August 10, 2018
Βασιλική τεχνολογία της Σαγκάη foucs στην παροχή των λύσεων κενού επιστρώματος PVD, PECVD και PAPVD στα διάφορα subtrates για να πάρει τις αναμενόμενες ταινίες ιδιοτήτων: όπως
1. πλαστική διαδικασία επιχρωμίωσης PVD σκληρή, επίστρωμα χρωμίου PVD για να αντικαταστήσει τη λύση ηλεκτρολυτικής επιμετάλλωσης Cr6+,
2. DPC άμεσος καλυμμένος χαλκός στα κεραμικά φύλλα (Al2O3, AlN),
3. Ταινίες οχημάτων κυττάρων καυσίμου υδρογόνου moudule depositon με PECVD τη διαδικασία,
4. Υψηλό κενό CsI που επιμεταλλώνει με τη θερμική διαδικασία εξάτμισης για την υψηλή απεικόνιση ακτίνας X
5. διακοσμητικό επίστρωμα όπως το χρυσό ZRN, κασσίτερος χρυσό TiAlN, TiAlC, ZrCN, κέντρο ανίχνευσης και ελέγχου, CrCN στο ανοξείδωτο, γυαλί, κεραμικό, ορείχαλκος, κράμα ψευδάργυρου, κράμα αργιλίου, υλικά προϊόντα ABS.
6. Απόθεση Fullerene C60 στα προϊόντα.
Στοχεύουμε στη συνεργασία με περισσότερες οργανώσεις Ε&Α για να αναπτύξουμε περισσότερες εφαρμογές.
Εισαγωγή
Το κενό είναι ένα περιβάλλον όπου η πίεση αερίου είναι λιγότερο από περιβαλλοντική. Ένα πλάσμα είναι ένα αεριώδες περιβάλλον στο οποίο υπάρχουν αρκετά ιόντα και ηλεκτρόνια για να υπάρχει την αξιόλογη ηλεκτρική αγωγιμότητα. Το κενό επίστρωμα είναι η απόθεση μιας ταινίας ή ένα επίστρωμα σε ένα κενό (ή χαμηλής πιέσεως πλάσμα) περιβάλλον. Γενικά ο όρος εφαρμόζεται στις διαδικασίες που καταθέτουν απόθεση το (PVD) ατμού ατόμων (ή μορίων) ένα τη φορά όπως η φυσική ή οι χαμηλής πιέσεως διαδικασίες απόθεσης χημικού ατμού (lp-cvd) ή πλάσμα-ενισχυμένο CVD (PECVD). Στις διαδικασίες PVD, το υλικό που κατατίθεται προέρχεται από την εξάτμιση μιας στερεάς ή υγρής επιφάνειας. CVD στις διαδικασίες, το υλικό που κατατίθεται προέρχεται από ένα χημικό είδος προδρόμων ατμού που αποσυντίθεται από τη μείωση ή θερμικός αποσύνθεση-συνήθως σε μια καυτή επιφάνεια.
Σε ορισμένες περιπτώσεις το υλικό που κατατίθεται αντιδρά με το αεριώδες περιβάλλον ή το α τα είδη για να διαμορφώσει μια ταινία ενός σύνθετου υλικού όπως ένα οξείδιο, ένα νιτρίδιο, το καρβίδιο, ή ένα carbonitride. CVD στην επεξεργασία, η χρήση ενός πλάσματος για να τεμαχίσει το χημικό πρόδρομο ατμού στη φάση ατμού επιτρέπει στις διαδικασίες αποσύνθεσης ή μείωσης για να προχωρήσει στις χαμηλότερες θερμοκρασίες από με τη θερμική ενεργοποίηση μόνη. PECVD μπορεί να εκτελεσθεί στις πιέσεις τόσο χαμηλές όσο εκείνοι που χρησιμοποιούνται στην επεξεργασία PVD (χαμηλής πιέσεως PECVD, lp-PECVD), όπου ο ατμός προδρόμων αποσυντίθεται κυρίως στο πλάσμα. Σε ορισμένες περιπτώσεις μια υβριδική διαδικασία απόθεσης PVD και lp-PECVD χρησιμοποιείται για να καταθέσει τα κράματα, τα σύνθετα, ή τις ενώσεις. Ένα παράδειγμα είναι μέταλλο carbonitrides όπου ο άνθρακας προέρχεται από έναν χημικό πρόδρομο ατμού όπως η ασετυλίνη το άζωτο προέρχεται από ένα αέριο και το μέταλλο από την εξάτμιση, την επιμετάλλωση, ή την εξάτμιση τόξων μιας στερεάς ή υγρής επιφάνειας.
