logo
Σφραγίδα
Λεπτομέρειες για το blog
Created with Pixso. Σπίτι Created with Pixso. Μπλογκ Created with Pixso.

Επαναστατήστε την έρευνα λεπτών υμενίων του εργαστηρίου σας με το σύστημα επίστρωσης πολλαπλών διεργασιών Royal RTAC950-SP

Επαναστατήστε την έρευνα λεπτών υμενίων του εργαστηρίου σας με το σύστημα επίστρωσης πολλαπλών διεργασιών Royal RTAC950-SP

2025-12-28

Στον δυναμικό κόσμο της επιστήμης των υλικών, της οπτικής και της μηχανικής επιφανειών, η ύπαρξη ευέλικτου και αξιόπιστου εργαστηριακού εξοπλισμού δεν είναι απλώς ένα πλεονέκτημα—είναι μια αναγκαιότητα. Για ερευνητικές ομάδες που εξερευνούν προηγμένες επιστρώσεις—από εξαιρετικά σκληρές μεμβράνες DLC έως οπτικά στρώματα υψηλής ανακλαστικότητας—η πρόκληση συχνά έγκειται στην εύρεση ενός ενιαίου συστήματος εναπόθεσης που προσφέρει τόσο ευελιξία όσο και ακρίβεια. Γνωρίστε το Royal RTAC950-SP, μια υπερσύγχρονη μηχανή επίστρωσης κενού πολλαπλών λειτουργιών σχεδιασμένη ειδικά για Έρευνα & Ανάπτυξη, ενσωματώνοντας καθόδους εκτόξευσης μέσης συχνότητας/συνεχούς ρεύματος και μια γραμμική πηγή ιόντων για να ξεκλειδώσετε πρωτοφανείς πειραματικές δυνατότητες.

Γιατί να επιλέξετε ένα αρθρωτό σύστημα πολλαπλών διεργασιών για το εργαστήριό σας;

Οι παραδοσιακοί επιστρωτήρες μίας διεργασίας μπορούν να περιορίσουν την καινοτομία, αναγκάζοντας τους ερευνητές να προσαρμόσουν τα έργα τους στις δυνατότητες του εξοπλισμού και όχι το αντίστροφο. Το Royal RTAC950-SP καταρρίπτει αυτούς τους περιορισμούς με την αρθρωτή αρχιτεκτονική του «plug-and-play». Οι τυποποιημένες φλάντζες στερέωσης του επιτρέπουν την γρήγορη και εύκολη εναλλαγή καθόδων εκτόξευσης μαγνητρονίου Gencoa, πηγών εξάτμισης τόξου και συγκροτημάτων γραμμικής πηγής ιόντων. Αυτό σημαίνει ότι το εργαστήριό σας μπορεί να αλλάξει απρόσκοπτα μεταξύ σκληρών επιστρώσεων PVD, διεργασιών PECVD, μεμβρανών DLC/διαμαντόμορφου άνθρακα και εκτοξευμένων οπτικών επιστρώσεων χωρίς να επενδύσετε σε πολλαπλές ειδικές μηχανές. Είναι το απόλυτο εργαλείο για συγκριτικές μελέτες και την ανάπτυξη πολυστρωματικών ή σύνθετων μεμβρανών επόμενης γενιάς.

Σχεδιασμένο για απόδοση και απλότητα

Στον πυρήνα του, το RTAC950-SP είναι κατασκευασμένο για να προσφέρει ισχυρά, επαναλαμβανόμενα αποτελέσματα υπό αυστηρές συνθήκες έρευνας.

  • Ανώτερο Ίδρυμα κενού: Επιτυγχάνοντας μια βασική πίεση ≤ 3,0*10⁻² Pa και ένα απόλυτο κενό καλύτερο από 8,0*10⁻⁴ Pa, το σύστημα εξασφαλίζει ένα καθαρό περιβάλλον χωρίς ρύπους, απαραίτητο για την ανάπτυξη φιλμ υψηλής καθαρότητας. Ο γρήγορος κύκλος άντλησης (≤15 λεπτά σε 1,0*10⁻³ Pa) μεγιστοποιεί τον παραγωγικό χρόνο εργαστηρίου.
  • Έλεγχος διεργασίας ακριβείας: Εξοπλισμένο με ένα σύστημα αυτοματισμού PLC + οθόνη αφής (με Mitsubishi PLC και εξαρτήματα Schneider/Omron), ο επιστρωτήρας προσφέρει πλήρως αυτόματες, ημιαυτόματες και χειροκίνητες λειτουργίες. Το σύστημα διαχείρισης συνταγών καταγράφει αυτόματα όλες τις κρίσιμες παραμέτρους—ρεύμα/τάση στόχου, ροή μάζας, πίεση, θερμοκρασία και χρόνος επίστρωσης—για λεπτομερή ανάλυση και τέλεια επανάληψη της διεργασίας.
  • Ισχυρές δυνατότητες εναπόθεσης: Είτε εκτοξεύετε από στόχους ITO, Ti, Cr, Al ή κράματα όπως TiAl, είτε χρησιμοποιείτε καθόδους τόξου για πυκνές μεταλλικές μεμβράνες, το σύστημα παρέχει σταθερή, ελεγχόμενη εναπόθεση. Η ενσωματωμένη γραμμική πηγή ιόντων αλλάζει το παιχνίδι, επιτρέποντας την εναπόθεση με υποβοήθηση ιόντων (IAD) για πυκνότερες, πιο προσκολλημένες επιστρώσεις και διευκολύνοντας προηγμένες διεργασίες PA PVD και PECVD.
  • Σχεδιασμός με επίκεντρο τον χρήστη: Ο σχεδιασμός θαλάμου διπλής πόρτας (μπροστά και πίσω), κατασκευασμένος από ανοξείδωτο χάλυβα SUS304, προσφέρει εξαιρετική προσβασιμότητα για φόρτωση δειγμάτων, αλλαγές εξαρτημάτων και συντήρηση. Τα ολοκληρωμένα συστήματα αλληλοκλειδώματος ασφαλείας προστατεύουν τόσο τον χειριστή όσο και τον εξοπλισμό.
Βασικές προδιαγραφές με μια ματιά
  • Εσωτερικές διαστάσεις θαλάμου: Ø950mm (D) x 1350mm (H)
  • Θέρμανση: Θέρμανση δείγματος έως 500°C
  • Τροφοδοτικά: Ενσωματωμένα τροφοδοτικά εκτόξευσης MF/DC, τόξου DC και πόλωσης.
  • Παρακολούθηση: Μετρητές κενού πλήρους εμβέλειας, θερμοστοιχεία και 4-κάναλα MFC για ακριβή έλεγχο αερίου.
  • Αποτύπωμα: Περίπου 4400 x 3200 x 2950 mm, σχεδιασμένο για αποτελεσματική χρήση του χώρου του εργαστηρίου.
Ευρείες εφαρμογές για έρευνα αιχμής

