Περιγραφή:
Magnetron η επιμετάλλωση είναι μια άλλη μορφή τεχνολογίας επιστρώματος PVD.
Επίστρωμα πλάσματος
Magnetron η επιμετάλλωση είναι μια διαδικασία επιστρώματος πλάσματος με το οποίο το ψεκάζοντας υλικό εκτινάσσεται λόγω του βομβαρδισμού των ιόντων στην επιφάνεια στόχων. Την κενή αίθουσα της μηχανής επιστρώματος PVD γεμίζουν με ένα αδρανές αέριο, όπως το αργό. Με την εφαρμογή μιας υψηλής τάσης, μια απαλλαγή πυράκτωσης δημιουργείται, με συνέπεια την επιτάχυνση των ιόντων στην επιφάνεια στόχων και ένα επίστρωμα πλάσματος. Τα αργό-ιόντα θα εκτινάξουν τα ψεκάζοντας υλικά από την επιφάνεια στόχων (επιμετάλλωση), με συνέπεια ένα ψεκασμένο στρώμα επένδυσης στα προϊόντα μπροστά από το στόχο.
Αντιδραστική επιμετάλλωση
Συχνά ένα πρόσθετο αέριο όπως το άζωτο ή η ασετυλίνη χρησιμοποιείται, τα οποία θα αντιδράσουν με το εκτιναγμένο υλικό (αντιδραστική επιμετάλλωση). Ένα ευρύ φάσμα των ψεκασμένων επιστρωμάτων είναι επιτεύξιμο με αυτήν την τεχνική επιστρώματος PVD. Magnetron η τεχνολογία επιμετάλλωσης είναι πολύ συμφέρουσα για το decretive επίστρωμα (π.χ. νιτρίδια Tj, χρωμίου, Zr και άνθρακα), λόγω της ομαλής φύσης της. Το ίδιο πλεονέκτημα καθιστά magnetron την επιμετάλλωση ευρέως χρησιμοποιημένη για το τριβολογικό επίστρωμα στις αυτοκίνητες αγορές (π.χ. CrN, andvarious συνδυασμοί χρωμίου 2N με το επίστρωμα DLC - διαμάντι όπως το επίστρωμα άνθρακα).
Μαγνητικά πεδία
Magnetron η επιμετάλλωση είναι κάπως διαφορετική από τη γενική τεχνολογία επιμετάλλωσης. Η διαφορά είναι ότι magnetron η τεχνολογία επιμετάλλωσης χρησιμοποιεί τα μαγνητικά πεδία για να κρατήσει το πλάσμα μπροστά από το στόχο, που εντείνει το βομβαρδισμό των ιόντων. Ένα ιδιαίτερα πυκνό πλάσμα είναι το αποτέλεσμα αυτής της τεχνολογίας επιστρώματος PVD.
Magnetron η τεχνολογία επιμετάλλωσης χαρακτηρίζεται από:
Μέγιστη δύναμη επιμετάλλωσης | |
Έμμεσος δροσισμένος στόχος | > 20 Watt/τ.εκ. (συνεχές ρεύμα) |
> 7 Watt/τ.εκ. (RF) | |
Τάση απαλλαγής | 100 έως 1500 βολτ |
Ρεύμα απαλλαγής | > 0,05 amps/τ.εκ. |
Λειτουργούσα πίεση | 0,05 έως 5 PA |
Χρησιμοποίηση στόχων | > 35% |
Στόχος | |
Μορφή | Ορθογώνιος επίπεδος |
Πάχος | 6mm~16mm |
Πλάτος | 125mm |
Εγκατάσταση | Εσωτερικός/εξωτερικός |