Ηλεκτρικά αγώγιμες ταινίες
Οι ταινίες μετάλλων είναι οι πιό κοινές ηλεκτρικές ταινίες αγωγών. Οι ταινίες μετάλλων μπορούν να χρησιμοποιηθούν ως «γενικές» επιμεταλλώσεις ή μπορούν να διαμορφωθούν στις ιδιαίτερες γραμμές αγωγών («λωρίδες») με την κάλυψη του υποστρώματος κατά τη διάρκεια της απόθεσης ή με τις επόμενες φωτολιθογραφικές διαδικασίες χαρακτικής. Οι γραμμές αγωγών χρησιμοποιούνται στην υβριδική τεχνολογία μικροκυκλωμάτων και στην κατασκευή των συσκευών ημιαγωγών. Συχνά, οι ηλεκτρικοί αγωγοί είναι πολυστρωματικές ταινίες (σωροί) όπου κάθε στρώμα έχει μια λειτουργία. Παραδείγματος χάριν, ο σωρός ταινιών αγωγών να έχει τη σύνθεση: γυαλί-Tj-Pd-$cu-Au. Το τιτάνιο το (Ti) είναι το στρώμα «κόλλας», το παλλάδιο το (Pd) παρέχει την αντίσταση διάβρωσης, ο χαλκός το (Cu) είναι ένας ηλεκτρικός αγωγός, και ο χρυσός (Au) παρέχει την προστασία διάβρωσης. Οι κατατεθειμένοι αγωγοί μετάλλων «στα vias» χρησιμοποιούνται στην καθιέρωση των ηλεκτρικών επαφών μεταξύ των διαφορετικών στρωμάτων στην κατασκευή συσκευών ημιαγωγών. Η γενική επιμετάλλωση χρησιμοποιείται για να παρέχει την ηλεκτρομαγνητική παρέμβαση το (EMI) και την παρέμβαση το (RFI) ραδιοσυχνότητας που προστατεύει στις δομές όπως οι πλαστικές περιπτώσεις για τα κινητά τηλέφωνα, τα ηλεκτρόδια για τα άκαμπτα και εύκαμπτα ηλεκτρόδια πυκνωτών, και τις επιφάνειες για το ραντάρ «φλοιός.»
Το νιτρίδιο μετάλλων, το καρβίδιο, και οι ταινίες μεταλλικής ένωσης πυριτίου είναι γενικά ηλεκτρικά αγώγιμα (το Si3 Ν4 και AlN είναι σημαντικές εξαιρέσεις). Σε μερικές εφαρμογές, οι ταινίες αυτών των πυρίμαχων υλικών χρησιμοποιούνται για να παρέχουν τα εμπόδια διάχυσης μεταξύ των υλικών. Παραδείγματος χάριν, στην επιμετάλλωση ημιαγωγών, το αργίλιο ή το χρυσό υλικό ηλεκτροδίων θα διασκορπίσει στο πυρίτιο κατά τη διάρκεια της υψηλής θερμοκρασίας επεξεργασίας. Μια ηλεκτρικά αγώγιμη ταινία νιτριδίων τιτανίου που κατατίθεται στην επιφάνεια πυριτίου προτού να κατατεθεί το ηλεκτρόδιο μετάλλων θα αποτρέψει τη διάχυση. Η παραγωγή σταθερή, ηλεκτρικά αγώγιμη, οι επαφές ημιαγωγών μετάλλων των μετάλλων ή οι ενώσεις μέταλλο-μεταλλικής ένωσης πυριτίου είναι μια σημαντική πτυχή της επεξεργασίας συσκευών ημιαγωγών. Τα νιτρίδια μετάλλων όπως το νιτρίδιο το (TaN) τανταλίου χρησιμοποιούνται ως υλικά αντιστατών λεπτών ταινιών. Τα αδιαφανή ηλεκτρικά αγώγιμα οξείδια όπως το τριοξείδιο χρωμίου (χρώμιο2 Ο3), το οξείδιο μολύβδου (PbO), και ruthenium το οξυγόνο (RuO) χρησιμοποιούνται ως ηλεκτρόδια στις υψηλής θερμοκρασίας οξειδωτικές ατμόσφαιρες.
