Magnetron η επιμετάλλωση χρησιμοποιείται ευρέως για να εναποθέσει τα πυρίμαχα μέταλλα όπως το ταντάλιο, τιτάνιο, βολφράμιο, νιόβιο, το οποίο θα απαιτούσε τις πολύ υψηλές θερμοκρασίες της απόθεσης, και τα πολύτιμα μέταλλα: Χρυσός και ασημένιος και που χρησιμοποιείται επίσης για την απόθεση των χαμηλότερων μετάλλων σημείων τήξης όπως το χαλκό, το αργίλιο, το νικέλιο, το χρώμιο κ.λπ.
Το ταντάλιο είναι χρησιμοποιημένο στην ηλεκτρονική βιομηχανία ως προστατευτικό επίστρωμα λόγω της καλής αντίστασής του στη διάβρωση.
Εφαρμογές της ψεκασμένης λεπτής ταινίας τανταλίου:
1. Η βιομηχανία μικροηλεκτρονικής ως ταινίες μπορεί να ψεκαστεί αντενεργά και έτσι ο συντελεστής ειδικής αντίστασης και θερμοκρασίας της αντίστασης μπορεί να ελεγχθεί
Τεχνικά πλεονεκτήματα
Της βασιλικής τεχνολογίας τυποποιημένο σύστημα απόθεσης τανταλίου ψεκάζοντας:
| Κύριες διαμορφώσεις | |
| ΠΡΟΤΥΠΟ | RTAS1000 |
| ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΑ |
Παλόμενη ΣΥΝΕΧΕΣ magnetron επιμετάλλωση Καθοδική επένδυση τόξων (για την επιλογή, που καθορίζεται με την επένδυση της διαδικασίας) |
| ΥΛΙΚΟ ΑΙΘΟΥΣΩΝ | Ανοξείδωτο (S304) |
| ΜΕΓΕΘΟΣ ΑΙΘΟΥΣΩΝ | Φ1000*1000mm (η) |
| ΤΥΠΟΣ ΑΙΘΟΥΣΩΝ | Μορφή Δ, κυλινδρική αίθουσα |
| ΡΑΦΙ ΠΕΡΙΣΤΡΟΦΗΣ & JIG ΣΥΣΤΗΜΑ | Δορυφορική οδήγηση ή κεντρικό οδηγώντας σύστημα |
| ΠΑΡΟΧΕΣ ΗΛΕΚΤΡΙΚΟΥ ΡΕΎΜΑΤΟΣ |
Παροχή ΣΥΝΕΧΟΥΣ ψεκάζοντας ηλεκτρικού ρεύματος: 2~4 σύνολα Ιονική πηγή: 1 σύνολο |
| ΥΛΙΚΟ ΑΠΟΘΕΣΗΣ | TA, Ti/Cr/TiAl, Au, άργυρος, $cu κ.λπ. |
| ΠΗΓΗ ΑΠΟΘΕΣΗΣ | Επίπεδες ψεκάζοντας κάθοδοι + κυκλικές κάθοδοι τόξων |
| ΕΛΕΓΧΟΣ | PLC (προγραμματίσημος ελεγκτής λογικής) + ΕΠΙ (πρότυπα λειτουργίας manual+ auto+ ημι-αυτόματα) |
| ΣΥΣΤΗΜΑ ΑΝΤΛΙΩΝ | Περιστροφική Vane αντλία: SV300B – 1 σύνολο (Leybold) |
| Αντλία ριζών: WAU1001 – 1 σύνολο (Leybold) | |
| Αντλία εκμετάλλευσης: D60C – 1 σύνολο (Leybold) | |
| Μαγνητική μοριακή αντλία αναστολής: MAG2200 – sest 2 (Leybold) |
|
| ΕΛΕΓΚΤΗΣ ΜΑΖΙΚΗΣ ΡΟΗΣ ΑΕΡΊΟΥ | 2 κανάλια: AR και Ν2 |
| ΚΕΝΟΣ ΜΕΤΡΗΤΗΣ | Inficon ή Leybold |
| ΣΥΣΤΗΜΑ ΑΣΦΑΛΕΙΑΣ | Οι πολυάριθμες συναρμολογήσεις ασφάλειας για να προστατεύσουν τους χειριστές και |
| ΘΕΡΜΑΝΣΗ | Θερμάστρες: 20KW. Μέγιστα temp.: 450℃ |
| ΨΥΞΗ | Βιομηχανικό ψυγείο (κρύο νερό) |
| ΜΕΓΙΣΤΟ ΔΥΝΑΜΗΣ. | 100KW (περ.) |
| ΜΕΣΗ ΚΑΤΑΝΑΛΩΣΗ ΙΣΧΎΟΣ | 45 KW (περ.) |
| ΑΚΑΘΑΡΙΣΤΟ ΒΑΡΟΣ | Τ (περ.) |
| ΤΥΠΩΜΕΝΗ ΎΛΗ ΠΟΔΙΩΝ | (L*W*H) ΚΚ 4000*4000 *3600 |
| ΗΛΕΚΤΡΙΚΉ ΔΎΝΑΜΗ |
Γραμμή phases/50HZ/5 εναλλασσόμενου ρεύματος 380V/3 |
Insite:
Χτισμένος χρόνος: 2018
Θέση: Κίνα
Παρακαλώ μας ελάτε σε επαφή με για τις περισσότερες εφαρμογές και προδιαγραφές.
