Ψεκάζοντας σύστημα MF διακοσμήσεων μετάλλων από γραφίτη/από γραφίτη εγκαταστάσεις κενού επιστρώματος απόθεσης PVD
Ψεκάζοντας σύστημα MF διακοσμήσεων μετάλλων το από γραφίτη είναι μια ενσωματωμένη πολλαπλάσια μηχανή πηγών απόθεσης στις γενικές από γραφίτη, αεριωθούμενες μαύρες, μπλε διακοσμήσεις χρώματος κ.λπ. στα μέρη μετάλλων, αντικείμενα ανοξείδωτου. Ιδιαίτερα χρησιμοποιημένος για τα προϊόντα πολυτέλειας κατηγορίας υψηλών σημείων όπως: ηλεκτρονική: έξυπνο τηλέφωνο, κάμερα, lap-top, γκολφ, κουτάλι, δίκρανα, μαχαίρι, λαβή πορτών, στρόφιγγες jewelries των δαχτυλιδιών δάχτυλων, του περιδεραίου, των δαχτυλιδιών αυτιών, των βραχιολιών κ.λπ.
Ψεκάζοντας σύστημα MF διακοσμήσεων μετάλλων το από γραφίτη έχει τις πολλαπλές πηγές απόθεσης:
Οδηγημένες κυκλικές πηγές τόξων για την εξάτμιση του στερεού στόχου μετάλλων
2 ζευγάρια του MF οι ψεκάζοντας κάθοδοι για την από γραφίτη απόθεση στρώματος λεπτών ταινιών
Προκατειλημμένη παροχή ηλεκτρικού ρεύματος για το ιονικό bomboardment για να διαμορφώσει την περιοχή πλάσματος για την προγενέστερη επεξεργασία
Γραμμική ιονική μονάδα πηγής ανόδων (για προαιρετικό) επεξεργασία PACVD και PECVD
Cryopump (Polycold) για τη μοριακή συμπύκνωση νερού (για προαιρετικό)
Τι το MF ψεκάζει;
Έναντι της επιμετάλλωσης συνεχούς ρεύματος και RF, η επιμετάλλωση μέσος-συχνότητας έχει γίνει μια κύρια τεχνική επιμετάλλωσης λεπτών ταινιών για τη μαζική παραγωγή του επιστρώματος, ιδιαίτερα για την απόθεση ταινιών των διηλεκτρικών και non-conductive επιστρωμάτων ταινιών στις επιφάνειες όπως τα οπτικά επιστρώματα, τα ηλιακά πλαίσια, τα πολλαπλάσια στρώματα, η ταινία κ.λπ. σύνθετου υλικού.
Αντικαθιστά την επιμετάλλωση RF λόγω του που χρησιμοποιείται με το kHz παρά το MHZ για ένα πολύ γρηγορότερο ποσοστό απόθεσης και μπορεί επίσης να αποφύγει τη δηλητηρίαση στόχων κατά τη διάρκεια της σύνθετης απόθεσης λεπτών ταινιών όπως το συνεχές ρεύμα.
Οι ψεκάζοντας στόχοι MF υπήρξαν πάντα με τα δύο-σύνολα. Δύο κάθοδοι χρησιμοποιούνται με ένα ρεύμα εναλλασσόμενου ρεύματος που μεταστρέφεται μπρος-πίσω μεταξύ τους όποιος καθαρίζει την επιφάνεια στόχων με κάθε αντιστροφή για να μειώσει τη συγκέντρωση δαπανών στα διηλεκτρικά που οδηγεί να σχηματίσει τόξο που μπορεί spew σταγονίδια στο πλάσμα και να αποτρέψει την ομοιόμορφη αύξηση λεπτών ταινιών- όποιος είναι αυτό που καλέσαμε δηλητηρίαση στόχων.
Απόδοση συστημάτων επιμετάλλωσης MF
1. Τελευταία κενή πίεση: καλύτερα από 5.0×10-6 Torr.
2. Λειτουργούσα κενή πίεση: 1.0×10-4 Torr.
3. Χρόνος Pumpingdown: από 1 ATM σε 1.0×10-4 Torr≤ 3 λεπτά (ξηράς, καθαρής και κενής αίθουσα θερμοκρασίας δωματίου,)
4. Υλικό Metalizing (που ψεκάζει + εξάτμιση τόξων): Νι, $cu, άργυρος, Au, Tj, Zr, χρώμιο, κασσίτερος, σπασμός, TiAlN, CrN, κέντρο ανίχνευσης και ελέγχου, κ.λπ.
