Μέρη άλεσης αργιλίου επένδυσης χαλκού μηχανών PVD επένδυσης χαλκού PVD οξειδίων μερών αργιλίου oncnc
Λέξεις κλειδιά: Άμεσα καλυμμένα προϊόντα αργιλίου, διαδικασία PECVD, ταινία DLC, διαμάντι όπως την ταινία άνθρακα, ψεκάζοντας οπτική ταινία, Magnetron Gencoa ψεκάζοντας κάθοδος, ιονική πηγή, PA PVD
Rtac950-SP χαρακτηριστικά σχεδιασμού:
Τεχνικές προδιαγραφές
1. Τελευταία κενή πίεση: καλύτερα από 8.0*10-4 PA
3. Να αντλήσει κάτω - χρόνος: από το ATM σε 1.0×10-3 πρακτικά Pa≤15 (ξηράς, καθαρής και κενής αίθουσα θερμοκρασίας δωματίου,)
4. Πηγή απόθεσης: Magnetron Gencoa οι ψεκάζοντας κάθοδοι, οδήγησαν τις καθόδους τόξων, ιονική πηγή
5. Λειτουργούν πρότυπο: Το πλήρες αυτόματα /Semi-Auto/ με το χέρι
6. Θέρμανση: από τη θερμοκρασία δωματίου μέχρι μέγιστο 500℃,
9. Ιονική πηγή για τη διαδικασία PECVD και PA PVD.
Η μηχανή κενού επιστρώματος περιέχει το βασικό ολοκληρωμένος σύστημα που απαριθμείται κατωτέρω:
1. Κενή αίθουσα
1.1 μέγεθος: Εσωτερικό βάθος 950mm
Εσωτερικό ύψος: 1350mm
1.2 υλικό: Κενή αίθουσα SUS304
Πόρτα και φλάντζες SUS304
Η αίθουσα ενισχύει τη δομή: SS41 ήπιος χάλυβας, με τη χρωματισμένη επεξεργασία επιφάνειας λήξης.
Ήπιος χάλυβας πλαισίων SS41 αιθουσών με τη χρωματισμένη επεξεργασία επιφάνειας λήξης.
1.3 ασπίδα αιθουσών: SUS304
1.4 παράθυρο άποψης: στις πόρτες -2 αιθουσών
1.5 κενή βαλβίδα εξαερισμού αιθουσών (συμπεριλαμβανομένου του ησυχαστήρα)
1.6 πόρτα: 2 σύνολα, μέτωπο και πλάτη, υλικό SUS304
2. Κενό αντλώντας σύστημα χοντροδουλέματος:
Περιστροφική vane πετρελαίου κενή αντλία + αντλία εκμετάλλευσης
3. Υψηλό κενό αντλώντας σύστημα:
Στροβιλο μοριακή αντλία - 2 σύνολα
4. Ηλεκτρικό σύστημα ScreenOperation αφής συστημάτων PLC+ ελέγχου και λειτουργίας:
Προμηθευτές:
PLC: Mitsubishi, πρότυπο: FX-IN60MR-001 ΣΕΙΡΑ
Ηλεκτρονικά συστατικά: ΣΝΑΙΝΤΕΡ, OMRON.
Ασφάλεια που προστατεύει το σύστημα: Πολυάριθμες συναρμολογήσεις ασφάλειας για να προστατεύσει τους χειριστές και τον εξοπλισμό (νερό, τρέχον αέριο, θερμοκρασία κ.λπ.)
Το επίστρωμα επεξεργάζεται το σύστημα: Αυτοματοποίηση & έλεγχος διαδικασίας. Αυτόματα σωζόμενος στη μνήμη για 3 μήνες. Χαρακτηρισμένος ντύνοντας τα στοιχεία συνταγών: το ρεύμα λειτουργίας στόχων/η τάση, μαζική ροή, κενή πίεση, θερμοκρασία, που ντύνει τους χρόνους σώζεται για μια ανάλυση για να βελτιώσει την ποιότητα επιστρωμάτων.
4.1 κύριο κύκλωμα: Ο διακόπτης διακοπτών κανένας-θρυαλλίδων, ηλεκτρομαγνητικός διακόπτης, C/T δακτυλογραφεί σωρηδόν
4.2 παροχή ηλεκτρικού ρεύματος: Δύναμη επιμετάλλωσης MF + δύναμη ΣΥΝΕΧΏΝ τόξων + προκατειλημμένη παροχή ηλεκτρικού ρεύματος
4.3 σύστημα ελέγχου απόθεσης
4.4 σύστημα λειτουργίας: Οθόνη αφής + PLC, έλεγχος συνταγής και αναγραφή στοιχείων, αυτόματο κλείσιμο, αυτόματη εκκένωση, αυτόματο επίστρωμα
4.5 μέτρηση του συστήματος
Κενή πίεση: Κενός μετρητής: Pirani + περιφράζοντας το μετρητή + τον κενό μετρητή μεγάλης έκτασης -- Εμπορικό σήμα της Ευρώπης
Μετρώντας συσκευή θερμοκρασίας: Θερμοηλεκτρικό ζεύγος
MFC: Ελεγκτής μαζικής ροής (4 τρόποι),
4.6 σύστημα συναγερμών: Πίεση συμπιεσμένου αέρα, ροή του νερού ψύξης, ΠΣΔ-λειτουργία
4.7 δείκτης φορτίων δύναμης: Δείκτης τάσης και τρέχων δείκτης φορτίων
5. Σύστημααπόθεσης
5.1 πηγή απόθεσης: Πηγές τόξων επιμετάλλωσης cathodes+ + ιονική πηγή
5.2 υλικό απόθεσης: ITO, τιτάνιο, χρώμιο, αργίλιο, ανοξείδωτο, TiAl κ.λπ.
6. Υποσύστημα
6.1 συμπιεσμένο αέρας σύστημα ελέγχου βαλβίδων
6.2 δροσίζοντας υδάτινο σύστημα: Σωλήνας ροής του νερού και σύστημα βαλβίδων διακοπτών
7. Εργασιακό περιβάλλον
Συμπιεσμένος αέρας: 5~8kg/cm2
Δροσίζοντας νερό: Νερό-στη θερμοκρασία: 20~25℃, 200 λίτρο/λ.,
Νερό-στην πίεση: 2~3 kg/cm2,
Δύναμη: 3 φάση 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, μέση κατανάλωση ισχύος: 60KW
Περιοχή εγκατάστασης: (L*W*H) 4400*3200*2950mm
Εξάτμιση: Διέξοδος για τις μηχανικές αντλίες
Παρακαλώ μας ελάτε σε επαφή με για περισσότερες προδιαγραφές, η βασιλική τεχνολογία είναι τιμημένη για να σας παρέχει συνολικές λύσεις επιστρώματος.
