| Magnetron ψεκάζοντας κάθοδος | Επίπεδες ή κάθοδοι κυλίνδρων |
|---|---|
| Πρότυπο δύναμης | ΣΥΝΕΧΈΣ ΡΕΎΜΑ, MF |
| Πηγές εναπόθεσης | το καθοδικό τόξο, magnetron ψεκάζει |
| Καθαρισμός πλάσματος | Παλόμενος προκατειλημμένος βομβαρδισμός πλάσματος |
| Ιονική πηγή | Γραμμικός τύπος στρώματος ανόδων |
| Πηγές απόθεσης | _ισορροπία/θίγω κλείνω μαγνητικός Filed |
|---|---|
| Εφαρμογές | Αυτοκίνητος, ημιαγωγός, επίστρωμα SIC, απόθεση ταινιών DLC, |
| πάχος ταινιών | Σειρά από 100 NM σε 12μm, ανοχή ±5% πάχους |
| Θέση εργοστασίων | Πόλη της Σαγκάη, Κίνα |
| Θέση εργοστασίων | Πόλη της Σαγκάη, Κίνα |
| Επιμελητήριο | Κάθετος προσανατολισμός, 1 πόρτα |
|---|---|
| Υλικό | Ανοξείδωτο 304/316 |
| Πηγές απόθεσης | Ψεκάζοντας κάθοδοι συνεχούς ρεύματος/MF |
| Τεχνική | PVD, ισορροπημένη/θιγμένη ψεκάζοντας κάθοδος Magentron |
| Εφαρμογές | Αυτοκίνητος, ημιαγωγός, επίστρωμα SIC, απόθεση ταινιών DLC, |
| Πηγές απόθεσης | Ψεκάζοντας κάθοδοι συνεχούς ρεύματος/MF, γραμμική ιονική πηγή ανόδων |
|---|---|
| Τεχνική | PECVD, ισορροπημένη/θιγμένη ψεκάζοντας κάθοδος Magentron |
| Εφαρμογές | Αυτοκίνητος, ημιαγωγός, επίστρωμα SIC, απόθεση ταινιών DLC, |
| Χαρακτηριστικά γνωρίσματα ταινιών | αντοχή, ισχυρή προσκόλληση, διακοσμητικά χρώματα επιστρώματος |
| Θέση εργοστασίων | Πόλη της Σαγκάη, Κίνα |
| Πηγές απόθεσης | MF/DC ψεκάζοντας + κάθοδοι τόξων |
|---|---|
| Ταινίες απόθεσης | Σκληρά επιστρώματα, DLC, οπτικό επίστρωμα ταινιών, διακοσμητικά επιστρώματα |
| Εφαρμογές | Διαδικασία PECVD, ταινία DLC, διαμάντι όπως την ταινία άνθρακα, ψεκάζοντας οπτική ταινία, |
| Χαρακτηριστικά γνωρίσματα ταινιών | Υψηλές αντανακλαστικές, άριστες διάβρωση και αντοχή |
| Χρώματα επιστρώματος | Το μαύρο χρώμα και αυξήθηκε χρυσή, μπλε επένδυση χρωμάτων |
| Πηγές απόθεσης | Οδηγημένο καθοδικό τόξο + ψεκάζοντας κάθοδος MF |
|---|---|
| Τεχνική | PVD, ισορροπημένη/θιγμένη ψεκάζοντας κάθοδος Magentron |
| Εφαρμογές | σύνδεσμοι ακρίβειας χάλυβα, βίδες, μέταλλα καμερών |
| Χαρακτηριστικά γνωρίσματα ταινιών | αντοχή, ισχυρή προσκόλληση, διακοσμητικά χρώματα επιστρώματος |
| Θέση εργοστασίων | Πόλη της Σαγκάη, Κίνα |
| Πηγές απόθεσης | Οδηγημένο καθοδικό τόξο + ψεκάζοντας κάθοδος MF |
|---|---|
| Τεχνική | PVD, ισορροπημένη/θιγμένη ψεκάζοντας κάθοδος Magentron |
| Εφαρμογές | σύνδεσμοι ακρίβειας χάλυβα, βίδες, μέταλλα καμερών |
| Χαρακτηριστικά γνωρίσματα ταινιών | αντοχή, ισχυρή προσκόλληση, διακοσμητικά χρώματα επιστρώματος |
| Θέση εργοστασίων | Πόλη της Σαγκάη, Κίνα |
| Πηγές απόθεσης | Οδηγημένο καθοδικό τόξο + ψεκάζοντας κάθοδος MF |
|---|---|
| Τεχνική | PVD, ισορροπημένη/θιγμένη ψεκάζοντας κάθοδος Magentron |
| Εφαρμογές | σύνδεσμοι ακρίβειας χάλυβα, βίδες, μέταλλα καμερών |
| Χαρακτηριστικά γνωρίσματα ταινιών | αντοχή, ισχυρή προσκόλληση, διακοσμητικά χρώματα επιστρώματος |
| Θέση εργοστασίων | Πόλη της Σαγκάη, Κίνα |
| Πηγές απόθεσης | _ισορροπία/θίγω κλείνω μαγνητικός Filed |
|---|---|
| Εφαρμογές | Αυτοκίνητος, ημιαγωγός, επίστρωμα SIC, απόθεση ταινιών DLC, |
| πάχος ταινιών | Σειρά από 100 NM σε 12μm, ανοχή ±5% πάχους |
| Θέση εργοστασίων | Πόλη της Σαγκάη, Κίνα |
| Θέση εργοστασίων | Πόλη της Σαγκάη, Κίνα |
| θάλαμος - Δωμάτιο | Κάθετος προσανατολισμός, 2 πόρτες |
|---|---|
| Πηγές απόθεσης | Υπόλοιπο/Μη ισορροπημένο κλειστό μαγνητικό αρχείο |
| Τεχνική | PECVD, Balanced/Unbalanced Magentron Sputtering Cathode |
| Εφαρμογές | Αυτοκίνητα, ημιαγωγοί, επίστρωση SiC, εναπόθεση φιλμ DLC, |
| Χαρακτηριστικά γνωρίσματα ταινιών | αντοχή στη φθορά, ισχυρή πρόσφυση, διακοσμητικά χρώματα επίστρωσης |
