Επιμετάλλωση συστημάτων απόθεσης λεπτών ταινιών PVD και θερμικός εξατμίζοντας εξοπλισμός κενού επιστρώματος
Σύστημα απόθεσης λεπτών ταινιών PVD, επιμετάλλωση και θερμικός εξατμίζοντας εξοπλισμός κενού επιστρώματος
Το σύστημα απόθεσης λεπτών ταινιών PVD περιέχει τις πηγές απόθεσης πηγής εξάτμισης ινών βολφραμίου και ΣΥΝΕΧΈΣ magnetron ψεκάζει τις πηγές (οι ψεκάζοντας κάθοδοι RF είναι για την επιλογή). Αυτός ο εξοπλισμός χρησιμοποιείται συνήθως για να καταθέσει τις λεπτές ταινίες στα πλαστικά μέρη, το γυαλί, το μέταλλο ή τα φύλλα αλουμινίου με τα υλικά κατάθεσης όπως: καθαρές πηγές εξάτμισης Al, χρωμίου, $cu, άργυρου, Au, Tj κ.λπ. μετάλλων γενικά για να λάβει τις υψηλές αντανακλαστικές λεπτές ταινίες στις επιφάνειες προϊόντων ή τις αγώγιμες ταινίες, ή να δώσει μια μεταλλική εικόνα προοπτικής. Εκτός από το ότι, οι πηγές επιμετάλλωσης συμπυκνώνουν ένα ευρύ φάσμα των υλικών και των διηλεκτρικών ημιαγωγών συμπεριλαμβανομένων των διαφανών αγώγιμων οξειδίων, κ.λπ.
Διαμορφώσεις συστημάτων απόθεσης λεπτών ταινιών PVD:
Απόδοση
1. Τελευταία κενή πίεση: καλύτερα από 5.0×10-6 Torr.
2. Λειτουργούσα κενή πίεση: 1.0×10-4 Torr.
3. Να αντλήσει κάτω - χρόνος από 1 ATM σε 1.0×10-4 πρακτικά Torr≤3 (ξηράς, καθαρής και κενής αίθουσα θερμοκρασίας δωματίου,)
4. Υλικό Metalizing (εξάτμιση): Al, χρώμιο, Sn, Tj, SS, $cu… κ.λπ.
5. Λειτουργούν πρότυπο: Το πλήρες αυτόματα /Semi-Auto/ με το χέρι
δομή l
Η μηχανή κενού επιστρώματος περιέχει το βασικό ολοκληρωμένος σύστημα που απαριθμείται κατωτέρω:
1. Κενή αίθουσα
1.1 μέγεθος: Εσωτερική διάμετρος 1600mm
Εσωτερικό ύψος 1600mm
1.2 υλικό: Κενή αίθουσα SUS304 (ήπιος χάλυβας SS41 για την επιλογή)
Πόρτα και φλάντζες SUS304 (ήπιος χάλυβας SS41 για την επιλογή)
Η αίθουσα ενισχύει τη δομή: SS41 ήπιος χάλυβας, με τη χρωματισμένη επεξεργασία επιφάνειας λήξης.
Ήπιος χάλυβας πλαισίων SS41 αιθουσών με τη χρωματισμένη επεξεργασία επιφάνειας λήξης.
1.3 ασπίδα: SUS304
1.4 παράθυρο άποψης: στην πόρτα αιθουσών
1.5 κενή βαλβίδα εξαερισμού αιθουσών, συμπεριλαμβανομένου του ησυχαστήρα
1.6 υλικό πορτών SUS304
2. Κενό αντλώντας σύστημα Rouhging
3. Υψηλό κενό αντλώντας σύστημα
4. Ηλεκτρική οθόνη αφής συστημάτων PLC+ ελέγχου και λειτουργίας
4.1 κύριο κύκλωμα: Ο διακόπτης διακοπτών κανένας-θρυαλλίδων, ηλεκτρομαγνητικός διακόπτης, C/T δακτυλογραφεί σωρηδόν
4.2 δύναμη εξάτμισης: 35kVA
4.3 σύστημα ελέγχου εξάτμισης
4.4 σύστημα λειτουργίας: Οθόνη αφής + PLC, έλεγχος συνταγής και αναγραφή στοιχείων, αυτόματο κλείσιμο, αυτόματη εκκένωση, αυτόματο επίστρωμα
4.5 κενή πίεση που μετρά το σύστημα
Κενός μετρητής: Pirani + περιφράζοντας το μετρητή
Μετρητής θερμοηλεκτρικών ζευγών: 760 Torr Torr ~ 5*10-4
4.6 σύστημα συναγερμών: Πίεση συμπιεσμένου αέρα, ροή του νερού ψύξης, ΠΣΔ-λειτουργία
4.7 δείκτης φορτίων δύναμης: Δείκτης τάσης και τρέχων δείκτης φορτίων
5. Σύστημα απόθεσης
5.1 πηγή εξάτμισης ινών βολφραμίου
5.2 θερμικά υλικά εξάτμισης: καλώδια, δαχτυλίδια, ράβδοι κ.λπ.
5.3 ψεκάστε τις πηγές (DC/MF μηχανοκίνητο)
6. Υποσύστημα
6.1 συμπιεσμένο αέρας σύστημα ελέγχου βαλβίδων
6.2 σωλήνας ροής σύστημα-νερού δροσίζοντας νερού και σύστημα βαλβίδων διακοπτών
Μάθετε περισσότερων για τη μηχανή και οι εφαρμογές διαθέσιμες, παρακαλώ μας έρχονται σε επαφή με τώρα.