Οι υπεραγωγοί είναι υλικά που έχουν κοντά σε μηά ηλεκτρική ειδική αντίσταση κάτω από κάποια κρίσιμη θερμοκρασία (Τγ). Το χαμηλό υλικό υπεραγωγών Τγ (<>λιγότερο από [γ (μεγαλύτερο από [>] 50 Κ) είναι ένα μίγμα οξειδίων (οξείδια yttrium-βισμούθιο-χαλκού [Υ-δις-$cu], YBCO). Οι υψηλές λεπτές ταινίες υπεραγωγών Τγ κατατίθενται συχνά από την αφαήρεση λέιζερ στο κενό.
Διαφανείς ηλεκτρικοί αγωγοί
Οι διαφανείς αγώγιμες ταινίες του (TCO) οξειδίων, όπως το τριοξείδιο ίνδιου (σε2 Ο3), το διοξείδιο κασσίτερου (SnO2), το οξείδιο ψευδάργυρου (ZnO) και ένα κράμα του οξειδίου ίνδιου και του οξειδίου κασσίτερου (ITO), έχουν τις πολυάριθμες εφαρμογές όπως οι θερμάστρες στα παράθυρα για τα ξεπαγώνοντας, αντιστατικά επιστρώματα στις οθόνες επίδειξης, τα ηλεκτρόδια στις επίπεδες οθόνες και τις ηλεκτροχρωμικές συσκευές, και τα ηλεκτρόδια και στις εύκαμπτες (ανθεκτική οθόνη) και άκαμπτες (χωρητική οθόνη) οθόνες αφής. Η ηλεκτρική ειδική αντίσταση για τις ταινίες TCO μπορεί να ποικίλει από μεγαλύτερο από 1.000 ωμ ανά «τετράγωνο» σε λιγότερο από 10 ωμ ανά τετράγωνο με την καλή οπτική μετάδοση.
Ηλεκτρικοί μονωτές
Οι ηλεκτρικά μονώνοντας ταινίες χρησιμοποιούνται για να απομονώσουν ηλεκτρικά τη διεύθυνση των συστατικών στις συσκευές ημιαγωγών, και ως διηλεκτρικό μέσα στους πυκνωτές. Τα κοινά υλικά ταινιών μονωτών είναι διοξείδιο πυριτίου (SiO2), τριοξείδιο αργιλίου (Al2 Ο3), pentoxide τανταλίου (TA2 Ο5), νιτρίδιο πυριτίου (Si3 Ν4), και νιτρίδιο αργιλίου (AlN). Η παρεμβολή μιας λεπτής ταινίας οξειδίων μεταξύ μιας ταινίας μετάλλων και ενός ημιαγωγού επιτρέπει το σχηματισμό της τεχνολογικά σημαντικής συσκευής του (MOS) μέταλλο-οξείδιο-ημιαγωγών. Τα παχιά επιστρώματα SiO2, με το χαμηλό συντελεστή θερμικής επέκτασής του, μπορούν να είναι RF ψεκάζουν καταθεμένος. Τα στρώματα μόνωσης SiO2, του νιτριδίου πυριτίου (Si2 Ν3), και του γυαλιού κατατίθενται από PECVD για τα στρώματα ενθυλάκωσης και μόνωσης στην επεξεργασία ημιαγωγών.
Οπτικές ταινίες
Οι οπτικές ταινίες, συνήθως πολυστρωματικές ταινίες («σωροί»), είναι ταινίες που έχουν επιπτώσεις στην οπτική μετάδοση ή την αντανάκλαση μιας επιφάνειας. Εναλλάσσουν γενικά τα στρώματα των υλικών που έχουν τους υψηλούς (γερμάνιο [Γερμανία], Si, TiO2, διοξείδιο ζιρκονίου [ZrO2], SiO, διοξείδιο δημήτριου [CEO2]) και χαμηλούς (φθορίδιο μαγνήσιου [2 MGF], SiO2) δείκτες της διάθλασης. Μια σημαντική εφαρμογή είναι τα επιστρώματα του (AR) αντιαντανάκλασης στους φακούς. Οι οπτικοί σωροί ταινιών μπορούν να χρησιμοποιηθούν ως οπτικά φίλτρα. Η ουδέτερη πυκνότητα ή τα γκρίζα φίλτρα μειώνει την ελαφριά ένταση εξίσου για όλα τα μήκη κύματος τα ευρυζωνικά φίλτρα έχουν επιπτώσεις στη μετάδοση της ακτινοβολίας πέρα από μια ευρεία σειρά μήκους κύματος, ενώ τα στενά ή μονοχρωματικά φίλτρα έχουν επιπτώσεις στη μετάδοση πέρα από μια πολύ στενή περιοχή μήκους κύματος. Ένα παράδειγμα ενός ευρυζωνικού φίλτρου είναι ένα «φίλτρο ακρών» που «κόβει» την υπεριώδη ακτίνα το (UV) εκ:πέμπω από έναν λαμπτήρα ατμού υδραργύρου. Τα παραδείγματα των περιορισμένης ζώνης φίλτρων είναι τα φίλτρα χρώματος που χρησιμοποιούνται στη φωτογραφία και στους προβολείς.
