Εγκατάσταση επίστρωσης Ni PVD Sputtering, Σύστημα επιμετάλλωσης κενού Cr, Εξοπλισμός επιμετάλλωσης κενού Sn/Ag, Εγκατάσταση επιμετάλλωσης χαλκού
Δομή εξοπλισμού:
Το μηχάνημα RTAC1215-SP είναι οκταδικού τύπου, το οποίο αποτελείται από αντλίες κενού, θάλαμο κενού που τοποθετεί 8 καθόδους τόξου, 1 πηγή γραμμικών ιόντων, 2 σετ καθόδων διασκορπισμού συνεχούς ρεύματος και 1 ζεύγος καθόδων διασκορπισμού MF.Οι φλάντζες που είναι τοποθετημένες με πηγή ιόντων, καθόδους διασκορπισμού είναι σταθεροποιημένες οι οποίες μπορούν να ανταλλάσσονται με ευελιξία με βάση την πραγματική ζήτηση της διαδικασίας επίστρωσης.
Εφαρμογές:
1. Βιομηχανία DPC για κεραμικά εξαρτήματα σφράγισης, διαδικασία DPC, σύστημα ψεκασμού χαλκού PVD, κεραμικά τσιπ LED με επιμετάλλωση χαλκού, Al2Ο3, Πλακέτες κεραμικών κυκλωμάτων AlN, Πλάκες Al2O3 σε LED, Ημιαγωγός
2. Ασήμι, Ni, Χρώμιο, Χρυσό, Αλουμίνιο, In, Sn κ.λπ. μεταλλικές μεμβράνες και TiN, TiAlN, TiC, TiO, CrC, CrCN, CrN κ.λπ.
Πλεονεκτήματα:
1. Οικονομική παραγωγή
2. Εξανθρωπισμός του σταθμού εργασίας (εργονομικός σχεδιασμός του σταθμού εργασίας, ελαχιστοποίηση χώρου, θόρυβος και κίνδυνος ατυχήματος)
3. Υψηλής ποιότητας απόδοση.
4. Ισχυρή πρόσφυση με ισχυρή συσκευή θέρμανσης και καθαρισμό πηγής πλάσματος.
5. Συμπαγής σχεδιασμός και με εύκολη πρόσβαση για εργασίες αναβάθμισης και συντήρησης.
6. Πλήρης αυτοματισμός, PLC + οθόνη αφής, σύστημα ελέγχου με ένα άγγιγμα.
7. Υψηλή απόδοση με λιγότερη κατανάλωση ενέργειας, μέγ.50% εξοικονόμηση κόστους παραγωγής.
Τεχνικές προδιαγραφές:
1. Τελική πίεση κενού: καλύτερη από 9,0*10-5Pa;
3. Χρόνος άντλησης: από atm σε 1,0×10-3Pa≤15 λεπτά (θερμοκρασία δωματίου, στεγνός, καθαρός και άδειος θάλαμος)
4. Πηγή εναπόθεσης: κάθοδοι sputtering magnetron Gencoa, κάθοδοι κατευθυνόμενου τόξου, πηγή ιόντων
5. Μοντέλο λειτουργίας: Πλήρης Αυτόματα /Ημιαυτόματο/ Χειροκίνητα
6. Θέρμανση: από θερμοκρασία δωματίου έως μέγ.500℃,
9. Πηγή ιόντων για διεργασία PECVD και PA PVD.
Το μηχάνημα επίστρωσης κενού περιέχει το βασικό ολοκληρωμένο σύστημα που παρατίθεται παρακάτω:
1. Θάλαμος κενού
1.1 Μέγεθος: Εσωτερική διάμετρος: 1200mm
Εσωτερικό ύψος: 1500mm
1.2 Υλικό: Θάλαμος κενού SUS304
Πόρτα και φλάντζες SUS304
Δομή ενίσχυσης θαλάμου: μαλακός χάλυβας SS41, με βαμμένη τελική επεξεργασία επιφάνειας.
Πλαίσιο θαλάμου SS41 από μαλακό χάλυβα με βαμμένη τελική επεξεργασία επιφάνειας.
