Κεραμικό υπόστρωμα ακτινοβολίας Εξοπλισμός επιμετάλλωσης χαλκού
Εργοστάσιο επίστρωσης Cooper Magnetron Sputtering σε κεραμικό υπόστρωμα ακτινοβολίας
Η διαδικασία DPC- Direct Plating Copper είναι μια προηγμένη τεχνολογία επίστρωσης που εφαρμόζεται σε βιομηχανίες LED / ημιαγωγών / ηλεκτρονικών.Μια τυπική εφαρμογή είναι το Ceramic Radiating Substrate.
Εναπόθεση αγώγιμου φιλμ χαλκού σε υποστρώματα Al2O3, AlN, Si, γυαλί με τεχνολογία PVD κενού sputtering, σε σύγκριση με τις παραδοσιακές μεθόδους κατασκευής: DBC LTCC HTCC, τα χαρακτηριστικά:
1. Πολύ χαμηλότερο κόστος παραγωγής.
2. Εξαιρετική απόδοση θερμικής διαχείρισης και μεταφοράς θερμότητας
3. Ακριβής ευθυγράμμιση και σχεδιασμός σχεδίων,
4. Υψηλή πυκνότητα κυκλώματος
5. Καλή πρόσφυση και ικανότητα συγκόλλησης
Η Royal τεχνολογική ομάδα βοήθησε τον πελάτη μας να αναπτύξει με επιτυχία τη διαδικασία DPC με την τεχνολογία PVD sputtering.
Λόγω της προηγμένης απόδοσής του, τα υποστρώματα DPC χρησιμοποιούνται ευρέως σε διάφορες εφαρμογές:
LED υψηλής φωτεινότητας για αύξηση της μεγάλης διάρκειας ζωής λόγω του υψηλού τουθερμική ακτινοβολίααπόδοση, Εξοπλισμός ημιαγωγών, ασύρματη επικοινωνία μικροκυμάτων, στρατιωτικά ηλεκτρονικά είδη, διάφορα υποστρώματα αισθητήρων, αεροδιαστημική, σιδηροδρομικές μεταφορές, ηλεκτρική ενέργεια κ.λπ.
Ο εξοπλισμός RTAC1215-SP έχει σχεδιαστεί αποκλειστικά για διεργασία DPC που παίρνει το στρώμα χαλκού στα υποστρώματα.Αυτός ο εξοπλισμός χρησιμοποιεί την αρχή φυσικής εναπόθεσης ατμών PVD, με επιμετάλλωση ιόντων πολλαπλών τόξων και τεχνικές διασκορπισμού μαγνητρόν για να αποκτήσει το ιδανικό φιλμ με υψηλή πυκνότητα, υψηλή αντοχή στην τριβή, υψηλή σκληρότητα και ισχυρή σύνδεση σε περιβάλλον υψηλού κενού.Είναι το κρίσιμο βήμα για τη διαδικασία DPC ανάπαυσης.
Βασικά χαρακτηριστικά της μηχανής επίστρωσης χαλκού
1. Εξοπλισμένο με 8 καθόδους τόξου διεύθυνσης και καθόδους διασκορπισμού DC, καθόδους διασκορπισμού MF, μονάδα πηγής ιόντων.
2. Διατίθεται επίστρωση πολλαπλών στρωμάτων και συν-απόθεσης
3. Πηγή ιόντων για προεπεξεργασία καθαρισμού πλάσματος και εναπόθεση υποβοηθούμενη από δέσμη ιόντων για ενίσχυση της πρόσφυσης του φιλμ.
4. Μονάδα θέρμανσης υποστρωμάτων κεραμικών/ Al2O3/AlN.
5. Σύστημα περιστροφής και περιστροφής υποστρώματος, για επίστρωση 1 πλευρών και επίστρωση 2 πλευρών.
Προδιαγραφές μηχανής επίστρωσης χαλκού
Εκτέλεση
1. Τελική πίεση κενού: καλύτερη από 5,0×10-6Torr.
2. Πίεση κενού λειτουργίας: 1,0×10-4Torr.
3. Pumpingdown Time: από 1 atm έως 1,0×10-4Torr≤ 3 λεπτά (θερμοκρασία δωματίου, στεγνός, καθαρός και άδειος θάλαμος)
4. Υλικό επιμετάλλωσης (διασκορπισμός + εξάτμιση τόξου): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr κ.λπ.
5. Μοντέλο λειτουργίας: Πλήρης Αυτόματα /Ημιαυτόματο/ Χειροκίνητα
Δομή
Το μηχάνημα επίστρωσης κενού περιέχει το βασικό ολοκληρωμένο σύστημα που παρατίθεται παρακάτω:
1. Θάλαμος κενού
2. Σύστημα άντλησης κενού Rouhging (Πακέτο αντλίας υποστήριξης)
3. Σύστημα άντλησης υψηλού κενού (Μοριακή αντλία μαγνητικής ανάρτησης)
4. Σύστημα Ηλεκτρικού Ελέγχου και Λειτουργίας
5. Σύστημα Βοηθητικής Εγκατάστασης (Υποσύστημα)
6. Σύστημα εναπόθεσης
Δείγματα
Επικοινωνήστε μαζί μας για περισσότερες προδιαγραφές, η Royal Technology έχει την τιμή να σας παρέχει ολοκληρωμένες λύσεις επίστρωσης.
