DC Magnetron Sputtering Coating Machine / DC Sputtering System
Μοντέλα Magnetron Sputtering: DC Sputtering, MF Sputtering, RF Sputtering
Τι είναι το DC Sputtering;
Το DC Sputtering χρησιμοποιείται κυρίως για την εκτόξευση στόχων καθαρού μετάλλου όπως: χρώμιο, τιτάνιο, αλουμίνιο, χαλκός, ανοξείδωτος χάλυβας, νίκελ, ασήμι, χρυσός για φιλμ υψηλής αγωγιμότητας.
Το DC Sputtering είναι μια τεχνική επικάλυψης με φυσική εναπόθεση ατμού (PVD) λεπτής μεμβράνης, όπου ένα υλικό στόχος που θα χρησιμοποιηθεί ως επίστρωση βομβαρδίζεται με μόρια ιονισμένου αερίου προκαλώντας την «εκτόξευση» ατόμων στο πλάσμα.Αυτά τα εξατμισμένα άτομα στη συνέχεια εναποτίθενται όταν συμπυκνώνονται ως λεπτή μεμβράνη στο υπόστρωμα που πρόκειται να επικαλυφθεί.
Το DC Sputtering είναι ο πιο βασικός και φθηνός τύπος ψεκασμού για την εναπόθεση μετάλλων PVD και τα ηλεκτρικά αγώγιμα υλικά επίστρωσης στόχου.Δύο βασικά πλεονεκτήματα του DC ως πηγής ισχύος για αυτή τη διαδικασία είναι ότι είναι εύκολο να ελεγχθεί και είναι μια επιλογή χαμηλού κόστους εάν κάνετε εναπόθεση μετάλλων για επίστρωση.
Το DC Sputtering χρησιμοποιείται εκτενώς στη βιομηχανία ημιαγωγών δημιουργώντας κυκλώματα μικροτσίπ σε μοριακό επίπεδο.Χρησιμοποιείται για επιστρώσεις χρυσού κοσμημάτων, ρολογιών και άλλων διακοσμητικών φινιρισμάτων, για μη ανακλαστικές επικαλύψεις σε γυαλί και οπτικά εξαρτήματα, καθώς και για μεταλλοποιημένα πλαστικά συσκευασίας, καθρέπτες αυτοκινήτου, ανακλαστήρες φωτισμού αυτοκινήτου, τροχούς και πλήμνες αυτοκινήτου κ.λπ.
Μηχάνημα επίστρωσης DC Magnetron SputteringΕκτέλεση
1. Τελική πίεση κενού: καλύτερη από 5,0×10-6Torr.
2. Πίεση κενού λειτουργίας: 1,0×10-4Torr.
3. Pumpingdown Time: από 1 atm έως 1,0×10-4Torr≤ 3 λεπτά (θερμοκρασία δωματίου, στεγνός, καθαρός και άδειος θάλαμος)
4. Υλικό επιμετάλλωσης (διασκορπισμός + εξάτμιση τόξου): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC, κ.λπ.