Μερικοί σωροί ταινιών είναι ένας ειδικός τύπος οπτικής ταινίας που έχει ένα χρώμα που συσχετίζεται με τη γωνία--παρατήρηση (OVIDs). Αυτές οι ταινίες επιτρέπουν την ολογραφικός-όπως απεικόνιση. Αυτές οι ταινίες του ΟΒΙΔΊΟΥ χρησιμοποιούνται ως συσκευές ασφάλειας για να αποτρέψουν την πλαστογράφηση. Αυτές οι ταινίες είναι μια απόφυση των παρέμβαση-χρωματισμένων ταινιών που χρησιμοποιούνται για τις διακοσμητικές ταινίες και, όταν κονιοποιούνται, ως χρωστικές ουσίες.
Θερμικά επιστρώματα ελέγχου
Η σύνθεση των θερμικών επιστρωμάτων ελέγχου στα παράθυρα διαφέρει με το τελικό αποτέλεσμα επιθυμητό. Εάν το αντικείμενο είναι να κρατηθεί η ηλιακή ακτινοβολία από την είσοδο μέσω του παραθύρου, μια πολυστρωματική ταινία γυαλί-TiO2 - χρώμιο-TiO2 μπορεί να χρησιμοποιηθεί (ηλιακό επίστρωμα ελέγχου). Εάν το αντικείμενο είναι να κρατηθεί η θερμότητα στο δωμάτιο, μια λεπτή ταινία του ασημιού μπορεί να χρησιμοποιηθεί για να απεικονίσει 85% σε 95% της χαμηλής θερμοκρασίας υπέρυθρης ακτινοβολίας πίσω στο δωμάτιο (επίστρωμα χαμηλός-ε). Ένα τέτοιο «επίστρωμα διπλός-ε» είναι γυαλί-ZnO-άργυρος (Tj) - znO-άργυρος (Tj) - znO-TiO2. Το ZnO παρέχει ένα antireflective επίστρωμα.
Άλλοι τύποι θερμικών επιστρωμάτων ελέγχου χρησιμοποιούνται για να απορροφήσουν την ηλιακή ακτινοβολία (ηλιακοί απορροφητές), να προσροφήσουν επιλεκτικά την ηλιακή ακτινοβολία και να μην εκπέμψουν την υπέρυθρη ακτινοβολία (εκλεκτικοί ηλιακοί απορροφητές), ή για να έχουν μια υψηλή ικανότητα ακτινοβολίας για να ενισχύσουν την ψύξη από την ακτινοβολία. Τα θερμικά επιστρώματα εμποδίων χρησιμοποιούνται για να μειώσουν τη θερμική μεταφορά από ένα καυτό περιβάλλον στο υπόστρωμα. Το οξείδιο ζιρκονίου (ZrO2) που σταθεροποιείται με το οξείδιο ασβεστίου το (CaO), MgO, ή Υ2 Ο3 χρησιμοποιείται ως θερμικό επίστρωμα εμποδίων στις λεπίδες στροβίλων μηχανών αεροσκαφών.
