Αγώγιμο ψεκάζοντας σύστημα ταινιών PVD, κεραμικός χαλκός PVD που ψεκάζει την κενή μηχανή απόθεσης,

Χρυσός ψεκάζοντας εξοπλισμός απόθεσης Au, Silve/χρυσή μηχανή απόθεσης PVD, αγώγιμο ψεκάζοντας σύστημα ταινιών PVD 

Περίληψη: Ο DPC άμεσος χαλκός επένδυσης διαδικασίας είναι μια προηγμένη τεχνολογία επένδυσης που εφαρμόζεται με των οδηγήσεων/τον ημιαγωγό/τις ηλεκτρονικές βιομηχανίες. Μια χαρακτηριστική εφαρμογή είναι κεραμική ακτινοβολώντας το υπόστρωμα. Αγώγιμη απόθεση ταινιών του Cooper στο οξείδιο αργιλίου (Al2O3), υποστρώματα AlN από PVD την κενή τεχνολογία επιμετάλλωσης, έναντι της παραδοσιακής κατασκευής

μέθοδοι: DBC LTCC HTCC, πολύ χαμηλότερο κόστος παραγωγής είναι το υψηλό χαρακτηριστικό γνώρισμά του.

Η βασιλική ομάδα τεχνολογίας βοήθησε τον πελάτη μας ανέπτυξε τη DPC διαδικασία επιτυχώς με την τεχνολογία επιμετάλλωσης PVD.

Λέξεις κλειδιά: Κεραμικά σφραγίζοντας μέρη, DPC διαδικασία, ψεκάζοντας σύστημα χαλκού PVD, κεραμικά τσιπ των οδηγήσεων με την επίστρωση του Cooper, Al₂ Ο₃, κεραμικοί πίνακες κυκλωμάτων AlN, Al2O3 πιάτα των οδηγήσεων, ημιαγωγός

Αιτήσεις DPC:

· HBLED

· Υποστρώματα για τα ηλιακά κύτταρα συμπυκνωτών

· Συσκευασία ημιαγωγών δύναμης συμπεριλαμβανομένου του αυτοκίνητου ελέγχου μηχανών

· Υβριδική και ηλεκτρική αυτοκινητική διοικητική ηλεκτρονική δύναμης

· Συσκευασίες για το RF

· Συσκευές μικροκυμάτων

DPC απόδοση τεχνολογίας

       Διάφορα υλικά υποστρωμάτων: Κεραμικός (Al3O2, AlN), γυαλί, και Si

• Πολύ χαμηλότερο κόστος παραγωγής.
• Σημαντική θερμική απόδοση διαχείρισης και θερμότητα-μεταφοράς
• Ακριβές σχέδιο ευθυγράμμισης και σχεδίων
• Γερή προσκόλληση επιμετάλλωσης

Χαρακτηριστικά γνωρίσματα:

• Υψηλή ρυθμοαπόδοση μέχρι το κεραμικό υπόστρωμα 2,2 ㎡ ανά κύκλο
• Ισχυρή προσκόλληση με τον ισχυρό heating-up καθαρισμό πηγής συσκευών και πλάσματος
• Συμπαγές σχέδιο και με την εύκολη πρόσβαση για την αναβάθμιση και τις εργασίες συντήρησης.
• Πλήρως αυτοματοποίηση, οθόνη PLC+Touch, σύστημα ελέγχου ένας-αφής.
• Υψηλή αποδοτικότητα με τη λιγότερη κατανάλωση ισχύος, μέγιστη μείωση κόστους παραγωγής 50%.

Τεχνικές προδιαγραφές

• Απόδοση

1. Τελευταία κενή πίεση: καλύτερα από 9.0*10-5 PA

• Κενή πίεση βάσεων: 3.0*10-2 PA

3. Να αντλήσει κάτω - χρόνος: από το ATM σε 1.0×10-3 πρακτικά Pa≤15 (ξηράς, καθαρής και κενής αίθουσα θερμοκρασίας δωματίου,)

4. Πηγή απόθεσης: Magnetron Gencoa οι ψεκάζοντας κάθοδοι, οδήγησαν τις καθόδους τόξων, ιονική πηγή

5. Λειτουργούν πρότυπο: Το πλήρες αυτόματα /Semi-Auto/ με το χέρι

6. Θέρμανση: από τη θερμοκρασία δωματίου μέχρι μέγιστο 500℃,

9. Ιονική πηγή για τη διαδικασία PECVD και PA PVD.

