Μηχανή επιστρώματος ταινιών ITO, Magnetron ταινιών τύπων ITO λουτρών ψεκάζοντας Coater/μηχανή απόθεσης γυαλιού ITO
Τυποποιημένες εφαρμογές μηχανών επιστρώματος ταινιών ITO: PET, γυαλί, για να παραγάγουν τα στρώματα επιστρώματος ITO.
Χτισμένος μηχανή χρόνος: 2012, Κίνα.
Εφαρμογή: Ταινία του AR, ταινία ITO.
Κομμάτια εργασίας:
Μέγεθος: 300mm*100mm
Πάχος της PET: 0.175mm+/0.05mm
*Thickness της ταινίας ITO: 185nm+/-5nm
Αντίσταση φύλλων: 6~8ohm/sq
Τεχνικές διαμορφώσεις μηχανών επιστρώματος ταινιών ITO:
1) Πηγές ΣΥΝΕΧΟΥΣ επιμετάλλωσης: $cu, Al, ITO
2) Πηγές επιμετάλλωσης MF
3) Στροβιλο μοριακή αντλία + υποστηρίζοντας ομάδα αντλιών
4) Μεγάλης έντασης μαγνητικό πεδίο για να βελτιώσει την ποιότητα ταινιών ITO, ποσοστό χρησιμοποίησης στόχων >30%
5) $cu, Al, ποσοστό χρησιμοποίησης στόχων Si > 35%
6) Ποσοστό απόθεσης: 30nm m/min ~ 40nm m/min
7) Περιοχή ομοιομορφίας επιμετάλλωσης: 350mm
Παρακαλώ μας ελάτε σε επαφή με για περισσότερες προδιαγραφές, η βασιλική τεχνολογία είναι τιμημένη για να σας παρέχει συνολικές λύσεις επιστρώματος.