Επιστρώματα ανακλαστήρων
Οι ταινίες μετάλλων χρησιμοποιούνται ευρέως για τις επιφάνειες ανακλαστήρων. Το ασήμι χρησιμοποιείται συχνά όταν η διάβρωση δεν είναι ένα πρόβλημα, όπως για τους καθρέφτες πίσω-επιφάνειας. Το αργίλιο μπορεί να χρησιμοποιηθεί είτε ως ανακλαστήρας μπροστινός-επιφάνειας είτε πίσω-επιφάνειας. Συχνά, οι επαργυλωμένοι ανακλαστήρες μπροστινός-επιφάνειας, όπως οι ανακλαστήρες προβολέων, είναι πέρα από ντυμένος με μια προστατευτική πολυμερή ταινία (τοπ παλτό). Το χρώμιο χρησιμοποιείται στους ανακλαστήρες μπροστινός-επιφάνειας όταν η διάβρωση είναι ένα πρόβλημα ακόμα κι αν η ανακλαστικότητά της στον ορατό (60%) είναι λιγότερο από αυτό του αργιλίου (> 90%). Οι ταινίες ανακλαστήρων χρησιμοποιούνται στις πολυάριθμες συνήθως αντιμετωπισμένες εφαρμογές, όπως στα CD για την αποθήκευση βίντεο και μουσικής, τους ανακλαστήρες λαμπτήρων, και τους οπτικούς καθρέφτες όπως οι οπισθοσκόποι καθρέφτες για τα αυτοκίνητα. Σε ορισμένες περιπτώσεις οι πολυστρωματικές ταινίες, παρόμοιες με τις πολυστρωματικές οπτικές ταινίες, χρησιμοποιούνται για να απεικονίσουν επιλεκτικά ορισμένα μήκη κύματος και όχι άλλων. Τα παραδείγματα είναι «κρύοι καθρέφτες» που απεικονίζουν την ορατή ακτινοβολία αλλά όχι τα υπέρυθρους μήκη κύματος και τους «καθρέφτες θερμότητας» που απεικονίζουν τις υπέρυθρες ακτίνες αλλά όχι τον ορατό. Οι καθρέφτες θερμότητας χρησιμοποιούνται για να αυξήσουν την εσωτερική θερμοκρασία των λαμπτήρων αλόγονου. Οι κρύοι καθρέφτες χρησιμοποιούνται για να μειώσουν τη θερμότητα του σκηνικού φωτισμού στους δράστες.
Συσκευασία
Τα επιστρώματα εμποδίων χρησιμοποιούνται στις εύκαμπτα πολυμερή ταινίες και χαρτί για τη συσκευασία τροφίμων για να μειώσουν το ποσοστό το (WVTR) μετάδοσης υδρατμών και το ποσοστό το (OTR) μετάδοσης οξυγόνου μέσω της ταινίας εγγράφου ή πολυμερών σωμάτων. Το πιό κοινό υλικό επιστρώματος εμποδίων είναι αργίλιο, που κατατίθεται στους ρόλους της πολυμερούς ταινίας (Ιστός), κατόπιν που παρέχεται «στους μετατροπείς» ποιοι κατασκευάζουν τη συσκευασία. Σε ορισμένες περιπτώσεις τα επιστρώματα μετάλλων κατατίθενται σε μια επιφάνεια και έπειτα «μεταφέρονται» στη συσκευάζοντας ταινία. Τα διαφανή επιστρώματα εμποδίων είναι επιθυμητά σε πολλές περιπτώσεις. Τα στρώματα SiO2-Χ, από την αντιδραστικό εξάτμιση και PECVD και τα σύνθετα επιστρώματα του Al2 Ο3 SiO2:30% από E-beam την ομο-εξάτμιση χρησιμοποιούνται για να διαμορφώσουν τα διαφανή στρώματα εμποδίων. Το σύνθετο υλικό επιστρώματος είναι πυκνότερο και εύκαμπτο από το SiO2 ή το κατατεθειμένο υλικό Al2 Ο3 μόνο. Οι ταινίες αργιλίου χρησιμοποιούνται ήλιο-γεμισμένα στα πολυμερές σώμα μπαλόνια για να μειώσουν την απώλεια ηλίου.
Διακοσμητικά και διακοσμητικά/επιστρώματα ένδυσης
Η επιμετάλλωση για αυστηρά διακοσμητικούς λόγους είναι μια μεγάλη αγορά. Οι εφαρμογές ποικίλλουν από το πολυμερές σώμα επιστρώματος Ιστός-που μετατρέπονται έπειτα στις διακοσμητικές χρήσεις όπως τα μπαλόνια και ετικέτα-στην επιμετάλλωση των τρισδιάστατων άρθρων, όπως τα αθλητικά τρόπαια, κύβος ψευδάργυρου χυτός και που φορμάρεται πολυμερή διακοσμητικά κοu'φώματα, και καλλυντικά εμπορευματοκιβώτια. Συχνά αυτά τα επιστρώματα αποτελούνται από ένα αντανακλαστικό επίστρωμα αργιλίου που κατατίθεται σε ένα ομαλό παλτό βάσεων, κατόπιν πέρα από ντυμένος με μια βαμμένη λάκκα για να δώσει στο επίστρωμα το επιθυμητή χρώμα και τη σύσταση και την αντοχή επίσης διάβρωσης και.
