Να στείλετε μήνυμα

Το Photonics ψεκάζει το σύστημα απόθεσης για την υδροφοβική σύνθεσης απόθεση ταινιών/υψηλή αγώγιμη ταινιών PVD

1 ομάδα
MOQ
negotiable
τιμή
Το Photonics ψεκάζει το σύστημα απόθεσης για την υδροφοβική σύνθεσης απόθεση ταινιών/υψηλή αγώγιμη ταινιών PVD
Χαρακτηριστικά Εκθεσιακός χώρος Περιγραφή προϊόντων Ζητήστε ένα απόσπασμα
Χαρακτηριστικά
Προδιαγραφές
Πηγές απόθεσης: _ισορροπία/θίγω κλείνω μαγνητικός Filed
Εφαρμογές: Αυτοκίνητος, ημιαγωγός, επίστρωμα SIC, απόθεση ταινιών DLC,
πάχος ταινιών: Σειρά από 100 NM σε 12μm, ανοχή ±5% πάχους
Θέση εργοστασίων: Πόλη της Σαγκάη, Κίνα
Θέση εργοστασίων: Πόλη της Σαγκάη, Κίνα
Παγκόσμια υπηρεσία: Πολωνία - Ευρώπη Δυτική Ασία του Ιράν & Μέση Ανατολή, Τουρκία, Ινδία, Μεξικό Νότια Αμερική
Εκπαιδευτική υπηρεσία: Λειτουργία μηχανών, συντήρηση, που ντύνει τις συνταγές διαδικασίας, πρόγραμμα
Εξουσιοδότηση: Περιορισμένη εξουσιοδότηση 1 έτος δωρεάν, ολόκληρη ζωή για τη μηχανή
COEM & ODM: διαθέσιμοι, υποστηρίζουμε το κατάλληλες σχέδιο και την επεξεργασία
Υψηλό φως:

magnetron sputtering machine

,

vacuum deposition equipment

Βασικές πληροφορίες
Τόπος καταγωγής: Made in China
Μάρκα: ROYAL
Πιστοποίηση: CE certification
Αριθμό μοντέλου: RTSP1213
Πληρωμής & Αποστολής Όροι
Συσκευασία λεπτομέρειες: Πρότυπα εξαγωγής, που συσκευάζονται στις καινούργιες περιπτώσεις/τα χαρτοκιβώτια, κατάλληλες για το
Χρόνος παράδοσης: 16 εβδομάδες
Όροι πληρωμής: L/C, D/A, D/P, T/T
Δυνατότητα προσφοράς: 6 σύνολα το μήνα
Περιγραφή προϊόντων

  Το Photonics ψεκάζει το σύστημα απόθεσης για την υδροφοβική ταινία σύνθεσης και άλλες λειτουργικές ταινίες

 

 

Εφαρμογές:

 

Η μηχανή RTSP1213 είναι ένα πρότυπο ψεκάζοντας σύστημα batch, μπορεί διάφορα σκληρά επιστρώματα καταθέσεων, μαλακά επιστρώματα, σύνθετες ταινίες και στερεές λαδώνοντας ταινίες στα μεταλλικά και μη μεταλλικά υποστρώματα υλικών. Εφαρμοσμένος στις βιομηχανίες των οχημάτων κυττάρων καυσίμου υδρογόνου, των προϊόντων photonics, του αεροδιαστήματος και άλλων νέων ενεργειακών βιομηχανιών.

 

Ιδιότητες:

 

Για να βελτιώσει την αγωγιμότητα της επιφάνειας

 Υψηλή αντίσταση διάβρωσης

 Υψηλή αντοχή

 Υψηλή σκληρότητα

 Υδροφοβική ταινία σύνθεσης και άλλες λειτουργικές ταινίες

Διαθέσιμος για τα σύνθετα επιστρώματα: μεταλλικές και μη μεταλλικές ταινίες.

Σειρά πάχους ταινιών από 100nm σε 12μm, ανοχή ±5% πάχους
 Ισχυρή προσκόλληση.

 Χαμηλή μετριάζοντας σκληραίνοντας επεξεργασία επιφάνειας μερών.

