Διακοσμήσεις κασσίτερου μηχανών επιστρώματος κασσίτερου PVD πινάκων κυκλωμάτων χαλκού/PVD που καλύπτουν στον πίνακα ορείχαλκου
Το πρότυπο μηχανών PVD: Το rtsp1215-MF έχει ως σκοπό και αναπτύσσεται να καταθέσει το χρυσό επίστρωμα κασσίτερου στον πίνακα κυκλωμάτων χαλκού. Η λεπτή ταινία κασσίτερου που παράγεται στο υψηλό κενό περιβάλλον, το οποίο ενίσχυσε ιδιαίτερα την ομοιομορφία και την αγνότητα.
Χαρακτηριστικά σχεδιασμού μηχανών επιστρώματος κασσίτερου PVD πινάκων κυκλωμάτων χαλκού:
1. 8-πλευρές η αίθουσα με τα ίσα μεγέθη που τοποθετούν τις φλάντζες, που μπορούν να συγκεντρώσουν και να ανταλλάξουν την ιονική πηγή και τις ψεκάζοντας καθόδους ή τις καθόδους τόξων βασισμένες flexiblely στο επίστρωμα επεξεργάζεται την απαίτηση.
2. Συμπαγές σχέδιο που καταλαμβάνουν μόνο 20sqm
3. Η ιονική πηγή για την προγενέστερη επεξεργασία και τη δέσμη ιόντων καθαρισμού πλάσματος βοήθησε την απόθεση για να ενισχύσει την προσκόλληση ταινιών.
4. Η υψηλή αντλώντας συσκευασία ταχύτητας και η σταθερή διαμόρφωση, οι μαγνητικά μοριακές αντλίες αναστολής μπορούν να τοποθετηθούν σε οποιαδήποτε κατεύθυνση.
Προδιαγραφές μηχανών επιστρώματος κασσίτερου PVD πινάκων κυκλωμάτων χαλκού
Απόδοση
1. Τελευταία κενή πίεση: καλύτερα από 5.0×10-6 Torr.
2. Λειτουργούσα κενή πίεση: 1.0×10-4 Torr.
3. Χρόνος Pumpingdown: από 1 ATM σε 1.0×10-4 Torr≤ 3 λεπτά (ξηράς, καθαρής και κενής αίθουσα θερμοκρασίας δωματίου,)
4. Υλικό Metalizing (που ψεκάζει + εξάτμιση τόξων): Νι, $cu, άργυρος, Au, Tj, Zr, χρώμιο κ.λπ.
5. Λειτουργούν πρότυπο: Το πλήρες αυτόματα /Semi-Auto/ με το χέρι
Δομή
Η μηχανή κενού επιστρώματος περιέχει το βασικό ολοκληρωμένος σύστημα που απαριθμείται κατωτέρω:
1. Κενή αίθουσα
2. Κενό αντλώντας σύστημα Rouhging (υποστηρίζοντας συσκευασία αντλιών)
3. Υψηλό κενό αντλώντας σύστημα (μαγνητικά μοριακή αντλία αναστολής)
4. Ηλεκτρικό σύστημα ελέγχου και λειτουργίας
5. Σύστημα δυνατότητας Auxiliarry (υποσύστημα)
6. Σύστημα απόθεσης
| Rtsp1215-MF τεχνικά στοιχεία | |||||||
| ΠΡΟΤΥΠΟ | Rtsp1215-MF | ||||||
| ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΑ | Magnetron επιμετάλλωση (MF) | ||||||
| ΥΛΙΚΟ | Ανοξείδωτο (S304) | ||||||
| ΜΕΓΕΘΟΣ ΑΙΘΟΥΣΩΝ | Φ1200*H1500mm | ||||||
| ΤΥΠΟΣ ΑΙΘΟΥΣΩΝ | 8-πλευρές, κατακόρυφος, 1 πόρτα | ||||||
| ΨΕΚΑΖΟΝΤΑΣ ΣΥΣΤΗΜΑ | επίπεδες ψεκάζοντας κάθοδοι 4 συνόλων | ||||||
| ΥΛΙΚΟ ΑΠΟΘΕΣΗΣ | Αργίλιο, ασήμι, χαλκός, χρώμιο, ανοξείδωτο, νικέλιο, τιτάνιο, κασσίτερος | ||||||
| ΠΗΓΗ ΑΠΟΘΕΣΗΣ | 4 επίπεδες ψεκάζοντας κάθοδοι + ιονική πηγή για τον καθαρισμό πλάσματος | ||||||
| ΑΈΡΙΟ | MFC- 2 τρόποι, AR, Ν2 | ||||||
| ΕΛΕΓΧΟΣ | PLC (προγραμματίσημος ελεγκτής λογικής) + Οθόνη αφής |
||||||
| ΣΥΣΤΗΜΑ ΑΝΤΛΙΩΝ | SV300B - 1 σύνολο (Leybold) | ||||||
| WAU1001 - 1 σύνολα (Leybold) | |||||||
| D60T- 1 σύνολο (Leybold) | |||||||
| MGK3304 - 2 σύνολα (Οζάκα) | |||||||
| ΠΡΟΓΕΝΕΣΤΕΡΗ ΕΠΕΞΕΡΓΑΣΊΑ | Προκατειλημμένη παροχή ηλεκτρικού ρεύματος: 1*36 KW | ||||||
| ΣΥΣΤΗΜΑ ΑΣΦΑΛΕΙΑΣ | Πολυάριθμες συναρμολογήσεις ασφάλειας για να προστατεύσει τους χειριστές και εξοπλισμός |
||||||
| ΨΥΞΗ | Κρύο νερό | ||||||
| ΔΥΝΑΜΗ ΗΛΕΚΤΡΙΚΗ | 480V/3 phases/60HZ (ΗΠΑ υποχωρητικές) | ||||||
| 460V/3 phases/50HZ (Ασία υποχωρητική) | |||||||
| 380V/3 phases/50HZ (ΕΕ-CE υποχωρητικό) | |||||||
| ΙΧΝΟΣ | L3000*W3000*H2000mm | ||||||
| ΣΥΝΟΛΙΚΟ ΒΑΡΟΣ | 7.0 Τ | ||||||
| ΙΧΝΟΣ | (L*W*H) ΚΚ 5000*4000 *4000 | ||||||
| ΤΟ ΚΥΚΛΟΣ ΖΩΩΝ | 30~40 λεπτά (ανάλογα με το υλικό υποστρωμάτων, γεωμετρία υποστρωμάτων και περιβαλλοντικές συνθήκες) |
||||||
| ΜΕΓΙΣΤΟ ΔΥΝΑΜΗΣ. | 110KW | ||||||
| ΜΕΣΗ ΚΑΤΑΝΑΛΩΣΗ ΙΣΧΎΟΣ (ΠΕΡ.) | 50 KW |
||||||
Δείγμα επιστρώματος κασσίτερου PVD πινάκων κυκλωμάτων χαλκού
Παρακαλώ μας ελάτε σε επαφή με για περισσότερες προδιαγραφές, η βασιλική τεχνολογία είναι τιμημένη για να σας παρέχει συνολικές λύσεις επιστρώματος.