Σε μερικές εφαρμογές, εκτός από τις διακοσμητικές πτυχές του επιστρώματος, το επίστρωμα απαιτείται για να αντισταθεί την ένδυση. Παραδείγματος χάριν, το νιτρίδιο το (TiN) τιτανίου είναι χρυσός χρωματισμένος, και το carbonitride τιτανίου (σπασμόςxNy) μπορεί να ποικίλει στο χρώμα από το χρυσό στην πορφύρα στο Μαύρο ανάλογα με τη σύνθεση. Το νιτρίδιο ζιρκονίου (ZRN) έχει το χρώμα του ορείχαλκου και είναι πολύ περισσότερες ένδυση και γρατσουνιά ανθεκτικές από τον ορείχαλκο. Τα διακοσμητικά/επιστρώματα ένδυσης χρησιμοποιούνται στο υλικό πορτών, τα κοu'φώματα υδραυλικών, τα στοιχεία μόδας, το θαλάσσιο υλικό, και άλλες τέτοιες εφαρμογές.
Σκληρά και ένδυση - ανθεκτικά επιστρώματα
Τα σκληρά επιστρώματα καλούνται συχνά μεταλλουργικά επιστρώματα και είναι ένας τύπος τριβολογικού επιστρώματος. Τα σκληρά επιστρώματα χρησιμοποιούνται για να αυξήσουν την τέμνουσα αποδοτικότητα και τη λειτουργική ζωή των τεμνόντων εργαλείων και για να διατηρήσουν τις διαστατικές ανοχές των συστατικών που χρησιμοποιούνται στις εφαρμογές όπου η ένδυση μπορεί να εμφανιστεί, όπως οι φόρμες εγχύσεων. Επιπλέον, τα επιστρώματα μπορούν να ενεργήσουν ως εμπόδιο διάχυσης όπου οι υψηλές θερμοκρασίες παράγονται από την κίνηση μεταξύ των επιφανειών ή της προστασίας διάβρωσης στα επιθετικά περιβάλλοντα. Υπάρχουν διάφορες κατηγορίες σκληρών υλικών επιστρώματος. Περιλαμβάνουν: ionically συνδεμένα μεταλλικά οξείδια (Al2 Ο3, ZrO2, και TiO2), covalently συνδεμένα υλικά (SIC, άνθρακας βορίου [B4C], διαμάντι, διαμάντι-ομοειδής-άνθρακας [DLC], σπασμός, AlN, κέντρο ανίχνευσης και ελέγχου, μικτά σύνθετα κράματα καρβιδίου, νιτριδίων και carbonitride, και κυβικό νιτρίδιο βορίου), και μερικά κράματα μετάλλων (yttrium αργιλίου χρωμίου κοβαλτίου [CoCrAlY], Nial, NiCrBSi). Σε ορισμένες περιπτώσεις τα επιστρώματα μπορούν να βάλουν σε στρώσεις για να συνδυάσουν τις ιδιότητες.
Τα σκληρά επιστρώματα επίσης χρησιμοποιούνται για να ελαχιστοποιήσουν την κούραση-ένδυση, όπως βρίσκεται στα ρουλεμάν. Τα Wear-resistant επιστρώματα μπορούν επίσης να εφαρμοστούν στις επιφάνειες όπου υπάρχει ένα ελαφρύ ή περιοδικό φορτίο. Παραδείγματος χάριν, τα σκληρά επιστρώματα κατατίθενται στα πλαστικά για να βελτιώσουν την αντίσταση γρατσουνιών. Οι εφαρμογές είναι στους φορμαρισμένους πλαστικούς φακούς και τους πλαστικούς θόλους αεροπλάνων. Σε ορισμένες περιπτώσεις τα επιστρώματα ένδυσης, όπως SiO2 ή το Al2 Ο3, μπορούν να εφαρμοστούν στις ήδη σκληρές επιφάνειες, όπως το γυαλί, για να αυξήσουν την αντίσταση γρατσουνιών.
Ηλεκτρικά ενεργές ταινίες
Οι ναρκωμένες ταινίες πυριτίου χρησιμοποιούνται στις συσκευές ημιαγωγών, και αυτές οι ταινίες συχνά κατατίθενται από μια πολύ περίπλοκη PVD επιταξία το (MBE) ακτίνων εξάτμισης αποκαλούμενη τεχνική μοριακή ή μια CVD τεχνική επιταξίας το (VPE) φάσης ατμού. Το άμορφο πυρίτιο για τα ηλιακά κύτταρα κατατίθεται από PECVD στους Ιστούς και τα άκαμπτα υποστρώματα. Οι ταινίες Electochromic, που αλλάζουν την οπτική μετάδοση στην εφαρμογή μιας τάσης, εξαρτώνται από τη διάχυση ενός κινητού είδους στην ταινία κάτω από έναν ηλεκτρικό τομέα. Οι ταινίες ενός υλικού όπως το σελήνιο μπορούν να γίνουν ηλεκτρικά χρεωμένες όταν εκτίθενται στο φως. Τέτοιες ταινίες χρησιμοποιούνται για να κρατήσουν το τονωτικό στη φωτοαντιγραφή των μηχανών.
