θάλαμος - Δωμάτιο | Κάθετος προσανατολισμός, 1 πόρτα |
---|---|
Υλικό | Ανοξείδωτο 316 |
Κενή τεχνολογία | Σκληρό επίστρωμα PVD, επίστρωμα CrN, pvd επένδυση, καθοδική εξάτμιση τόξων |
Πηγές εναπόθεσης | Πηγές τόξων |
Ταινίες επιστρώματος | Χρώμιο, CrN, επένδυση ταινιών μετάλλων κέντρου ανίχνευσης και ελέγχου κ.λπ., νιτρίδιο τιτανίου, καρβ |