Να στείλετε μήνυμα

Καθοδική απόθεση τόξων και πολυ - κενό Coater τόξων

August 10, 2018

τα τελευταία νέα της εταιρείας για Καθοδική απόθεση τόξων και πολυ - κενό Coater τόξων

Τι είναι καθοδικό τόξο Depositon;

 

Η καθοδικό απόθεση τόξων ή τόξο-PVD είναι μια φυσική τεχνική απόθεσης ατμού στην οποία ένα ηλεκτρικό τόξο χρησιμοποιείται για να ατμοποιήσει το υλικό από έναν στόχο καθόδων. Το ατμοποιημένο υλικό συμπυκνώνει έπειτα σε ένα υπόστρωμα, διαμορφώνοντας μια λεπτή ταινία. Η τεχνική μπορεί να χρησιμοποιηθεί για να καταθέσει τις μεταλλικές, κεραμικές, και σύνθετες ταινίες.

 

 

Το καθοδικό τόξο depositon επεξεργάζεται:

 

Η διαδικασία εξάτμισης τόξων αρχίζει με το χτύπημα ενός τόξου υψηλής τάσης, χαμηλής τάσης στην επιφάνεια μιας καθόδου (γνωστής ως στόχος) που δίνει αφορμή για έναν μικρό (συνήθως μερικά micrometres ευρέως), ιδιαίτερα ενεργητικός τομέας εκπομπής γνωστός ως σημείο καθόδων. Η εντοπισμένη θερμοκρασία στο σημείο καθόδων είναι εξαιρετικά υψηλή (περίπου 15000 °C), που οδηγεί σε μια υψηλή ταχύτητα (10 km/s) το αεριωθούμενο αεροπλάνο το υλικό καθόδων, αφήνοντας έναν κρατήρα πίσω στην επιφάνεια καθόδων. Το σημείο καθόδων είναι μόνο ενεργό για ένα σύντομο χρονικό διάστημα, κατόπιν μόνος-εξαφανίζει και ξανανάβει σε μια νέα περιοχή κοντά στον προηγούμενο κρατήρα. Αυτή η συμπεριφορά προκαλεί την προφανή κίνηση του τόξου.

 

Δεδομένου ότι το τόξο είναι βασικά ένας τρέχων φέρνοντας αγωγός μπορεί να επηρεαστεί από την εφαρμογή ενός ηλεκτρομαγνητικού τομέα, ο οποίος στην πράξη χρησιμοποιείται για να κινήσει γρήγορα το τόξο πέρα από την ολόκληρη επιφάνεια του στόχου, έτσι ώστε η συνολική επιφάνεια διαβρώνεται με τον καιρό.

 

Το τόξο έχει εξαιρετικά Εάν ένα αντιδραστικό αέριο εισάγεται κατά τη διάρκεια της διαδικασίας εξάτμισης, ο διαχωρισμός, ο ιονισμός και η διέγερση μπορούν να εμφανιστούν κατά τη διάρκεια της αλληλεπίδρασης με την ιονική ροή και μια σύνθετη ταινία θα κατατεθεί.

 

Ένα μειονέκτημα της διαδικασίας εξάτμισης τόξων είναι ότι εάν οι παραμονές σημείων καθόδων σε ένα εξατμιστικό σημείο για πάρα πολύ καιρό που μπορεί να εκτινάξει τα μακρο-μόρια ή τα σταγονίδια ενός μεγάλου ποσού. Αυτά τα σταγονίδια είναι καταστρεπτικά στην απόδοση του επιστρώματος δεδομένου ότι είναι κακώς υιοθετημένα και μπορούν να επεκταθούν μέσω του επιστρώματος. Χειρότερα ακόμα εάν το υλικό στόχων καθόδων έχει ένα χαμηλό σημείο τήξης όπως το αλουμίνιο το σημείο καθόδων μπορεί να εξατμίσει μέσω του στόχου με συνέπεια είτε το υποστηρίζοντας υλικό πιάτων στόχων που είναι εξατμισμένο είτε δροσίζοντας νερό που εισάγει την αίθουσα. Επομένως, τα μαγνητικά πεδία όπως αναφέρονται προηγουμένως χρησιμοποιούνται για να ελέγξουν την κίνηση του τόξου. Εάν οι κυλινδρικές κάθοδοι χρησιμοποιούνται οι κάθοδοι μπορούν επίσης να περιστραφούν κατά τη διάρκεια της απόθεσης. Με την μη άδεια της καθόδου το σημείο για να παραμείνει στόχους ενός αλουμινίου θέσης στους πάρα πολύ μακροχρόνιους μπορεί να χρησιμοποιηθεί και ο αριθμός σταγονίδιων μειώνεται. Μερικές επιχειρήσεις χρησιμοποιούν επίσης τα φιλτραρισμένα τόξα που χρησιμοποιούν τα μαγνητικά πεδία για να χωρίσουν τα σταγονίδια από τη ροή επιστρώματος.

 

 

Καθοδική εφαρμογή απόθεσης τόξων:

 

Η καθοδική απόθεση τόξων χρησιμοποιείται ενεργά για να συνθέσει την εξαιρετικά σκληρή ταινία για να προστατεύσει την επιφάνεια των τεμνόντων εργαλείων και να επεκτείνει τη ζωή τους σημαντικά. Μια ευρεία ποικιλία της λεπτής σκληρός-ταινίας, των επιστρωμάτων Superhard και nanocomposite των επιστρωμάτων μπορεί να συντεθεί από αυτήν την τεχνολογία συμπεριλαμβανομένου του κασσίτερου, TiAlN, CrN, του ZRN, AlCrTiN και TiAlSiN.

