Μηχανή κενού επιστρώματος PVD/Magnetron ψεκάζοντας μηχανή επιστρώματος, μεταλλουργική μηχανή επιστρώματος pvd
Αυτή η μηχανή είναι κατάλληλη στο σύστημα κενού επιστρώματος βιομηχανικής παραγωγής. Εξοπλίζει μια μεγάλη μεγέθους σαφή πηγή εξάτμισης τόξων ιονική και μπορεί deposite σκληρή ταινία μετάλλων υψηλής επίδοσης από την τεχνολογία εξάτμισης τόξων, όπως ο κασσίτερος, TiCN, AlTiN και όλα τα είδη άλλης ειδικής ταινίας σύμφωνα με τις απαιτήσεις του πελάτη.
Το επίστρωμα DLC (αδαμαντοειδής άνθρακας) είναι ο συνδυασμός διαμαντιού (SP3) και γραφίτη (SP2). Οι φυσικές και χημικές ιδιότητες DLC είναι ενδιάμεσες σε αυτό του διαμαντιού και του γραφίτη
Προδιαγραφές
ΠΡΟΤΥΠΟ | RTAS1000 | |||||||
ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΑ | επένδυση + magnetron τόξων που ψεκάζουν + ιονική πηγή | |||||||
ΥΛΙΚΟ ΑΙΘΟΥΣΩΝ | Ανοξείδωτο (S304) | |||||||
ΜΕΓΕΘΟΣ ΑΙΘΟΥΣΩΝ | Φ1000*1000mm (η) | |||||||
ΤΥΠΟΣ ΑΙΘΟΥΣΩΝ | Κανονική octahedron αίθουσα, 2 πόρτες | |||||||
ΡΑΦΙ ΠΕΡΙΣΤΡΟΦΗΣ & JIG ΣΥΣΤΗΜΑ | 6 (8) δορυφορικό, μέγιστο βάρος: 400kgs | |||||||
ΠΑΡΟΧΕΣ ΗΛΕΚΤΡΙΚΟΥ ΡΕΎΜΑΤΟΣ | Qty. από την επιμετάλλωση: 2*24 KW διαγωνίως της παροχής ηλεκτρικού ρεύματος: 1*24W παροχή ηλεκτρικού ρεύματος AE για την ιονική παροχή ηλεκτρικού ρεύματος πηγής επιλογής 2 σύνολα, παροχή ηλεκτρικού ρεύματος AE για την επιλογή | |||||||
ΥΛΙΚΟ ΑΠΟΘΕΣΗΣ | Tj, Zr, TiAl, $cu, Au | |||||||
ΠΗΓΗ ΑΠΟΘΕΣΗΣ |
ψεκάζοντας κάθοδοι 2 ζευγαριών (4 κομμάτια) + 6 τόξα που ντύνουν την περιοχή: Dia800mm*H550mm |
|||||||
ΕΛΕΓΧΟΣ | PLC (προγραμματίσημος ελεγκτής λογικής) + οθόνη αφής (πρότυπα λειτουργίας manual+ auto+ ημι-αυτόματα) | |||||||
ΣΥΣΤΗΜΑ ΑΝΤΛΙΩΝ | Περιστροφική Vane αντλία: SV300B - 1 σύνολο (Leybold) | |||||||
Αντλία ριζών: WAU1001 - 1 σύνολο (Leybold) | ||||||||
Αντλία εκμετάλλευσης: D60C-1set- (Leybold) | ||||||||
Μοριακή αντλία αναστολής στροφέων Magnetric: MAG2200 - 2 σύνολα (Leybold) | ||||||||
ΕΛΕΓΚΤΗΣ ΜΑΖΙΚΗΣ ΡΟΗΣ ΑΕΡΊΟΥ | 3 κανάλια, που κατασκευάζονται στην Αμερική (εμπορικό σήμα MKS) | |||||||
ΚΕΝΟΣ ΜΕΤΡΗΤΗΣ | Πρότυπο: Zdf-Χ-LE, που κατασκευάζεται στην Κίνα | |||||||
Γραμμική ιονική πηγή | 2 κομμάτια που επεξεργάζονται εκ των προτέρων, πλάσμα που καθαρίζει + βοηθημένη απόθεση | |||||||
ΣΥΣΤΗΜΑ ΑΣΦΑΛΕΙΑΣ | Πολυάριθμες συναρμολογήσεις ασφάλειας για να προστατεύσει τους χειριστές και τον εξοπλισμό | |||||||
ΘΕΡΜΑΝΣΗ | Θερμάστρες: 20KW. Μέγιστα temp.: 400℃ | |||||||
ΨΥΞΗ | Βιομηχανικό ψυγείο (κρύο νερό) | |||||||
ΔΥΝΑΜΗ MAX. | 100KW (περ.) | |||||||
ΜΕΣΗ ΚΑΤΑΝΑΛΩΣΗ ΙΣΧΎΟΣ | 45 KW (περ.) | |||||||
ΑΚΑΘΑΡΙΣΤΟ ΒΑΡΟΣ | Τ (περ.) | |||||||
ΤΥΠΩΜΕΝΗ ΎΛΗ ΠΟΔΙΩΝ | (L*W*H) ΚΚ 4000*4000 *4000 | |||||||
ΔΥΝΑΜΗ ΗΛΕΚΤΡΙΚΗ | Εναλλασσόμενο ρεύμα 380V/3 phases/50HZ |