• Δομή

Η μηχανή κενού επιστρώματος περιέχει το βασικό ολοκληρωμένος σύστημα που απαριθμείται κατωτέρω:

1. Κενή αίθουσα

1.1 μέγεθος: Εσωτερική διάμετρος: 1200mm

Εσωτερικό ύψος: 1500mm

1.2 υλικό: Κενή αίθουσα SUS304

Πόρτα και φλάντζες SUS304

Η αίθουσα ενισχύει τη δομή: SS41 ήπιος χάλυβας, με τη χρωματισμένη επεξεργασία επιφάνειας λήξης.

Ήπιος χάλυβας πλαισίων SS41 αιθουσών με τη χρωματισμένη επεξεργασία επιφάνειας λήξης.

1.3 ασπίδα αιθουσών: SUS304

1.4 παράθυρο άποψης: 2 στην πόρτα

1.5 κενή βαλβίδα εξαερισμού αιθουσών (συμπεριλαμβανομένου του ησυχαστήρα)

1.6 πόρτα: SUS304 υλικό

2. Κενό αντλώντας σύστημα χοντροδουλέματος:

Περιστροφική vane πετρελαίου κενή αντλία + αντλία εκμετάλλευσης
 

3. Υψηλό κενό αντλώντας σύστημα:  Μαγνητικά μοριακή αντλία αναστολής - 2 σύνολα

4. Ηλεκτρικό σύστημα λειτουργίας οθόνης αφής συστημάτων PLC+ ελέγχου και λειτουργίας:

Προμηθευτές:

PLC: Mitsubishi + οθόνη αφής (που κατασκευάζεται στην Κίνα)

Ηλεκτρονικά συστατικά: ΣΝΑΙΝΤΕΡ, OMRON.

Ασφάλεια που προστατεύει το σύστημα: Πολυάριθμες συναρμολογήσεις ασφάλειας για να προστατεύσει τους χειριστές και τον εξοπλισμό (νερό, τρέχον αέριο, θερμοκρασία κ.λπ.)

Το επίστρωμα επεξεργάζεται το σύστημα: Αυτοματοποίηση & έλεγχος διαδικασίας.

4.1 κύριο κύκλωμα: Ο διακόπτης διακοπτών κανένας-θρυαλλίδων, ηλεκτρομαγνητικός διακόπτης, C/T δακτυλογραφεί σωρηδόν

4.2 παροχή ηλεκτρικού ρεύματος: DC/MF δύναμη επιμετάλλωσης + δύναμη ΣΥΝΕΧΩΝ τόξων + προκατειλημμένη παροχή ηλεκτρικού ρεύματος

4.3 σύστημα ελέγχου απόθεσης

4.4 σύστημα λειτουργίας: Οθόνη αφής + PLC, έλεγχος συνταγής και αναγραφή στοιχείων, αυτόματο κλείσιμο, αυτόματη εκκένωση, αυτόματο επίστρωμα

4.5 μέτρηση του συστήματος

Κενή πίεση: Κενός μετρητής: Pirani + περιφράζοντας το μετρητή + τον κενό μετρητή μεγάλης έκτασης -- Εμπορικό σήμα της Ευρώπης

Μετρώντας συσκευή θερμοκρασίας: Θερμοηλεκτρικό ζεύγος
MFC: Ελεγκτής μαζικής ροής (4 τρόποι),

4.6 σύστημα συναγερμών: Πίεση συμπιεσμένου αέρα, ροή του νερού ψύξης, ΠΣΔ-λειτουργία

4.7 δείκτης φορτίων δύναμης: Δείκτης τάσης και τρέχων δείκτης φορτίων

5. Σύστημααπόθεσης

5.1 πηγή απόθεσης: Πηγές τόξων επιμετάλλωσης cathodes+ + ιονική πηγή

5.2 υλικό απόθεσης: Χαλκός, αργίλιο, χρώμιο, ασήμι, χρυσός, SS, τιτάνιο κ.λπ.
 

6. Υποσύστημα

6.1 συμπιεσμένο αέρας σύστημα ελέγχου βαλβίδων

6.2 δροσίζοντας υδάτινο σύστημα: Σωλήνας ροής του νερού και σύστημα βαλβίδων διακοπτών

7. Εργασιακό περιβάλλον

Συμπιεσμένος αέρας: 5~8kg/cm2

Δροσίζοντας νερό: Νερό-στη θερμοκρασία: 20~25℃, 200 λίτρο/λ.,
Νερό-στην πίεση: 2~3 kg/cm2,

Δύναμη: 3 φάση 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, μέση κατανάλωση ισχύος: 60KW

Περιοχή εγκατάστασης: (L*W*H) 4400*3200*2950mm

         Εξάτμιση: Διέξοδος για τις μηχανικές αντλίες

Παρακαλώ μας ελάτε σε επαφή με για περισσότερες προδιαγραφές, η βασιλική τεχνολογία είναι τιμημένη για να σας παρέχει συνολικές λύσεις επιστρώματος.