Μαγνητικά μέσα απομνημόνευσης
Τα μαγνητικά υλικά είναι ταξινομημένα όπως «σκληρός» ή «μαλακός» ανάλογα με πόσο σκληρά πρόκειται να μαγνητίσει, να απομαγνητίσει, ή «να μεταστρέψει» το μαγνητικό πεδίο. Μαλακά μαγνητικά υλικά, όπως Permalloys (σίδηρος [Φε]: 40 στο Νι 80%) και το Υ2 Φε5 Ο12 (γρανάτης) χρησιμοποιούνται στις συσκευές αποθήκευσης μνήμης όπου τα στοιχεία αλλάζουν συχνά. Σκληρά μαγνητικά υλικά όπως το Φε3 Ο4, κοβάλτιο: Νι: βολφράμιο [W], κοβάλτιο: rhenium [σχετικά με], γαδολίνιο [GD]: Κοβάλτιο, και GD: τέρβιο [φυματίωση]: Το Φε χρησιμοποιείται σε περισσότερα μόνιμα μέσα καταγραφής όπως οι κασέτες ήχου. Οι διάφορες τεχνικές χρησιμοποιούνται για να καθορίσουν τις μαγνητικές περιοχές που ενεργούν ως περιοχές αποθήκευσης.
Προστατευτικά επιστρώματα διάβρωσης
Η προστασία από ένα επιθετικό χημικό περιβάλλον μπορεί να ολοκληρωθεί με διάφορους τρόπους. Η επιφάνεια μπορεί να ντυθεί με ένα αδρανές υλικό ή με ένα υλικό που διαμορφώνει μια προστατευτική επιφάνεια μετά από να αντιδράσει με το περιβάλλον ή με ένα υλικό που θα αφαιρεθεί sacrificially για να προστατεύσει το ελλοχεύον υλικό. Το ταντάλιο, ο λευκόχρυσος, και ο άνθρακας είναι αδρανείς σε πολλά χημικά περιβάλλοντα. Παραδείγματος χάριν, τα επιστρώματα άνθρακα χρησιμοποιούνται στα μέταλλα που εμφυτεύονται στο ανθρώπινο σώμα για να παρέχουν τη συμβατότητα. Στην αεροδιαστημική βιομηχανία τα μέρη είναι αργίλιο που ντύνεται με τη διαδικασία PVD της ιονικής απόθεσης το (IVD) ατμού ώστε να αποτραπεί η γαλβανική διάβρωση των ανόμοιων υλικών σε επαφή.
Το χρώμιο, το αργίλιο, το πυρίτιο, και τα κράματα MCrAlY (όπου το Μ είναι Νι, κοβαλτίου, Φε) θα αντιδράσουν με το οξυγόνο για να διαμορφώσουν ένα συνεπές προστατευτικό στρώμα οξειδίων στην επιφάνεια. Εάν τα ιόντα μετάλλων (Φε, $cu) διάχυτα γρηγορότερα από το οξυγόνο μέσω του οξειδίου, ένα παχύ οξείδιο θα διαμορφώσουν στην επιφάνεια. Εάν το οξυγόνο διασκορπίσει γρηγορότερα μέσω του οξειδίου από τα ιόντα μετάλλων (Al, Si, Tj, τα zr-μέταλλα «βαλβίδων»), η οξείδωση θα εμφανιστεί στη διεπαφή και ένα λεπτό οξείδιο θα διαμορφωθεί. Τα επιστρώματα κραμάτων MCrAlY χρησιμοποιούνται ως προστατευτικά επιστρώματα στις λεπίδες στροβίλων μηχανών αεροσκαφών. Κάδμιο, αργίλιο, και Al: Τα κράματα ZN χρησιμοποιούνται ως γαλβανικά θυσιαστικά επιστρώματα στο χάλυβα. Η κενή επένδυση καδμίου («vac CAD») έχει το πλεονέκτημα πέρα από το ηλεκτρολυτικό κάδμιο δεδομένου ότι δεν υπάρχει καμία δυνατότητα embrittlement υδρογόνου του υψηλής αντοχής χάλυβα όταν χρησιμοποιείται η κενή επεξεργασία απόθεσης.