 

Τύπος:

 

Κάθετος προσανατολισμός, polyhedron δομή, 2 πόρτες (μέτωπο και πλάτη)

 

Χαρακτηριστικά γνωρίσματα:

  • Φιλικό προς το περιβάλλον σύστημα, κανένας νερό βιομηχανικών αποβλήτων, αέρας και ηχορρύπανση
  • Εύκολη λειτουργία: Οθόνη αφής + έλεγχος PLC και μοναδικό πρόγραμμα λογισμικού για μια λειτουργία αφής, περισσότερο από το πρόβλημα 80% - συναγερμός πυροβολισμού.
  • Μέχρι 10 που επεξεργάζονται τη σύνδεση και το στήριγμα συνταγών υψηλές επανάληψη και ποικιλομορφία.
  • Ειδικό σχέδιο του συστήματος ιπποδρομίων για την υψηλή ομοιομορφία της απόθεσης ταινιών.
  • Υψηλή παραγωγικότητα και υψηλός - ποιότητα
  • Σταθερό και αξιόπιστο σύστημα, που τρέχει 365 ημέρες * 24 (σπάζοντας χρόνος συντήρησης και επισκευής)
  • Αντλώντας σύστημα αποδοτικότητας: πιό σύντομες κενές γραμμές σωληνώσεων για τη μέγιστη ταχύτητα σωληνώσεων με καλά - γνωστές αντλίες εμπορικών σημάτων της Ευρώπης
  • Το συμπαγές σχέδιο καταλαμβάνει το ελάχιστο διάστημα εγκαταστάσεων.

 

Τεχνικές προδιαγραφές

 

  • Απόδοση

1. Τελευταία κενή πίεση: καλύτερα από 8.0*10-5 PA

  • Κενή πίεση βάσεων: 3.0*10-4 PA

3. Να αντλήσει κάτω - χρόνος: από το ATM σε 1.0×10-3 πρακτικά Pa≤15 (ξηράς, καθαρής και κενής αίθουσα θερμοκρασίας δωματίου,)

4. Πηγή απόθεσης: ισορροπημένες/θιγμένες ψεκάζοντας κάθοδοι

5. Λειτουργούν πρότυπο: Το πλήρες αυτόματα /Semi-Auto/ με το χέρι

6. Θέρμανση: από τη θερμοκρασία δωματίου μέχρι μέγιστο 450℃,

7. Ο καθαρισμός πλάσματος και το πλάσμα βοηθούν την απόθεση: Γραμμική ιονική πηγή ανόδων

8. Κλειστός βρόγχος που αρχειοθετείται μαγνητικός. (Κάθοδοι ανισορροπίας/ισορροπίας)

9. Προκατειλημμένη παροχή ηλεκτρικού ρεύματος για την απαλλαγή πυράκτωσης.

  • Δομή

Η μηχανή κενού επιστρώματος περιέχει το βασικό ολοκληρωμένος σύστημα που απαριθμείται κατωτέρω:

 

1. Κενή αίθουσα
1.1 μέγεθος: Εσωτερική διάμετρος 1200mm

Εσωτερικό ύψος: 1300mm

1.2 υλικό: Κενή αίθουσα SUS304

Πόρτα και φλάντζες SUS304

Η αίθουσα ενισχύει τη δομή: SS41 ήπιος χάλυβας, με τη χρωματισμένη επεξεργασία επιφάνειας λήξης.

Ήπιος χάλυβας πλαισίων SS41 αιθουσών με τη χρωματισμένη επεξεργασία επιφάνειας λήξης.

1.3 ψεκάζοντας ασπίδα: SUS304

1.4 παράθυρο άποψης: στην πόρτα αιθουσών - 4 σύνολα (2 σε κάθε πόρτα)

1.5 κενή βαλβίδα εξαερισμού αιθουσών (συμπεριλαμβανομένου του ησυχαστήρα)

1.6 πόρτα: SUS304 υλικό

 

2. Κενό αντλώντας σύστημα χοντροδουλέματος:


Περιστροφική vane πετρελαίου αντλία κενών αντλιών +Roots + αντλία εκμετάλλευσης (Leybold)

 

3. Υψηλό κενό αντλώντας σύστημα:

 

Μαγνητική μοριακή αντλία αναστολής (Leybold)

  • Βαλβίδες πυλών - 2 σύνολα

4. Ηλεκτρική οθόνη αφής συστημάτων PLC+ ελέγχου και λειτουργίας

 

4.1 κύριο κύκλωμα: Ο διακόπτης διακοπτών κανένας-θρυαλλίδων, ηλεκτρομαγνητικός διακόπτης, C/T δακτυλογραφεί σωρηδόν