5. Μοντέλο λειτουργίας: Πλήρης Αυτόματα /Ημιαυτόματο/ Χειροκίνητα
DC Magnetron Sputtering Coating Δομή μηχανής
Το μηχάνημα επίστρωσης κενού περιέχει το βασικό ολοκληρωμένο σύστημα που παρατίθεται παρακάτω:
1. Θάλαμος κενού
2. Σύστημα άντλησης κενού Rouhging (Πακέτο αντλίας υποστήριξης)
3. Σύστημα άντλησης υψηλού κενού (Μοριακή αντλία μαγνητικής ανάρτησης)
4. Σύστημα Ηλεκτρικού Ελέγχου και Λειτουργίας
5. Σύστημα Βοηθητικής Εγκατάστασης (Υποσύστημα)
6. Σύστημα εναπόθεσης: κάθοδος διασκορπισμού συνεχούς ρεύματος, τροφοδοτικό συνεχούς ρεύματος, πηγή ιόντων τροφοδοσίας προκατάληψης για προαιρετική
Μηχάνημα επίστρωσης DC Magnetron SputteringΠροδιαγραφές
| RTSP1250-DC | |||||||
| ΜΟΝΤΕΛΟ | RTSP1250-DC | ||||||
| ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΑ | Επιμετάλλωση με μαγνήτρο (DC) + επιμετάλλωση ιόντων | ||||||
| ΥΛΙΚΟ | Ανοξείδωτος χάλυβας (S304) | ||||||
| ΜΕΓΕΘΟΣ ΘΑΛΑΜΟΥ | Φ1250*H1250mm | ||||||
| ΤΥΠΟΣ ΘΑΛΑΜΟΥ | Κύλινδρος, κάθετος, 1θυρο | ||||||
| ΣΥΣΤΗΜΑ ΕΠΙΔΡΟΜΗΣ | Αποκλειστική σχεδίαση για εναπόθεση λεπτού μαύρου φιλμ | ||||||
| ΥΛΙΚΟ ΚΑΤΑΘΕΣΗ | Αλουμίνιο, Ασήμι, Χαλκός, Χρώμιο, Ανοξείδωτο ατσάλι, Νικέλιο, Τιτάνιο | ||||||
| ΠΗΓΗ ΚΑΤΑΘΕΣΕΩΝ | Κυλινδρικοί / Επίπεδοι Στόχοι Διασκορπισμού + 7 Πηγές Κατευθυνόμενου Καθοδικού Τόξου | ||||||
| ΑΕΡΙΟ | MFC- 4 τρόποι, Ar, N2, O2, C2H2 | ||||||
| ΕΛΕΓΧΟΣ | PLC (Programmable Logic Controller) + Οθόνη αφής |
||||||
| ΣΥΣΤΗΜΑ ΑΝΤΛΙΑΣ | SV300B - 1 σετ (Leybold) | ||||||
| WAU1001 - 1 σετ (Leybold) | |||||||
| D60T- 2 σετ (Leybold) | |||||||
| Turbo Molecular Pumps: 2* F-400/3500 | |||||||
| ΠΡΟΕΡΓΑΣΙΑ | Τροφοδοτικό προκατάληψης: 1*36 KW | ||||||
| ΣΥΣΤΗΜΑ ΑΣΦΑΛΕΙΑΣ | Πολυάριθμες κλειδαριές ασφαλείας για την προστασία των χειριστών και εξοπλισμός |
||||||
| ΨΥΞΗ | Κρύο νερό | ||||||
| ΗΛΕΚΤΡΟΛΟΓΙΚΟΣ ΙΣΧΥΟΣ | 480V/3 φάσεις/60HZ (συμβατό με ΗΠΑ) | ||||||
| 460V/3 φάσεις/50HZ (συμβατό με την Ασία) | |||||||
| 380V/3 φάσεις/50HZ (συμβατό με EU-CE) | |||||||
| ΙΧΝΟΣ | Μ3000*Π3000*Υ2000mm | ||||||
| ΣΥΝΟΛΙΚΟ ΒΑΡΟΣ | 7,0 Τ | ||||||
| ΙΧΝΟΣ | ( Μ*Π*Υ) 5000*4000 *4000 ΧΜ | ||||||
| ΧΡΟΝΟΣ ΚΥΚΛΟΥ | 30~40 λεπτά (ανάλογα με το υλικό του υποστρώματος, γεωμετρία υποστρώματος και συνθήκες περιβάλλοντος) |
||||||
| ΜΕΓΙΣΤΗ ΙΣΧΥΣ.. | 155 KW | ||||||
| ΜΕΣΗ ΚΑΤΑΝΑΛΩΣΗ ΡΕΥΜΑΤΟΣ (ΠΕΡΙΠ.) | 75 KW | ||||||
Έχουμε περισσότερα μοντέλα για την επιλογή σας!
Επικοινωνήστε μαζί μας για περισσότερες προδιαγραφές, η Royal Technology έχει την τιμή να σας παρέχει ολοκληρωμένες λύσεις επίστρωσης.