Στερεά λιπαντικά ταινιών/χαμηλά επιστρώματα τριβής
Η NASA καινοτόμησε τη χρήση των vacuum-deposited στερεών λιπαντικών λεπτών ταινιών. Τα λιπαντικά είναι δύο τύπων: το μέταλλο χαμηλός-κουράς τέτοιο τόσο ασήμι και μόλυβδος-και η ελασματικός-κουρά σύνθετη υλικό-τέτοιοι όπως δισουλφίδιο μολυβδαίνιου (MOS2). Τα λιπαντικά μετάλλων χαμηλός-κουράς χρησιμοποιούνται στις εφαρμογές υψηλός-ροπής όπως οι περιστρεφόμενες άνοδοι στους σωλήνες ακτίνας X. Τα σύνθετα υλικά χαμηλός-κουράς χρησιμοποιούνται στην μηχανικός-συμπεριφορά των εφαρμογών στο κενό και όπου το λιπαντικό «ερπυσμός» μπορεί να είναι ένα πρόβλημα. Επειδή μόνο μια πολύ λεπτή ταινία απαιτείται για τη λίπανση, η εφαρμογή της ταινίας λιπαντικών δεν οδηγεί στις σημαντικές αλλαγές των διαστάσεων. Τα χαμηλά επιστρώματα τριβής του μέταλλο-περιορισμού του άνθρακα (εμένα-γ) χρησιμοποιούνται για να μειώσουν την ένδυση στις μηχανικές εφαρμογές επαφών
??????????? δομές
Οι??????????? δομές μπορούν να γίνουν με την κατάθεση ενός επιστρώματος σε μια επιφάνεια (mandrel), έπειτα που χωρίζει το επίστρωμα από τη mandrel επιφάνεια ή που διαλύει mandrel. Η τεχνική είναι χρήσιμη για τις πολύ λεπτές δομές, τις σύνθετες επιφάνειες, ή τα φύλλα αλουμινίου ή τα φύλλα των υλικών που είναι δύσκολο να παραμορφωθούν με το κύλισμα. Τα παραδείγματα είναι παράθυρα βηρυλλίου που χρησιμοποιούνται για τη μετάδοση ακτίνας X, τους κώνους λεπτός-τοίχων βορίου για τους υψηλής συχνότητας ακουστικούς ομιλητές, και τα φύλλα αλουμινίου κραμάτων μετάλλων Tj-β-Al. Μια σχετικά νέα αίτηση είναι η παραγωγή των microelectromechanical συσκευών συστημάτων (MEMS) όπου οι πολύ μικρές δομές κατασκευάζονται χρησιμοποιώντας την απόθεση και χαράζοντας τις διαδικασίες.
Παλτά βάσεων για την ηλεκτρολυτική επιμετάλλωση
Τα υλικά που είναι δύσκολο να επιμεταλλωθούν με ηλεκτρόλυση λόγω του γρήγορου σχηματισμού οξειδίων μπορούν να έχουν ένα προσκολλημένο παλτό βάσεων που εφαρμόζονται με PVD τις διαδικασίες και έπειτα το επίστρωμα οικιστικό από την ηλεκτροεναπόθεση. Τα παραδείγματα καλύπτουν στο τιτάνιο, το ουράνιο, και το ζιρκόνιο όπου ένα παλτό βάσεων ενός υλικού όπως το νικέλιο ή το χαλκό εφαρμόζεται με μια διαδικασία PVD προτού να ενισχυθεί το ηλεκτρολυτικό επίστρωμα.
Πολυμερείς ταινίες
Υπάρχει αυξανόμενο ενδιαφέρον για την κατάθεση των οργανικών και ανόργανων πολυμερών ταινιών στο κενό. Αυτές οι ταινίες μπορούν να διαμορφωθούν από τη συμπύκνωση ενός μονομερούς που ακολουθείται με E-beam ή τη UV θεραπεία για να πολυμερίσει το μονομερές ή από τον πολυμερισμό πλάσματος του μονομερούς. Ο πρόδρομος μονομερών μπορεί να παραγάγει έναν άνθρακα, ένα πυρίτιο, ή ένα βόριο-βασισμένο στον πολυμερές υλικό που περιέχει συχνά το υδρογόνο, το χλώριο, ή το φθόριο. Οι Fluorine-containing ταινίες χρησιμοποιούνται για να διαμορφώσουν τις υδροφοβικές επιφάνειες.
- Το άρθρο είναι από το Donald Μ. Mattox, διαχείριση συν, Α.Ε.