Το RTAC950-SP είναι το ιδανικό σύστημα εναπόθεσης λεπτών υμενίων εργαστηρίου για ένα ευρύ φάσμα εφαρμογών:

  • Λειτουργικές & Προστατευτικές Επιστρώσεις: Αναπτύξτε ανθεκτικές στην φθορά, ανθεκτικές στη διάβρωση σκληρές επιστρώσεις για εργαλεία και εξαρτήματα. Σχεδιάστε στερεά λιπαντικά ή διακοσμητικές επιστρώσεις σε χρώματα όπως μαύρο, ροζ χρυσό ή μπλε.
  • Οπτικά & Ημιαγωγικά Φιλμ: Εναποθέστε οπτικά λεπτά φιλμ υψηλής ανακλαστικότητας, αντι-ανακλαστικά ή αγώγιμα διαφανή.
  • Προηγμένα φιλμ άνθρακα: Ερευνήστε και βελτιστοποιήστε τις ιδιότητες των φιλμ DLC και διαμαντόμορφου άνθρακα για βιοϊατρικές, αυτοκινητοβιομηχανικές ή τριβολογικές εφαρμογές.
  • Βασική Έρευνα & Ανάπτυξη: Η ευελιξία του το καθιστά ιδανικό για τη δημιουργία πρωτοτύπων νέων αρχιτεκτονικών επιστρώσεων, τη μελέτη μηχανισμών ανάπτυξης φιλμ και τη δοκιμή νέων συνδυασμών υλικών.
Το Royal Advantage: Περισσότερο από μια απλή μηχανή

Η επιλογή της Royal σημαίνει συνεργασία με έναν αφοσιωμένο πάροχο λύσεων. Προσφέρουμε:

  • Ολοκληρωμένη υποστήριξη: Από τη λειτουργία και τη συντήρηση της μηχανής έως την εις βάθος εκπαίδευση σε συνταγές διεργασίας επίστρωσης και προγραμματισμό.
  • Παγκόσμιο δίκτυο εξυπηρέτησης: Με κέντρα υποστήριξης στην Ευρώπη (Πολωνία), τη Μέση Ανατολή (Ιράν, Τουρκία), την Ινδία και τη Νότια Αμερική (Μεξικό).
  • Εγγύηση & Προσαρμογή: Υποστηρίζεται από 1 έτος δωρεάν περιορισμένης εγγύησης και εγγύηση μηχανής εφ' όρου ζωής. Παρέχουμε επίσης υπηρεσίες OEM & ODM για προσαρμοσμένες λύσεις.
  • Παγκόσμια παράδοση: Συσκευασμένο σύμφωνα με τα πρότυπα εξαγωγής για ασφαλείς θαλάσσιες/αεροπορικές μεταφορές μεγάλων αποστάσεων.
Ενδυναμώστε την έρευνά σας σήμερα

Μην αφήνετε τους περιορισμούς του εξοπλισμού να καθορίζουν το πεδίο της έρευνάς σας. Το σύστημα επίστρωσης Έρευνας & Ανάπτυξης πολλαπλών λειτουργιών Royal RTAC950-SP είναι κάτι περισσότερο από ένας επιστρωτήρας εκτόξευσης εργαστηρίου—είναι μια επεκτάσιμη πλατφόρμα έρευνας σχεδιασμένη να εξελίσσεται με τα έργα σας.

Είστε έτοιμοι να μεταμορφώσετε τις δυνατότητες έρευνας λεπτών υμενίων σας; Επικοινωνήστε με την Royal Technology τώρα για να συζητήσετε τις συγκεκριμένες ανάγκες σας, να ζητήσετε μια λεπτομερή προσφορά και να ανακαλύψετε πώς οι ολοκληρωμένες λύσεις επίστρωσης μπορούν να επιταχύνουν την πορεία σας προς την ανακάλυψη. Ας χτίσουμε μαζί το μέλλον της μηχανικής επιφανειών.