October 11, 2022
Εξοπλισμός επίστρωσης πολλαπλών λειτουργιών Ε&Α
Μοντέλο μηχανής:Multi950-R&D
Τεχνολογία:PVD+PECVD
Χρόνος κατασκευής:2015
Τοποθεσία:Σανγκάη, Κίνα
Εγκατάσταση & δοκιμή:5 μέρες
Θέση σε λειτουργία & Εκπαίδευση:3 ημέρες
Χαρακτηριστικά σχεδίου
1. Ευελιξία: Το τόξο και οι κάθοδοι εκτόξευσης, οι φλάντζες στερέωσης πηγής ιόντων είναι τυποποιημένες για ευέλικτη ανταλλαγή.
2. Ευελιξία: μπορεί να εναποθέσει ποικιλία βασικών μετάλλων και κραμάτων.οπτικές επιστρώσεις, σκληρές επιστρώσεις, μαλακές επιστρώσεις, σύνθετες μεμβράνες και στερεές λιπαντικές μεμβράνες στα υποστρώματα μεταλλικών και μη μεταλλικών υλικών.
3. Σχεδίαση ευθεία προς τα εμπρός: Δομή 2 θυρών, άνοιγμα μπροστά & πίσω για εύκολη συντήρηση.
Το μηχάνημα Multi950 είναι ένα προσαρμοσμένο σύστημα πολλαπλών λειτουργιών εναπόθεσης κενού για Ε&Α.Με την εξάμηνη συζήτηση με την ομάδα του Πανεπιστημίου της Σαγκάης με επικεφαλής τον καθηγητή Chen, επιβεβαιώσαμε τελικά τον σχεδιασμό και τις διαμορφώσεις για να εκπληρώσουν τις δικές τους εφαρμογές Ε&Α.Αυτό το σύστημα είναι σε θέση να εναποθέτει διαφανές φιλμ DLC με διαδικασία PECVD, σκληρές επιστρώσεις σε εργαλεία και οπτικό φιλμ με κάθοδο διασκορπισμού.Με βάση αυτήν την ιδέα σχεδιασμού πιλοτικών μηχανών, έχουμε αναπτύξει 3 άλλα συστήματα επίστρωσης μετά από αυτό:
1. Διπολική επίστρωση πλακών για ηλεκτρικά οχήματα με κυψέλες καυσίμου-RT1200-FCEV
2. Ceramic Direct Plated Copper- RT1200-DPC
3. Flexible Sputtering System- RTSP1200-PCB
Αυτά τα μηχανήματα 4 μοντέλων είναι όλα με οκταδικό θάλαμο, οι ευέλικτες και αξιόπιστες επιδόσεις χρησιμοποιούνται ευρέως σε διάφορες εφαρμογές.Ικανοποιεί τις διαδικασίες επίστρωσης που απαιτούν πολλά διαφορετικά στρώματα μετάλλων: Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS και πολλά άλλα μη σιδηρομαγνητικά μέταλλα.καθώς και η μονάδα πηγής ιόντων, βελτιώνουν αποτελεσματικά την πρόσφυση των φιλμ σε διαφορετικά υλικά υποστρώματος με την απόδοσή της στη χάραξη πλάσματος και, τη διαδικασία PECVD για την εναπόθεση ορισμένων στρωμάτων με βάση τον άνθρακα.
RT1200-PCB
RT1200-DPC (άμεση επιμετάλλωση χαλκού σε κεραμικό/Al2O3, AlN)
RT1200-FCEV
Το Multi950 είναι το ορόσημο των προηγμένων συστημάτων επίστρωσης σχεδιασμού για την Royal Tech.Εδώ, ευχαριστούμε θερμά τους φοιτητές του Πανεπιστημίου της Σαγκάης και ιδιαίτερα τον Process Yigang Chen, η δημιουργική και ανιδιοτελής αφοσίωσή του είναι απεριόριστες αξίες και ενέπνευσαν την ομάδα μας.
Το 2018 είχαμε άλλη μια συνεργασία έργου με την Pressor Chen, την εναπόθεση υλικού C-60 με τη μέθοδο της επαγωγικής θερμικής εξάτμισης.Εκτιμούμε τον κ. Yimou Yang και τον καθηγητή Chen για κάθε καινοτόμο έργο.
Επικοινωνήστε μαζί μας για περισσότερες πληροφορίες.
