Κενός εξοπλισμός απόθεσης μετάλλων υψηλής επίδοσης, κενό CsI metallizer από τη θερμική χοάνη
Λέξεις κλειδιά: υψηλή ανάλυση, CsI: T1 λεπτές ταινίες scintillator Απεικόνιση ακτίνας X κενή μέθοδος απόθεσης, μετα-απόθεση στρώματος άνθρακα
Η απόθεση λεπτών ταινιών CsI για τις συσκευές απεικόνισης ακτίνας X είναι μια προηγμένη τεχνική για να εξατμιστεί CsI στην οθόνη για να δώσει έναν υψηλό - ποιότητα της απεικόνισης. Με την απόδοση υψηλής ανάλυσης του, επίσης που χρησιμοποιείται ευρέως στον έλεγχο και την επιθεώρηση ασφάλειας, τα υψηλής ενέργειας θέματα φυσικής, τη φυσική των περιοχών κ.λπ. πυρηνικής ενέργειας.
Το θερμικό σύστημα επιστρώματος εξάτμισης RTEP0913 αναπτύχθηκε για την απόθεση ταινιών CsI στην απεικόνιση ακτίνας X στο υψηλό κενό περιβάλλον πίεσης. Τα scintillators T1 CsI που κυμαίνονται από 2 μm ως 14 μm στο πάχος. Η ταινία στρώματος άνθρακα μπορεί να θεωρηθεί ως μετα-απόθεση για να βελτιώσει τις υψηλές αναλύσεις.
Iodide καισίου (T1 CsI) κενοί απόδοση και χαρακτηρισμοί απόθεσης
Τύπος:
κάθετος προσανατολισμός λ, κύλινδρος, 1 πόρτα, μπροστινό άνοιγμα.
Χαρακτηριστικά σχεδιασμού:
υπερβολιή υψηλός τελευταία κενή πίεση λ: μέχρι 9.0*10-5 PA
λ γρήγορο θερμαίνοντας επάνω τις συσκευές για μια καλή προσκόλληση
κατάλληλη υψηλή επιλογή κενών αντλιών λ και αντλώντας σύστημα για να αποφύγει του υλικού κινδύνου που εκτίθεται στον αέρα
ισχυρό, συμπαγές και στερεό σύστημα επιστρώματος λ
υψηλή σταθερότητα λ, που λειτουργεί 960 ώρες χωρίς στάση.
συσκευή ελεγκτών πάχους ταινιών λ Inficon για να ελέγξει το πάχος ταινιών ευθύγραμμο.
σχέδιο και επιλογή χοανών λ αποκλειστικά για την απόθεση CsI.
υποστρώματα λ που ντύνουν, μέγιστο μέγεθος: 500*500mm
προηγμένες οι λ έννοιες σχεδίου ραφιών μπορούν να φορτώσουν τα υποστρώματα 2 κομματιών ανά batch, να ενισχύσουν ιδιαίτερα την παραγωγή παραγωγής.
Τεχνικές προδιαγραφές:
απόδοση λ
1. Τελευταία κενή πίεση: καλύτερα από 9.0*10-5 PA
2. Λειτουργούσα κενή πίεση: 6.0*10-4 PA ~9,0*10-4 PA
Κενή πίεση βάσεων: 3.0*10-4 PA
3. Να αντλήσει κάτω - χρόνος: από 1 ATM σε 2,0×10-3 PA ≤25 λεπτά (ξηράς, καθαρής και κενής αίθουσα θερμοκρασίας δωματίου,)
4. Πηγή απόθεσης: θερμική εξάτμιση χοανών χαλαζία
5. Λειτουργούν πρότυπο: Το πλήρες αυτόματα /Semi-Auto/ με το χέρι
6. Θέρμανση: από τη θερμοκρασία δωματίου μέχρι μέγιστο 1000℃,
Υπόστρωμα γυαλιού TFT που θερμαίνει επάνω το χρόνο: από 0~250℃<40mins>
7. Ποσοστό απόθεσης CsI: 0~100nm/sec
8. CsI: Πάχος ταινιών T1: μέχρι 600μm
δομή λ
Η μηχανή κενού επιστρώματος περιέχει το βασικό ολοκληρωμένος σύστημα που απαριθμείται κατωτέρω:
1. Κενή αίθουσα
1.1 μέγεθος: Εσωτερική διάμετρος 900χιλ.
