Magnetron MF PVD ψεκάζοντας μηχανή επιστρώματος, ψεκάζοντας σύστημα MF, ψεκάζοντας μονάδα απόθεσης MF κασσίτερου
Ψεκάζοντας Coater rt1215-SPMF MF Mangetron είναι δ για το χαλκό, alumunium, πλαστικό, αγώγιμη επένδυση στρώματος ταινιών πινάκων κυκλωμάτων μετάλλων. Μπορεί να συμπυκνώσει τη νανο λεπτή ταινία στα υποστρώματα. Εκτός από την επιμετάλλωση άργυρου, μπορεί επίσης να καταθέσει το Νι, Au, άργυρος, Al, χρώμιο, SS316L.
Η μηχανή rtsp1215-MF εγκαθίσταται με 2 ζευγάρια των ψεκάζοντας καθόδων MF στην αίθουσα, και 1 σύνολο ιονικής πηγής στρώματος ανόδων για τον καθαρισμό βομβαρδισμού πλάσματος πριν από την απόθεση ταινιών PVD.
Η ιονική πηγή είναι αρχική από την επιχείρηση Gencoa, οι ιδιότητες:
1. Βελτιστοποιημένα μαγνητικά πεδία για να παραγάγει μια παράλληλη ακτίνα πλάσματος στις τυποποιημένες πιέσεις επιμετάλλωσης
2. Αυτοματοποιημένος κανονισμός για το αέριο να διατηρηθεί το σταθερές ρεύμα & η τάση – αυτόματος έλεγχος πολυ-αερίου
3. Από γραφίτη άνοδος και κάθοδος για να προστατεύσει το υπόστρωμα από τη μόλυνση και να παρέχει τα μακράς διαρκείας συστατικά
4. Τυποποιημένη ηλεκτρική μόνωση RF σε όλες τις ιονικές πηγές
5. Έμμεση ψύξη της ανόδου και της καθόδου – γρήγορη μετατροπή των μερών
6. Εύκολη μετατροπή των μερών καθόδων για να παρέχει τις πολλαπλάσιες μαγνητικές παγίδες για τη λειτουργία χαμηλότερης τάσης, ή μια ακτίνα
7. Ρυθμισμένη η τάση παροχή ηλεκτρικού ρεύματος με τη ρύθμιση αερίου ανατροφοδοτεί για να διατηρήσει το ίδιο ρεύμα ανά πάσα στιγμή
Rtsp1215-MF σχεδιάγραμμα εξοπλισμού επιστρώματος επιμετάλλωσης MF
Rtsp1215-MF εφαρμογές εξοπλισμού επιστρώματος επιμετάλλωσης MF:
1. Διαθέσιμος στα υποστρώματα: Πλαστικό, πολυμερές σώμα, γυαλί και κεραμικά φύλλα, ανοξείδωτο, φύλλο χαλκού, πίνακας κ.λπ. αργιλίου.
2. Για να παραγάγει τη νανο ταινία όπως: Κασσίτερος, σπασμός, TiCN, χρώμιο, κέντρο ανίχνευσης και ελέγχου, CrN, $cu, άργυρος, Au, Νι, Al κ.λπ.
Rt1215-SPMF ψεκάζοντας χαρακτηριστικά σχεδιασμού εξοπλισμού επιστρώματος MF:
1. Γερό σχέδιο, καλό για το περιορισμένο διάστημα δωματίων
2. Εύκολη πρόσβαση για τη συντήρηση και την επισκευή
3. Γρήγορα αντλώντας σύστημα για την υψηλή παραγωγή
4. Η τυποποιημένη ηλεκτρική περίφραξη CE, πρότυπα UL είναι επίσης διαθέσιμη.
5. Ακριβής εργασία επεξεργασίας
6. Σταθερό τρέξιμο για να εγγυηθεί υψηλό - παραγωγή ποιοτικών ταινιών.
Κύλινδρος ή επίπεδη θέση εργασίας μηχανών επιμετάλλωσης MF
Rt1215-SPMF προδιαγραφές εξοπλισμού επιστρώματος επιμετάλλωσης MF:
ΠΡΟΤΥΠΟ | Rt1215-SPMF |
ΥΛΙΚΟ | Ανοξείδωτο (S304) |
ΜΕΓΕΘΟΣ ΑΙΘΟΥΣΩΝ | Φ1200*1500mm (η) |
ΤΥΠΟΣ ΑΙΘΟΥΣΩΝ | 1-πόρτα δομή, κάθετη |
ΕΝΙΑΙΑ ΣΥΣΚΕΥΑΣΙΑ ΑΝΤΛΙΩΝ | Περιστροφική αντλία VaneVacuum |
Κενή αντλία ριζών | |
Μαγνητική μοριακή αντλία αναστολής | |
Δύο σταδίων περιστροφική vane κενή αντλία | |
ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΑ | Magnetron MF επιμετάλλωση, γραμμική ιονική πηγή |
ΠΑΡΟΧΗ ΗΛΕΚΤΡΙΚΟΥ ΡΕΎΜΑΤΟΣ | Ψεκάζοντας παροχή ηλεκτρικού ρεύματος + προκατειλημμένη παροχή ηλεκτρικού ρεύματος + ιονική πηγή |
ΠΗΓΗ ΑΠΟΘΕΣΗΣ | ψεκάζοντας κάθοδοι MF 2 ζευγαριών + ιονική πηγή |
ΕΛΕΓΧΟΣ | PLC+Touch οθόνη |
ΑΈΡΙΟ | Αργό μετρητών μαζικής ροής αερίου (AR, Ν2, C2H2, Ο2), άζωτο και Ethyne, οξυγόνο |
ΣΥΣΤΗΜΑ ΑΣΦΑΛΕΙΑΣ | Πολυάριθμες συναρμολογήσεις ασφάλειας για να προστατεύσει τους χειριστές και τον εξοπλισμό |
ΨΥΞΗ | Δροσίζοντας νερό |
ΚΑΘΑΡΙΣΜΟΣ | Απαλλαγή πυράκτωσης/ιονική πηγή |
ΔΥΝΑΜΗ MAX. | 120KW |
ΜΕΣΗ ΚΑΤΑΝΑΛΩΣΗ ΙΣΧΎΟΣ | 70KW |
Παρακαλώ μας ελάτε σε επαφή με για περισσότερες προδιαγραφές, η βασιλική τεχνολογία είναι τιμημένη για να σας παρέχει συνολικές λύσεις επιστρώματος.