DPC φωτισμού φωτεινότητας κεραμικό κενό επίστρωμα δαχτυλιδιών κοσμήματος, Al2O3/επένδυση χαλκού πινάκων κυκλωμάτων AlN PVD
Απόδοση
1. Τελευταία κενή πίεση: καλύτερα από 5.0×10-6 Torr.
2. Λειτουργούσα κενή πίεση: 1.0×10-4 Torr.
3. Χρόνος Pumpingdown: από 1 ATM σε 1.0×10-4 Torr≤ 3 λεπτά (ξηράς, καθαρής και κενής αίθουσα θερμοκρασίας δωματίου,)
4. Υλικό Metalizing (που ψεκάζει + εξάτμιση τόξων): Νι, $cu, άργυρος, Au, Tj, Zr, χρώμιο κ.λπ.
5. Λειτουργούν πρότυπο: Το πλήρες αυτόματα /Semi-Auto/ με το χέρι
Δομή
Η μηχανή κενού επιστρώματος περιέχει το βασικό ολοκληρωμένος σύστημα που απαριθμείται κατωτέρω:
1. Κενή αίθουσα
2. Κενό αντλώντας σύστημα Rouhging (υποστηρίζοντας συσκευασία αντλιών)
3. Υψηλό κενό αντλώντας σύστημα (μαγνητικά μοριακή αντλία αναστολής)
4. Ηλεκτρικό σύστημα ελέγχου και λειτουργίας
5. Σύστημα δυνατότητας Auxiliarry (υποσύστημα)
6. Σύστημα απόθεσης
Κύρια χαρακτηριστικά μηχανών επιστρώματος χαλκού ψεκάζοντας
1. Εξοπλισμένος με 8 καθόδους τόξων ταύρων και τις ΣΥΝΕΧΕΙΣ ψεκάζοντας καθόδους, ψεκάζοντας κάθοδοι MF, ιονική μονάδα πηγής.
2. Πολυστρωματικό και επίστρωμα ομο-απόθεσης διαθέσιμο
3. Η ιονική πηγή για την προγενέστερη επεξεργασία και τη δέσμη ιόντων καθαρισμού πλάσματος βοήθησε την απόθεση για να ενισχύσει την προσκόλληση ταινιών.
4. Κεραμικά Al2O3/AlN υποστρώματα που θερμαίνουν επάνω τη μονάδα
5. Σύστημα περιστροφής και επαναστάσεων υποστρωμάτων, για 1 δευτερεύον επίστρωμα και την επένδυση 2 πλευρών.
Magnetron του Cooper ψεκάζοντας εγκαταστάσεις επιστρώματος στο κεραμικό ακτινοβολώντας υπόστρωμα
Ο DPC άμεσος χαλκός επένδυσης διαδικασίας είναι μια προηγμένη τεχνολογία επένδυσης που εφαρμόζεται με των οδηγήσεων/τον ημιαγωγό/τις ηλεκτρονικές βιομηχανίες. Μια χαρακτηριστική εφαρμογή είναι κεραμική ακτινοβολώντας το υπόστρωμα.
Αγώγιμη απόθεση ταινιών του Cooper Al2O3, υποστρώματα AlN από PVD την κενή τεχνολογία επιμετάλλωσης, έναντι των παραδοσιακών μεθόδων κατασκευής: DBC LTCC HTCC, πολύ χαμηλότερο κόστος παραγωγής είναι το υψηλό χαρακτηριστικό γνώρισμά του.
Η βασιλική ομάδα τεχνολογίας ο πελάτης μας ανέπτυξε τη DPC διαδικασία επιτυχώς με την τεχνολογία επιμετάλλωσης PVD.
Η μηχανή rtac1215-SP που σχεδιάζεται αποκλειστικά για το αγώγιμο επίστρωμα ταινιών χαλκού στα κεραμικά τσιπ, κεραμικός πίνακας κυκλωμάτων.
Πώς το επίστρωμα PVD λειτουργεί;
Το στερεό μέταλλο ατμοποιείται ή ιονίζεται σε ένα υψηλό κενό περιβάλλον και εναποτίθεται στα ηλεκτρικά αγώγιμα υλικά ως ταινίες καθαρών μετάλλων ή κραμάτων μετάλλων. Όταν ένα αντιδραστικό αέριο, όπως το άζωτο, το οξυγόνο ή ένα υδρογονάνθρακας-βασισμένο στον αέριο εισάγεται στο μεταλλικό ατμό, δημιουργεί το νιτρίδιο, το οξείδιο, ή τα επιστρώματα καρβιδίου όπως το μεταλλικό ρεύμα ατμού, αντιδρά χημικά με τα αέρια. Το επίστρωμα PVD πρέπει να γίνει σε μια εξειδικευμένη αίθουσα αντίδρασης έτσι ώστε το ατμοποιημένο υλικό δεν αντιδρά με οποιουσδήποτε μολυσματικούς παράγοντες που ειδάλλως θα ήταν παρόντες στο δωμάτιο.
Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας του επιστρώματος PVD, οι παράμετροι διαδικασίας επιτηρούνται πολύ και ελέγχονται έτσι ώστε η προκύπτουσα σκληρότητα ταινιών, η προσκόλληση, η χημική αντίσταση, η δομή ταινιών, και άλλες ιδιότητες είναι επαναλαμβανόμενες για κάθε μια που οργανώνεται. Το διάφορο επίστρωμα PVD χρησιμοποιείται για να αυξήσει την αντοχή, να μειώσει την τριβή, να βελτιώσει την εμφάνιση, και να επιτύχει άλλες αυξήσεις απόδοσης.
Προκειμένου να κατατεθεί τα υλικά υψηλής αγνότητας όπως το τιτάνιο, το χρώμιο, ή το ζιρκόνιο, ασήμι, χρυσός, αργίλιο, χαλκός, ανοξείδωτο, η φυσική διαδικασία του επιστρώματος PVD χρησιμοποιεί μια από διάφορες διαφορετικές μεθόδους επιστρώματος PVD, που περιλαμβάνουν:
Εξάτμιση τόξων
Θερμική εξάτμιση
DC/MF επιμετάλλωση (ο βομβαρδισμός των ιόντων)
Απόθεση ιονικών ακτίνων
Ιονική επένδυση
Ενισχυμένη επιμετάλλωση
Παρακαλώ μας ελάτε σε επαφή με για περισσότερες προδιαγραφές, η βασιλική τεχνολογία είναι τιμημένη για να σας παρέχει συνολικές λύσεις επιστρώματος.