Magnetron προδιαγραφές πηγών επιμετάλλωσης
Κύρια χαρακτηριστικά
1. Πεπερασμένο σχέδιο μαγνητικών πεδίων στοιχείων
2. Μαγνήτης που απομονώνεται από το δροσίζοντας νερό
3. Συμβατό σύστημα με τις δυνάμεις DC/MF και RF
4. Υψηλή χρησιμοποίηση στόχων
5. Διευθετήσιμη κατεύθυνση εκτίναξης
6. Πυκνότητα υψηλής δύναμης και άριστη ομοιομορφία
7. Ισορροπημένη και θιγμένη επιλογή τρόπου
Μέγιστη δύναμη επιμετάλλωσης | |
Έμμεσος δροσισμένος στόχος | > 20 Watt/τ.εκ. (συνεχές ρεύμα) |
> 7 Watt/τ.εκ. (RF) | |
Τάση απαλλαγής | 100 έως 1500 βολτ |
Ρεύμα απαλλαγής | > 0,05 amps/τ.εκ. |
Λειτουργούσα πίεση | 0,05 έως 5 PA |
Χρησιμοποίηση στόχων | > 35% |
Στόχος | |
Μορφή | Ορθογώνιος επίπεδος |
Πάχος | 6mm~16mm |
Πλάτος | 125mm |
Εγκατάσταση | Εσωτερικός/εξωτερικός |
Παρακαλώ μας ελάτε σε επαφή με για περισσότερες προδιαγραφές, η βασιλική τεχνολογία είναι τιμημένη για να σας παρέχει συνολικές λύσεις επιστρώματος