October 11, 2022
Μοντέλο μηχανής: RT1200-FCEV
Τεχνολογία: με PECVD + PVD Μαγνήτρον Εναπόθεση: Στόχοι Si, Cr, άνθρακας, για δημιουργία μη ισορροπημένου κλειστού μαγνητικού πεδίου για υψηλή πυκνότητα, υψηλή ομοιομορφία και εξαιρετική εναπόθεση φιλμ αντί στη διάβρωση.
Χρόνος κατασκευής: 2016
Τοποθεσία: Σαγκάη, Κίνα
Εγκατάσταση & δοκιμή: 3 ημέρες
Θέση σε λειτουργία & Εκπαίδευση: 7 ημέρες
ΑυτόRT1200-FCEVΤο σύστημα εναπόθεσης μαγνητρονίων υψηλού κενού είναι ένα εξατομικευμένο μοντέλο που αναφέρεται στο μοντέλο Multi950-R&D που κατασκευάσαμε για το Πανεπιστήμιο της Σαγκάης.
Είναι σχεδιασμένο με οκταδικό θάλαμο, οι ευέλικτες και αξιόπιστες επιδόσεις χρησιμοποιούνται ευρέως σε διάφορες εφαρμογές.Ικανοποιεί τις διαδικασίες επίστρωσης που απαιτούν πολλά διαφορετικά στρώματα μετάλλων: Ta, Cr, Si, Γραφίτης, Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS και πολλά άλλα μη σιδηρομαγνητικά μέταλλα.καθώς και η μονάδα πηγής ιόντων, βελτιώνουν αποτελεσματικά την πρόσφυση των φιλμ σε διαφορετικά υλικά υποστρώματος με την απόδοσή της στη χάραξη πλάσματος και, τη διαδικασία PECVD για την εναπόθεση ορισμένων στρωμάτων με βάση τον άνθρακα.
Δομή Εξοπλισμού: Κατακόρυφος προσανατολισμός, οκταγωνική δομή, 2-πόρτες (ανοίγμα μπροστά και πίσω) για εύκολη πρόσβαση.
Χαρακτηριστικά εξοπλισμού:
Σύστημα φιλικό προς το περιβάλλον, χωρίς επικίνδυνα απόβλητα.
Ολική ενοποίηση, αρθρωτός σχεδιασμός
Εμπορευματοποιημένο και τυποποιημένο για βιομηχανική μαζική παραγωγή
Εξαιρετικά αποτελεσματική πηγή ιόντων για ισχυρή πρόσφυση και υψηλό ιονισμό.
Εύκολη λειτουργία: Οθόνη αφής + έλεγχος PLC, λειτουργία με ένα άγγιγμα
Με το λογισμικό Royal Tech, οι παράμετροι διεργασίας μπορούν να προγραμματιστούν, να αποθηκευτούν και να αναπαραχθούν.
Ειδικός σχεδιασμός συστήματος Carousel για εναπόθεση υψηλής ομοιομορφίας.
Υψηλή παραγωγικότητα και σταθερότητα, εργασία 24/7 την εβδομάδα.
Εύκαμπτο, ταιριάζει σε διάφορα μεγέθη πιάτων, για επίστρωση μονής ή διπλής όψης.
Επικοινωνήστε μαζί μας για περισσότερες πληροφορίες.