 

Αυτό χρησιμοποιείται επίσης αρκετά εκτενώς ιδιαίτερα για την ιονική απόθεση άνθρακα για να δημιουργήσει τις αδαμαντοειδείς ταινίες άνθρακα. Επειδή τα ιόντα ανατινάζονται από την επιφάνεια ballistically, είναι κοινό για όχι μόνο τα ενιαία άτομα, αλλά τις μεγαλύτερες συστάδες των ατόμων να εκτιναχθούν. Κατά συνέπεια, αυτό το είδος συστήματος απαιτεί ένα φίλτρο για να αφαιρέσει τις συστάδες ατόμων από την ακτίνα πριν από την απόθεση. Η ταινία DLC από το φιλτράρω-τόξο περιέχει το εξαιρετικά υψηλό ποσοστό του διαμαντιού SP3 που είναι γνωστό ως tetrahedral άμορφο άνθρακα, ή TAC.

 

Το φιλτραρισμένο καθοδικό τόξο μπορεί να χρησιμοποιηθεί ως πηγή ιόντων/πλάσματος μετάλλων για ιονικές και την απόθεση εμφύτευσης και βύθισης πλάσματος ιονικές εμφύτευση (PIII&D).

 

Οι στρογγυλές καθοδικές κάθοδοι τόξων και η κυλινδρική κάθοδος τόξων χρησιμοποιούνται ευρέως για τα διάφορα διακοσμητικά επιστρώματα PVD. 

 

τα τελευταία νέα της εταιρείας για Καθοδική απόθεση τόξων και πολυ - κενό Coater τόξων  0

 

Πολυ κενό Coater τόξων σχέδιο:

 

Η καθοδική πηγή τόξων τύπων Sablev, που είναι ευρύτατα χρησιμοποιημένη στη δύση, αποτελείται από έναν σύντομο κυλινδρικό ηλεκτρικό αγώγιμο στόχο μορφής στην κάθοδο με ένα ανοικτό τέλος. Αυτός ο στόχος περιβάλλει ένα ηλεκτρικά-επιπλέοντας δαχτυλίδι μετάλλων εργασία ως δαχτυλίδι περιορισμού τόξων (ασπίδα Strel'nitskij). Η άνοδος για το σύστημα μπορεί να είναι είτε ο κενός τοίχος αιθουσών είτε μια ιδιαίτερη άνοδος. Τα σημεία τόξων παράγονται από τη μηχανική ώθηση (ή igniter) που χτυπά στο ανοικτό τέλος του στόχου που κάνει ένα προσωρινά βραχυκύκλωμα μεταξύ της καθόδου και της ανόδου. Μετά από τα σημεία τόξων που παράγονται μπορούν να οδηγηθούν από το μαγνητικό πεδίο ή να κινηθούν τυχαία στην απουσία μαγνητικού πεδίου.

 
 

Ο αγωγός τέταρτος-δακτυλίων Aksenov macroparticle φιλτράρει τη χρησιμοποίηση των οπτικών αρχών πλάσματος που αναπτύχθηκε από Α. Ι. Morozov

 

Η ακτίνα πλάσματος από την καθοδική πηγή τόξων περιέχει μερικές μεγαλύτερες συστάδες των ατόμων ή των μορίων (αποκαλούμενα μακρο-μόρια), οι οποίες την αποτρέπουν από την ύπαρξη χρήσιμες για μερικές εφαρμογές χωρίς κάποιο είδος φιλτραρίσματος. Υπάρχουν πολλά σχέδια για τα φίλτρα μακρο-μορίων και το μελετημένο σχέδιο βασίζεται στην εργασία από Ι. Ι. Aksenov και λοιποί στη δεκαετία του '70. Αποτελείται από μια κλίση αγωγών τέταρτος-δακτυλίων σε 90 βαθμούς από την πηγή τόξων και το πλάσμα καθοδηγείται από τον αγωγό από την αρχή της οπτικής πλάσματος.

Υπάρχουν επίσης άλλα ενδιαφέροντα σχέδια όπως ένα σχέδιο που ενσωματώνει ένα ευθύ φίλτρο αγωγών ενσωματωμένο με την περικομμένη κάθοδο μορφής κώνων όπως αναφέρεται από Δ. Α. Karpov στη δεκαετία του '90. Αυτό το σχέδιο έγινε αρκετά δημοφιλές και μεταξύ λεπτά coaters και των ερευνητών σκληρός-ταινιών στη Ρωσία και τις πρώην χώρες της ΕΣΣΔ μέχρι τώρα. Η καθοδική πηγή τόξων μπορεί να γίνει στη μακροχρόνια σωληνοειδή μορφή (επεκτείνω-τόξο) ή τη μακροχρόνια ορθογώνια μορφή αλλά και τα δύο σχέδια είναι λιγότερο δημοφιλή.

 

τα τελευταία νέα της εταιρείας για Καθοδική απόθεση τόξων και πολυ - κενό Coater τόξων  1

 

 

τα τελευταία νέα της εταιρείας για Καθοδική απόθεση τόξων και πολυ - κενό Coater τόξων  2

 

 

Παρακαλώ συμβουλευθείτε τη βασιλική τεχνολογία για την απαίτηση και τις αιτήσεις σας. Η ομάδα μας είναι τιμημένη για να σας εξυπηρετήσει με το πάθος και την τεχνική μας. 

 

 

Ελάτε σε επαφή μαζί μας
Υπεύθυνος Επικοινωνίας : Ms. ZHOU XIN
Φαξ : 86-21-67740022
Χαρακτήρες Λοιπά(20/3000)