ μας ελάτε σε επαφή με για περισσότερες προδιαγραφές, η βασιλική τεχνολογία είναι τιμημένη για να σας παρέχει συνολικές λύσεις επιστρώματος.