Χρυσό, ασήμι και χαλκό Κηραμική μηχανή απορρόφησης PVD,

Ο εξοπλισμός αποθήκευσης Au Gold Sputtering, Μηχανή αποθήκευσης PVD Silver/Gold, Σύστημα αποθήκευσης PVD PVD με αγωγική ταινία 

Σύνοψη:Η διαδικασία DPC- Direct Plating Copper είναι μια προηγμένη τεχνολογία επικάλυψης που εφαρμόζεται στις βιομηχανίες LED / ημιαγωγών / ηλεκτρονικών.Αποθέματα καλωδιακής ταινίας σε οξείδιο του αλουμινίου (Al2O3), υποστρώματα AlN με τεχνολογία ψεκασμού PVD, σε σύγκριση με την παραδοσιακή παραγωγή

μέθοδοι: DBC LTCC HTCC, πολύ χαμηλότερο κόστος παραγωγής είναι το υψηλό χαρακτηριστικό του.

Η ομάδα τεχνολογίας της Royal βοήθησε τον πελάτη μας να αναπτύξει την διαδικασία DPC με επιτυχία με την τεχνολογία ψεκασμού PVD.

Κλειδιά:Κεραμικά εξαρτήματα σφράγισης, διαδικασία DPC, σύστημα ψεκασμού PVD χαλκού, LED κεραμικά τσιπάκια με επικάλυψη Cooper, Al₂Ο₃, AlN κεραμικά κυκλώματα, Al2O3 πλάκες σε LED, ημιαγωγός

ΕφαρμογέςDPC:

· HBLED

· Υποστρώματα για κυψέλες ηλιακών συγκεντρωτών

· Συσκευές ημιαγωγών ισχύος, συμπεριλαμβανομένου του ελέγχου κινητήρα αυτοκινήτων

· Ηλεκτρονική διαχείρισης ισχύος υβριδικών και ηλεκτρικών αυτοκινήτων

· Πακέτα για RF

· συσκευές μικροκυμάτων

Απόδοση της τεχνολογίας DPC

Διαφορετικά υλικά υποστρώματος: κεραμικό (Al3O2, AlN), γυαλί και Si

• Πολύ χαμηλότερο κόστος παραγωγής.
• Εξαιρετική θερμική διαχείριση και απόδοση μεταφοράς θερμότητας
• Ακριβής ευθυγράμμιση και σχεδιασμός σχεδίου
• Σκληρή προσκόλληση μετάλλωσης

Χαρακτηριστικά:

• Μεγάλη απόδοση έως 2,2 m2 κεραμικού υποστρώματος ανά κύκλο.
• Δυνατή προσκόλληση με ισχυρή συσκευή θέρμανσης και καθαρισμό πηγής πλάσματος.
• Σύνθετο σχεδιασμό και εύκολη πρόσβαση για εργασίες αναβάθμισης και συντήρησης.
• Πλήρως αυτοματοποιημένο, PLC + οθόνη αφής, σύστημα ελέγχου με ένα άγγιγμα.
• Υψηλή απόδοση με μικρότερη κατανάλωση ενέργειας, εξοικονόμηση κόστους παραγωγής έως και 50%.

Τεχνικές προδιαγραφές

• Απόδοση

1Τελική πίεση κενού: καλύτερη από 9,0*10^-5Πατέρα;

• Πίεση κενού βάσης: 3,0*10^-2Μπαμπά.

3. Πυροδότησης προς τα κάτω Χρόνος: από atm σε 1.0 × 10^-3Pa≤15 λεπτά (περιοχή θερμοκρασίας δωματίου, στεγνή, καθαρή και άδεια αίθουσα)

4Πηγή αποθέματος: Γενκοά, μαγνητρονικοί κάθοδοι ψεκασμού, καθοδηγούμενοι κάθοδοι τόξου, πηγή ιόντων

5- Λειτουργικό μοντέλο: πλήρως αυτόματο / ημι- αυτόματο / χειροκίνητο

6- Θέρμανση: από θερμοκρασία δωματίου έως 500°C,

9Πηγή ιόντων για τη διαδικασία PECVD και PA PVD.

• Δομή

Το μηχάνημα επικαλύψεως υπό κενό περιέχει το κλειδί του ολοκληρωμένου συστήματος που παρατίθεται κατωτέρω:

1Δωμάτιο κενού.