1.3 Ασπίδα θαλάμου: SUS304
1.4 Παράθυρο προβολής: 2 στην πόρτα
1.5 Βαλβίδα εξαερισμού θαλάμου κενού (συμπεριλαμβανομένου του σιγαστήρα)
1.6 Πόρτα: Υλικό SUS304
2. Σύστημα άντλησης κενού τραχιάς:
Αντλία κενού με περιστροφικό πτερύγιο λαδιού + Αντλία συγκράτησης
Μοριακή Αντλία Μαγνητικής Ανάρτησης - 2 σετ
4. Σύστημα Ηλεκτρικού Ελέγχου και Λειτουργίας- Σύστημα λειτουργίας οθόνης αφής PLC+:
Προμηθευτές:
PLC: Mitsubishi + Οθόνη αφής (Made in China)
Ηλεκτρονικά Εξαρτήματα: SCHNEIDER,OMRON.
Σύστημα Προστασίας Ασφαλείας:Πολυάριθμες κλειδαριές ασφαλείας για την προστασία των χειριστών και του εξοπλισμού (νερό, ρεύμα αερίου, θερμοκρασία κ.λπ.)
Σύστημα Διαδικασιών Επικάλυψης: Αυτοματισμός & Έλεγχος Διαδικασιών.
4.1 Κύριο κύκλωμα: Διακόπτης χωρίς ασφάλεια, ηλεκτρομαγνητικός διακόπτης, C/T σε σειρά τύπου
4.2 Τροφοδοτικό: Ισχύς διασκορπισμού DC/MF + ισχύς τόξου συνεχούς ρεύματος + τροφοδοτικό προκατάληψης
4.3 Σύστημα ελέγχου εναπόθεσης
4.4 Λειτουργικό σύστημα: Οθόνη αφής + PLC, έλεγχος συνταγών και καταγραφή δεδομένων, Αυτόματος τερματισμός λειτουργίας, αυτόματη εκκένωση, αυτόματη επίστρωση
4.5 Σύστημα μέτρησης
Πίεση κενού : Μετρητής κενού: Pirani + μετρητής κενού + μετρητής κενού πλήρους εμβέλειας -- μάρκα Ευρώπης
Συσκευή μέτρησης θερμοκρασίας: Θερμοστοιχείο
MFC: Ελεγκτής μαζικής ροής ( 4 τρόποι ),
4.6 Σύστημα συναγερμού: Πίεση πεπιεσμένου αέρα, Ροή νερού ψύξης, Λανθασμένη λειτουργία
4.7 Ένδειξη φορτίου ισχύος: Ένδειξη τάσης και ένδειξη ρεύματος φορτίου
5.Σύστημα εναπόθεσης
5.1 Πηγή εναπόθεσης: Κάθοδοι διασκορπισμού+ Πηγές τόξου + Πηγή ιόντων
5.2 Υλικό απόθεσης: Χαλκός, Αλουμίνιο, Χρώμιο, Ασήμι, Χρυσός, SS, Τιτάνιο κ.λπ.
6.Υποσύστημα
6.1 Σύστημα ελέγχου βαλβίδας συμπιεσμένου αέρα
6.2 Σύστημα νερού ψύξης: Σωλήνας ροής νερού και σύστημα βαλβίδας διακόπτη
Πεπιεσμένος Αέρας: 5~8kg/cm2
Νερό ψύξης: Θερμοκρασία νερού: 20~25℃, 200 λίτρα/λεπτό,
Πίεση νερού: 2~3 kg/cm2,
Ισχύς: 3 Phase 380V 50Hz(60Hz), 130kVA, μέση κατανάλωση ισχύος: 60KW
Περιοχή εγκατάστασης: (Μ*Π*Υ)4400*3200*2950mm
Εξάτμιση: Εξαερισμός για μηχανικές αντλίες
Επικοινωνήστε μαζί μας για περισσότερες προδιαγραφές, η Royal Technology σας υποστηρίζει με ολοκληρωμένες λύσεις επίστρωσης.