4.2 ψεκάζοντας παροχή ηλεκτρικού ρεύματος + ιονική παροχή ηλεκτρικού ρεύματος πηγής + προκατειλημμένη παροχή ηλεκτρικού ρεύματος (προηγμένη ενέργεια)

4.3 ψεκάζοντας σύστημα ελέγχου απόθεσης

4.4 σύστημα λειτουργίας: Οθόνη αφής + PLC, έλεγχος συνταγής και αναγραφή στοιχείων, αυτόματο κλείσιμο, αυτόματη εκκένωση, αυτόματο επίστρωμα

4.5 μέτρηση του συστήματος

Κενή πίεση: Κενός μετρητής: Pirani + περιφράζοντας το μετρητή + τον κενό μετρητή μεγάλης έκτασης -- Εμπορικό σήμα της Ευρώπης

Μετρώντας συσκευή θερμοκρασίας: Θερμοηλεκτρικό ζεύγος
MFC: Ελεγκτής μαζικής ροής (4 τρόποι), τρόπος ψηφιακής επίδειξης-- Εμπορικό σήμα της Ευρώπης

4.6 σύστημα συναγερμών: Πίεση συμπιεσμένου αέρα, ροή του νερού ψύξης, ΠΣΔ-λειτουργία

4.7 δείκτης φορτίων δύναμης: Δείκτης τάσης και τρέχων δείκτης φορτίων

 

5. Σύστημααπόθεσης

5.1 πηγή απόθεσης: Ψεκάζοντας κάθοδοι, ιονική πηγή -- Εμπορικό σήμα της Ευρώπης

5.2 υλικό απόθεσης: Στόχος άνθρακα

 

6. Υποσύστημα

6.1 συμπιεσμένο αέρας σύστημα ελέγχου βαλβίδων

6.2 δροσίζοντας υδάτινο σύστημα: Σωλήνας ροής του νερού και σύστημα βαλβίδων διακοπτών

 

7.Working περιβάλλον

Συμπιεσμένος αέρας: 5~8kg/cm2

Δροσίζοντας νερό: Νερό-στη θερμοκρασία: 20~25℃, 200 λίτρο/λ.,
Νερό-στην πίεση: 2~3 kg/cm2,

 

Δύναμη: 3 φάση 380V 50Hz (60Hz), 75kVA, μέση κατανάλωση ισχύος: 40KW

Περιοχή εγκατάστασης: (L*W*H) 3000*4000*3200mm

Εξάτμιση: Διέξοδος για τις μηχανικές αντλίες

 

 

Γιατί εμείς;

  1. Τα προηγμένα machineries παραγωγής (άλεση, συγκόλληση, κοπή, κενή διαρροή που εξετάζει) που συνδυάζονται με τις τυποποιημένες διαδικασίες παραγωγής και τις ακριβείς δοκιμές επιτρέπουν στη βασιλική τεχνολογία για να παραγάγουν υψηλό - συστήματα επιστρώματος ποιότητας, αξιόπιστου και χαμηλότερου κόστους.

  2. Η ποιότητα, η υπηρεσία και η έγκαιρη παράδοση είναι οι αρχές πυρήνων της επιχείρησης της βασιλικής τεχνολογίας. Μια στρατηγική ανοιχτά τα απλά συστατικά στις επαγγελματικές κατασκευές επιτρέπει σε μας για να στρέψει την προσοχή στην Ε&Α μερών κλειδί και συστατικών, κατασκευή.

  3. Οι ακριβείς πολιτικές ποιοτικού ελέγχου και η αυστηρή επιλογή των καταρτισμένων προμηθευτών βεβαιώνουν οι πελάτες ότι της βασιλικής τεχνολογίας λαμβάνουν την πιό προηγμένοτην, κόστος ποιοτικού εξοπλισμού υψηλών σημείων προσιτό το περισσότερο.

 

 

Παρακαλώ μας ελάτε σε επαφή με για περισσότερες προδιαγραφές, η βασιλική τεχνολογία είναι τιμημένη για να σας παρέχει συνολικές λύσεις επιστρώματος.

 

Για να μεταφορτώσει το ολοκληρωμένο φυλλάδιο, παρακαλώ χτυπήστε εδώ:  Μηχανή κενού επιστρώματος Ε&Α - depositio PECVD + PVD…

Συνιστώμενα προϊόντα
Ελάτε σε επαφή μαζί μας
Υπεύθυνος Επικοινωνίας : ZHOU XIN
Φαξ : 86-21-67740022
Χαρακτήρες Λοιπά(20/3000)