Εσωτερικό ύψος: 1300 χιλ.
1.2 υλικό: Κενή αίθουσα SUS304
Πόρτα και φλάντζες SUS304
Η αίθουσα ενισχύει τη δομή: SS41 ήπιος χάλυβας, με τη χρωματισμένη επεξεργασία επιφάνειας λήξης.
Ήπιος χάλυβας πλαισίων SS41 αιθουσών με τη χρωματισμένη επεξεργασία επιφάνειας λήξης.
1.3 ασπίδα εξάτμισης: SUS304
1.4 παράθυρο άποψης: στην πόρτα αιθουσών
1.5 κενή βαλβίδα εξαερισμού αιθουσών (συμπεριλαμβανομένου του ησυχαστήρα)
1.6 πόρτα: SUS304 υλικό
2. Κενό αντλώντας σύστημα χοντροδουλέματος:
Περιστροφική vane πετρελαίου κενή αντλία + αντλία ριζών (Γερμανία Pfeiffer)
3. Υψηλό κενό αντλώντας σύστημα:
Μαγνητική μοριακή αντλία αναστολής (Γερμανία Pfeiffer)
4. Ηλεκτρική οθόνη αφής συστημάτων PLC+ ελέγχου και λειτουργίας
4.1 κύριο κύκλωμα: Ο διακόπτης διακοπτών κανένας-θρυαλλίδων, ηλεκτρομαγνητικός διακόπτης, C/T δακτυλογραφεί σωρηδόν
4.2 δύναμη εξάτμισης
4.3 σύστημα ελέγχου εξάτμισης
4.4 σύστημα λειτουργίας: Οθόνη αφής + PLC, έλεγχος συνταγής και αναγραφή στοιχείων, αυτόματο κλείσιμο, αυτόματη εκκένωση, αυτόματο επίστρωμα
4.5 μέτρηση του συστήματος
Κενή πίεση: Κενός μετρητής: Pirani + περιφράζοντας το μετρητή + τον κενό μετρητή μεγάλης έκτασης
Μετρώντας συσκευή θερμοκρασίας: Θερμοηλεκτρικό ζεύγος
Ελεγκτής πάχους ταινιών: Εμπορικό σήμα Inficon, sqc-310
4.6 σύστημα συναγερμών: Πίεση συμπιεσμένου αέρα, ροή του νερού ψύξης, ΠΣΔ-λειτουργία
4.7 δείκτης φορτίων δύναμης: Δείκτης τάσης και τρέχων δείκτης φορτίων
5. Σύστημααπόθεσης
5.1 πηγή απόθεσης: χοάνη χαλαζία
5.2 υλικό απόθεσης: CsI, άνθρακας
6. Υποσύστημα
6.1 συμπιεσμένο αέρας σύστημα ελέγχου βαλβίδων
6.2 δροσίζοντας υδάτινο σύστημα: Σωλήνας ροής του νερού και σύστημα βαλβίδων διακοπτών
Εργασιακό περιβάλλον
Συμπιεσμένος αέρας: 5~8kg/cm2
Δροσίζοντας νερό: Νερό-στη θερμοκρασία: 20~25℃, 200 λίτρο/λ.,
Νερό-στην πίεση: 2~3 kg/cm2,
Δύναμη: 3 συγχρονίστε 380V 50Hz (60Hz), kVA 65, μέση κατανάλωση ισχύος: 30KW
Περιοχή εγκατάστασης: (L*W*H) 3000*200*2300χιλ.
Εξάτμιση: Διέξοδος για τις μηχανικές αντλίες
Παρακαλώ μας ελάτε σε επαφή με για περισσότερες προδιαγραφές, η βασιλική τεχνολογία είναι τιμημένη για να σας παρέχει συνολικές λύσεις επιστρώματος.