5. Λειτουργούν πρότυπο: Το πλήρες αυτόματα /Semi-Auto/ με το χέρι
Ψεκάζοντας δομή συστημάτων MF
Η μηχανή κενού επιστρώματος περιέχει το βασικό ολοκληρωμένος σύστημα που απαριθμείται κατωτέρω:
1. Κενή αίθουσα
2. Κενό αντλώντας σύστημα Rouhging (υποστηρίζοντας συσκευασία αντλιών)
3. Υψηλό κενό αντλώντας σύστημα (μαγνητικά μοριακή αντλία αναστολής)
4. Ηλεκτρικό σύστημα ελέγχου και λειτουργίας
5. Σύστημα δυνατότητας Auxiliarry (υποσύστημα)
6. Σύστημα απόθεσης: Ψεκάζοντας κάθοδος MF, παροχή ηλεκτρικού ρεύματος MF, προκατειλημμένη ιονική πηγή παροχής ηλεκτρικού ρεύματος για προαιρετικό
Τα από γραφίτη μεγέθη συστημάτων επιμετάλλωσης MF διακοσμήσεων μετάλλων:
Εσωτερικό μέγεθος αιθουσών: Dia 1200 χιλ. ~ 1600mm
Εσωτερικό ύψος αιθουσών: 1250mm ~ 1300mm
Τα προσαρμοσμένα μεγέθη μηχανών είναι επίσης διαθέσιμα βασισμένα στη specular ζήτηση των τρισδιάστατων προϊόντων.
Προδιαγραφές συστημάτων rtac1250-SPMF επιμετάλλωσης MF
ΠΡΟΤΥΠΟ | Rtac1250-SPMF | ||||||
ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΑ | Magnetron MF που ψεκάζει + ιονική επένδυση | ||||||
ΥΛΙΚΟ | Ανοξείδωτο (S304) | ||||||
ΜΕΓΕΘΟΣ ΑΙΘΟΥΣΩΝ | Φ1250*H1250mm | ||||||
ΤΥΠΟΣ ΑΙΘΟΥΣΩΝ | Κύλινδρος, κατακόρυφος, 1 πόρτα | ||||||
ΨΕΚΑΖΟΝΤΑΣ ΣΥΣΤΗΜΑ | Αποκλειστικά σχέδιο για τη λεπτή μαύρη απόθεση ταινιών | ||||||
ΥΛΙΚΟ ΑΠΟΘΕΣΗΣ | Αργίλιο, ασήμι, χαλκός, χρώμιο, ανοξείδωτο, Νικέλιο |
||||||
ΠΗΓΗ ΑΠΟΘΕΣΗΣ | 2 κυλινδρικής σύνολα επιμετάλλωσης MF στοχεύουν σε + 8 οδηγημένες καθοδικές πηγές τόξων + ιονική πηγή για προαιρετικό | ||||||
ΑΈΡΙΟ | MFC- 4 τρόποι, AR, Ν2, Ο2, C2H2 | ||||||
ΕΛΕΓΧΟΣ | PLC (προγραμματίσημος ελεγκτής λογικής) + | ||||||
ΣΥΣΤΗΜΑ ΑΝΤΛΙΩΝ | SV300B - 1 σύνολο (Leybold) | ||||||
WAU1001 - 1 σύνολα (Leybold) | |||||||
D60T- 1 σύνολο (Leybold) | |||||||
Στροβιλο μοριακές αντλίες: 2* φ-400/3500 | |||||||
ΠΡΟΓΕΝΕΣΤΕΡΗ ΕΠΕΞΕΡΓΑΣΊΑ | Προκατειλημμένη παροχή ηλεκτρικού ρεύματος: 1*36 KW | ||||||
ΣΥΣΤΗΜΑ ΑΣΦΑΛΕΙΑΣ | Πολυάριθμες συναρμολογήσεις ασφάλειας για να προστατεύσει τους χειριστές | ||||||
ΨΥΞΗ | Κρύο νερό | ||||||
ΔΥΝΑΜΗ ΗΛΕΚΤΡΙΚΗ | 480V/3 phases/60HZ (ΗΠΑ υποχωρητικές) | ||||||
460V/3 phases/50HZ (Ασία υποχωρητική) | |||||||
380V/3 phases/50HZ (ΕΕ-CE υποχωρητικό) | |||||||
ΙΧΝΟΣ | L3000*W3000*H2000mm | ||||||
ΣΥΝΟΛΙΚΟ ΒΑΡΟΣ | 7.0 Τ | ||||||
ΙΧΝΟΣ | (L*W*H) ΚΚ 5000*4000 *4000 | ||||||
ΤΟ ΚΥΚΛΟΣ ΖΩΩΝ | 30~40 λεπτά (ανάλογα με το υλικό υποστρωμάτων, γεωμετρία υποστρωμάτων και περιβαλλοντικές συνθήκες) |
||||||
ΜΕΓΙΣΤΟ ΔΥΝΑΜΗΣ. | 155 KW | ||||||
ΜΕΣΗ ΔΥΝΑΜΗ ΚΑΤΑΝΑΛΩΣΗ (ΠΕΡ.) |
75 KW |
Παρακαλώ μας ελάτε σε επαφή με για περισσότερες προδιαγραφές, η βασιλική τεχνολογία είναι τιμημένη για να σας παρέχει συνολικές λύσεις επιστρώματος.