1.1 Μέγεθος: Εσωτερική διάμετρος: 1200 mm

Εσωτερικό ύψος: 1500 mm

1.2 Υλικό: Θάλαμος κενού SUS304

Πύλες και φλάντζες SUS304

Δομή ενίσχυσης θαλάμου: SS41 ήπιος χάλυβας, με βαμμένη επεξεργασία επιφάνειας.

Κεφάλαιο σασί SS41 ήπιου χάλυβα με βαμμένη επεξεργασία επιφάνειας.

1.3 Ασπίδα θαλάμου: SUS304

1.4 Παραθύρα: 2 στην πόρτα

1.5 Βαλβίδα εξαερισμού αίθουσας κενού (συμπεριλαμβανομένου του σιγαστήρα)

1.6 Πύλη: υλικό SUS304

2Ρου.γινγκΣύστημα αντλίας κενού:

Πύραυλο κενού πετρελαίου με περιστροφικές φιάλες + αντλία κράτησης
 

3Σύστημα αντλίας υψηλής κενότητας: Μαγνητική αναστολή μοριακής αντλίας - 2 σετ

4Ηλεκτρικό σύστημα ελέγχου και λειτουργίας- PLC + λειτουργία οθόνης αφής:

Προμηθευτές:

PLC: Mitsubishi + οθόνη αφής (σχέδιο κατασκευής στην Κίνα)

Ηλεκτρονικά εξαρτήματα:

Σύστημα προστασίας ασφάλειας:Αρκετά κλειδαριά ασφαλείας για την προστασία των χειριστών και του εξοπλισμού (νερό, ρεύμα αερίου, θερμοκρασία κλπ.)

Σύστημα διεργασιών επικάλυψης: Αυτοματοποίηση διαδικασιών και έλεγχος.

4.1 Κύριο κύκλωμα: διακόπτης διακόπτη χωρίς ασφάλειες, ηλεκτρομαγνητικός διακόπτης, C/T σε σειρά

4.2 Τροφοδοσία ηλεκτρικής ενέργειας: ισχύς ψεκασμού DC/MF + ισχύς τόξου DC + παροχή ηλεκτρικής ενέργειας με παρεκκλίσεις

4.3 Σύστημα ελέγχου αποθέσεων

4.4 Σύστημα λειτουργίας: Οθόνη αφής + PLC, έλεγχος συνταγών και καταγραφή δεδομένων, αυτόματη διακοπή λειτουργίας, αυτόματη εκκένωση, αυτόματη επικάλυψη

4.5 Σύστημα μέτρησης

Πίεση κενού: Κενόμετρο: Πιράνι + Κενόμετρο Πένινγκ + Κενόμετρο πλήρους φάσματος -- μάρκα Ευρώπης

Μηχανή μέτρησης θερμοκρασίας: Θερμοσύνδεσμος
MFC: Ρυθμιστής ροής μάζας (4 τρόποι ),

4.6 Σύστημα συναγερμού: πίεση συμπιεσμένου αέρα, ροή νερού ψύξης, λάθος λειτουργία

4.7 Δείκτης φορτίου ισχύος: Δείκτης τάσης και δείκτης ρεύματος φορτίου

5Σύστημα αποθέσεων

5.1 Πηγή εναπόθεσης: Καθοδικές σπείρες+ Πηγή τόξου + Πηγή ιόντων

5.2 Υλικό αποθέματος: χαλκός, αλουμίνιο, χρώμιο, ασήμι, χρυσός, SS, τιτάνιο κλπ.
 

6.Υποσύστημα

6.1 Σύστημα ελέγχου βαλβίδας συμπιεσμένου αέρα

6.2 Σύστημα ψύξης νερού:Σύστημα σωλήνα ροής νερού και βαλβίδας διακόπτη

7Εργασιακό περιβάλλον

Συμπυκνωμένος αέρας: 5~8kg/cm2

Υδάτινη ψύξη: θερμοκρασία εισόδου νερού: 20~25°C, 200 λίτρα/δευτερόλεπτο
Πίεση εισόδου νερού: 2 έως 3 kg/cm2,

Δύναμη: 3 φάσης 380V 50Hz ((60Hz), 130kVA, μέση κατανάλωση ισχύος: 60KW

Περιοχή εγκατάστασης: (L*W*H) 4400*3200*2950mm

Εξέλιξη: εξαερισμός για μηχανικές αντλίες

Παρακαλούμε επικοινωνήστε μαζί μας για περισσότερες προδιαγραφές, η Royal Technology είναι περήφανη που σας παρέχει ολοκληρωμένες λύσεις επίχρισής.